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高靈敏度有機污染檢測用聲表面波傳感器

2021-04-10 00:00:00
云上高博會 http://www.c05ze3x.xyz
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

團隊長期從事納米材料及納米結構研究,在長期納米結構的制備及性能研究基礎上,與我國XX工程結合,開展高功率固體激光裝置運行環境污染檢測方法研究,基于各種納米結構制作的聲表面波傳感器檢測靈敏度高達pg/mm2(10 12g/mm2)量級,實現了高精密測試,并且針對裝置運行環境中不同有機污染物的復雜情況,實現了高選擇性、高靈敏度測量,達到了國際領先水平。已通過在線測試并在XX工程中應用,實現訂貨。 同時在高靈敏度聲表面波傳感器的研究基礎上,團隊在聲表面波傳感器的敏感芯片區建立了不同的敏感薄膜,如氧化硅薄膜、氧化鋅薄膜、SiO2/ZnO復合薄膜,實現了對環境污染氣體的高靈敏度響應,特別是在聲表面波傳感器芯片上建立了三維納米結構敏感材料,同時對其化學修飾,以實現化學、生物毒劑的高靈敏度監測,目前正在和中電集團進行相關的聯合工作。 該傳感器可用于定量檢測/監測各種真空、實驗室、大氣環境中的微量有機污染物、化學毒劑和生物毒劑。

項目階段:
產業化應用
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