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新型氣敏材料及MEMS氣敏器件的研究
復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授盧紅亮團(tuán)隊首次結(jié)合硬模板法、原子層沉積技術(shù)和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級異質(zhì)復(fù)合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對濃度低至1 ppm的硫化氫實
復(fù)旦大學(xué)
2021-01-12
最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀
產(chǎn)品詳細(xì)介紹 最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀 MEMS陀螺儀HTG系列簡介：最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀是用來測量角速率的固態(tài)傳感器, 采用MEMS芯片，制造采用BIMOS生產(chǎn)工藝和載流焊工藝技術(shù)。HTG系列MEMS陀螺儀具有高可靠性和高封裝堅固性;可用于慣性測量元件、高可靠性的汽車電子、導(dǎo)彈制導(dǎo)和控制、飛行器穩(wěn)定控制、天線穩(wěn)定、攝像、數(shù)碼攝影、機(jī)器人等系統(tǒng)。 MEMS陀螺儀HTG系列性能參數(shù)：
陜西航天長城科技有限公司
2021-08-23
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高靈敏度有機(jī)污染檢測用聲表面波傳感器
團(tuán)隊長期從事納米材料及納米結(jié)構(gòu)研究，在長期納米結(jié)構(gòu)的制備及性能研究基礎(chǔ)上，與我國XX工程結(jié)合，開展高功率固體激光裝置運行環(huán)境污染檢測方法研究，基于各種納米結(jié)構(gòu)制作的聲表面波傳感器檢測靈敏度高達(dá)pg/mm2（10 12g/mm2）量級，實現(xiàn)了高精密測試，并且針對裝置運行環(huán)境中不同有機(jī)污染物的復(fù)雜情況，實現(xiàn)了高選擇性、高靈敏度測量，達(dá)到了國際領(lǐng)先水平。已通過在線測試并在XX工程中應(yīng)用，實現(xiàn)訂貨。 同時在高靈敏度聲表面波傳感器的研究基礎(chǔ)上，團(tuán)隊在聲表面波傳感器的敏感芯片區(qū)建立了不同的敏感薄膜，如氧化硅薄膜、氧化鋅薄膜、SiO2/ZnO復(fù)合薄膜，實現(xiàn)了對環(huán)境污染氣體的高靈敏度響應(yīng)，特別是在聲表面波傳感器芯片上建立了三維納米結(jié)構(gòu)敏感材料，同時對其化學(xué)修飾，以實現(xiàn)化學(xué)、生物毒劑的高靈敏度監(jiān)測，目前正在和中電集團(tuán)進(jìn)行相關(guān)的聯(lián)合工作。 該傳感器可用于定量檢測/監(jiān)測各種真空、實驗室、大氣環(huán)境中的微量有機(jī)污染物、化學(xué)毒劑和生物毒劑。
電子科技大學(xué)
2021-04-10
高靈敏度有機(jī)污染檢測用聲表面波傳感器
團(tuán)隊長期從事納米材料及納米結(jié)構(gòu)研究，在長期納米結(jié)構(gòu)的制備及性能研究基礎(chǔ)上，與我國XX工程結(jié)合，開展高功率固體激光裝置運行環(huán)境污染檢測方法研究，基于各種納米結(jié)構(gòu)制作的聲表面波傳感器檢測靈敏度高達(dá)pg/mm2（10?12g/mm2）量級，實現(xiàn)了高精密測試，并且針對裝置運行環(huán)境中不同有機(jī)污染物的復(fù)雜情況，實現(xiàn)了高選擇性、高靈敏度測量，達(dá)到了國際領(lǐng)先水平。已通過在線測試并在XX工程中應(yīng)用，實現(xiàn)訂貨。同時在高靈敏度聲表面波傳感器的研究基礎(chǔ)上，團(tuán)隊在聲表面波傳感器的敏感芯片區(qū)建立了不同的敏感薄膜，如氧化硅薄膜、氧化鋅薄膜、SiO2/ZnO復(fù)合薄膜，實現(xiàn)了對環(huán)境污染氣體的高靈敏度響應(yīng)，特別是在聲表面波傳感器芯片上建立了三維納米結(jié)構(gòu)敏感材料，同時對其化學(xué)修飾，以實現(xiàn)化學(xué)、生物毒劑的高靈敏度監(jiān)測，目前正在和中電集團(tuán)進(jìn)行相關(guān)的聯(lián)合工作。
電子科技大學(xué)
2021-04-10
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壓電薄膜基聲表面波煤礦瓦斯傳感器關(guān)鍵技術(shù)
聲表面波瓦斯傳感器具有體積小、靈敏度高、工作穩(wěn)定、生產(chǎn)成本低、易于集成化和無線化等獨特優(yōu)點，能夠有效解決熱催化式瓦斯傳感器的零點漂移、定期維護(hù)難和維護(hù)費用高等問題，并且能彌補(bǔ)光學(xué)瓦斯傳感器的占用空間大、傳感占距長和傳感分析復(fù)雜等不足，能有效提高煤礦瓦斯檢測和預(yù)警技術(shù)，保證煤礦安全。成果獲 2012 西安市科學(xué)技術(shù)獎三等獎；獲批國家實用新型專利 1 項。
西安科技大學(xué)
2021-04-13
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硅基縫隙耦合式的間接式毫米波信號檢測器
本發(fā)明的硅基縫隙耦合式的間接式毫米波信號檢測器是由共面波導(dǎo)、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、單刀雙擲開關(guān)、Ｗｉｌｋｉｎｓｏｎ功分器、Ｗｉｌｋｉｎｓｏｎ功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成，整個結(jié)構(gòu)基于高阻Ｓｉ襯底制作，其上有四個縫隙耦合結(jié)構(gòu)，上方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)信號的頻率測量，下方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)信號的相位測量，在前后縫隙之間有一個移相器；Ｗｉｌｋｉｎｓｏｎ功分器和Ｗｉｌｋｉｎｓｏｎ功合器主要是由共面波導(dǎo)、非對稱共面帶線和電阻組成；間接式熱電式功率傳感器由共面波導(dǎo)、兩個電阻以及熱電堆所構(gòu)成，熱電
東南大學(xué)
2021-04-14
硅基縫隙耦合式的直接式毫米波信號檢測器
本發(fā)明的硅基縫隙耦合式的直接式毫米波信號檢測器是由共面波導(dǎo)、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、單刀雙擲開關(guān)、Ｗｉｌｋｉｎｓｏｎ功分器、Ｗｉｌｋｉｎｓｏｎ功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成，該結(jié)構(gòu)制作在高阻Ｓｉ襯底上，其上有四個縫隙耦合結(jié)構(gòu)，上方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)信號的頻率測量，下方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)信號的相位測量，在前后縫隙之間有個移相器；Ｗｉｌｋｉｎｓｏｎ功分器和Ｗｉｌｋｉｎｓｏｎ功合器主要是由共面波導(dǎo)、非對稱共面帶線和隔離電阻組成；直接式熱電式功率傳感器主要由共面波導(dǎo)、兩個熱電偶和隔直電容所構(gòu)成
東南大學(xué)
2021-04-14
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鐵電高分子脈搏波傳感器：移動的健康診斷平臺
我校發(fā)明了一種小型、低成本的鐵電高分子柔性傳感器，簡單地貼合在手腕等部位，即時采集脈搏波信號，獲得節(jié)律、波形等與心血管功能密切相關(guān)的參數(shù)。傳感器能追蹤健身和服用血管擴(kuò)張藥狀態(tài)下脈搏波的變化；精確區(qū)分心臟輸出的主波和次級反射/重搏波，評估血管硬化程度。傳感器能耗為微瓦級，扣式鋰電池驅(qū)動預(yù)計可工作兩年；與智能手環(huán)等相整合，可在線關(guān)注心血管系統(tǒng)健康，定制個性化健身和心臟藥物服用計劃。該研究曾入圍2016春季美國材料研究學(xué)會iMatSci的20個項目。
南京大學(xué)
2021-04-14
毫米波固態(tài)功放
固態(tài)功放是微波毫米波領(lǐng)域需求量極大的功率源，在微波低端頻段已經(jīng)取代了普通微波管，在微波高端及毫米波領(lǐng)域作為放大鏈的前級有非常大的需求量。 項目開放出微波、毫米波4個頻段的固態(tài)功放，輸出功率100W以上，頻帶寬，工作穩(wěn)定可靠。經(jīng)過整機(jī)系統(tǒng)的長時間應(yīng)用考驗。 固態(tài)功放具有一致性好、集成度高的特點，在大型整機(jī)系統(tǒng)中有廣泛的需求。
電子科技大學(xué)
2021-04-10
毫米波固態(tài)功放
固態(tài)功放是微波毫米波領(lǐng)域需求量極大的功率源，在微波低端頻段已經(jīng)取代了普通微波管，在微波高端及毫米波領(lǐng)域作為放大鏈的前級有非常大的需求量。
電子科技大學(xué)
2021-04-10