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5月26日,由清華大學(xué)作為主要技術(shù)研發(fā)方的世界首個(gè)非補(bǔ)燃?jí)嚎s空氣儲(chǔ)能電站——江蘇金壇鹽穴壓縮空氣儲(chǔ)能國(guó)家試驗(yàn)示范項(xiàng)目正式投產(chǎn)。

具有超高電子遷移率、合適帶隙、環(huán)境穩(wěn)定和可批量制備特點(diǎn)的全新二維半導(dǎo)體芯片材料（硒氧化鉍，Bi 2 O 2 Se），在場(chǎng)效應(yīng)晶體管器件、量子輸運(yùn)和可見(jiàn)光探測(cè)方面展現(xiàn)出優(yōu)異性能。由Bi 2 O 2 Se制備成的原型光電探測(cè)器件具有很寬的光譜響應(yīng)(從可見(jiàn)光到1700 nm短波紅外區(qū))，并同時(shí)具有很高的靈敏度(在近紅外二區(qū)1200nm處?kù)`敏度高達(dá)~65A/W)。 而利用飛秒激光器組建的超快光電流動(dòng)態(tài)掃描顯示Bi 2 O 2 Se光電探測(cè)器具有約1皮秒（10 -12 秒）的本征超快光電流響應(yīng)時(shí)間。化合物由交替堆疊的Bi 2 O 2 和Se層組成，晶體中氧的存在，使其在空氣中具有極佳的穩(wěn)定性，完全可暴露于空氣中存放數(shù)月且保持穩(wěn)定。

https://www.shjcedu.com  上海計(jì)呈教學(xué)設(shè)備13636618907                                                                                    GCDX-02B工廠供電綜合自動(dòng)化實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)                                       概 述 現(xiàn)代化工廠（特別是大型企業(yè)）供電負(fù)荷密度大，供電方式復(fù)雜，可靠性要求高，電能質(zhì)量要求嚴(yán)格，還要求考慮更高的靈活性，以適應(yīng)供電負(fù)荷不斷增加和供電網(wǎng)絡(luò)升級(jí)的需要。針對(duì)這種情況，將綜合自動(dòng)化技術(shù)融入到工廠供電系統(tǒng)中已成為一種必然趨勢(shì)和發(fā)展方向。 “SYGDX-02工廠供電綜合自動(dòng)化實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)”正是依據(jù)高職高專《工廠電器與供電》、《電氣設(shè)備及運(yùn)行維護(hù)》、《供配電技術(shù)》、《供用電網(wǎng)絡(luò)繼電保護(hù)》、《配電系統(tǒng)自動(dòng)化》和《配電網(wǎng)自動(dòng)化技術(shù)》等課程的實(shí)訓(xùn)教學(xué)要求，結(jié)合工廠供電系統(tǒng)的實(shí)際應(yīng)用和發(fā)展而設(shè)計(jì)的綜合型實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)。 特 點(diǎn) 全面性：清楚地反映典型工廠供電系統(tǒng)的一次和二次部分，綜合采用多種工廠供電實(shí)際應(yīng)用的電氣設(shè)備。能夠?qū)崿F(xiàn)工廠供電系統(tǒng)的受電、輸送、分配、控制、保護(hù)等實(shí)踐技能訓(xùn)練要求； 先進(jìn)性：綜合微機(jī)繼電保護(hù)、電量計(jì)量、PLC和工控組態(tài)等微機(jī)職能檢測(cè)控制的相關(guān)技術(shù)，采用分層分布式控制方式，組建成集控制、保護(hù)、測(cè)量和信號(hào)為一體的綜合自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)平臺(tái)； 實(shí)用性：系統(tǒng)結(jié)構(gòu)清晰，運(yùn)行靈活，操作可靠。 技術(shù)性能 輸入電源：三相四線 AC380V±10% 50±2%Hz； 整機(jī)容量：≤3kVA； 實(shí)訓(xùn)臺(tái)采用鐵質(zhì)亞光密紋噴塑，鋁質(zhì)面板； RS-485和以太網(wǎng)兩種通訊接口；標(biāo)準(zhǔn)MODBUS通訊協(xié)議； 微機(jī)保護(hù)裝置測(cè)量元件精度：刻度誤差：不大于1%；測(cè)量電流：0.2級(jí)；母線電壓：0.2級(jí)；輸出精度：0.2級(jí)；頻率：0.01Hz；P、Q、COSΦ；0.5級(jí)；通訊分辨率：不大于1ms。 實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)由供配電系統(tǒng)主接線模擬屏、計(jì)量柜、控制柜、監(jiān)控軟件等四部分構(gòu)成。 實(shí)訓(xùn)系統(tǒng)能模擬中型工廠的供配電系統(tǒng)，采用控制屏結(jié)構(gòu)，一次主接線印于鋁面板上。由35 kV，10kV，兩個(gè)不同的電壓等級(jí)構(gòu)成 ，整個(gè)系統(tǒng)有兩路35kV進(jìn)線，其中一路正常供電，另一路作為備用，通過(guò)備自投自動(dòng)切換;35kV母線出線有兩路分支，一路送其他分廠，一路經(jīng)總降變降壓為10kV母線的進(jìn)線電源1供本地使用；為了保證供電可靠性，另加一路電源作為10kV母線的進(jìn)線電源2。進(jìn)線電源1和進(jìn)線電源2互為暗備用，分別給10kVⅠ段母線和10kVⅡ段母線供電，兩者也可通過(guò)備自投自動(dòng)切換。為了保證一次線路供電的可靠性，配置了微機(jī)備自投，微機(jī)線路和微機(jī)變壓器保護(hù)；為了保證高壓電動(dòng)機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行，配置了高壓電動(dòng)機(jī)保護(hù)；為了提高用電質(zhì)量，配置了無(wú)功補(bǔ)償裝置；為了實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制，配置了PC機(jī)和PLC控制器，實(shí)現(xiàn)了整個(gè)系統(tǒng)的“四遙”功能。 計(jì)量柜包括：三只指針式交流電壓表（精度1.0級(jí)，量程：0～500V）；三只指針式交流電流表（精度1.0級(jí)，量程：0～5A）；指針式三相有功功率表和三相無(wú)功功率表各一只；電子式有功無(wú)功組合電能表（1只）：測(cè)量電流：0.2級(jí)；母線電壓：0.2級(jí)；輸出精度：0.2級(jí)；頻率：0.01HZ；P、Q、COSΦ；0.5級(jí)；通訊分辨率：不大于1ms；三相智能采集模塊（1只）：測(cè)量精度：電流、電壓0.2％，其他電量0.5％；帶RS-485通信接口；數(shù)字式電秒表（1只）：測(cè)量范圍0.0001S-9999.9S，測(cè)量誤差≤±5×10-5×量程±1個(gè)尾數(shù)字，有連續(xù)和觸動(dòng)兩種功能。適應(yīng)空觸點(diǎn)或5V-250V正極性電信號(hào)。連續(xù)性手動(dòng)復(fù)零，觸動(dòng)性即可手動(dòng)復(fù)零，也可隨測(cè)量信號(hào)自動(dòng)復(fù)零。 控制柜包括：微機(jī)線路保護(hù)裝置（1只）；微機(jī)電動(dòng)機(jī)保護(hù)裝置（1只）；微機(jī)變壓器保護(hù)裝置（1只）；無(wú)功補(bǔ)償裝置（1只）；微機(jī)備自投裝置（1只）。 采用32位處理器，16位AD采樣，主要元件全部采用進(jìn)口器件，保證了裝置電氣設(shè)計(jì)上的高可靠性，產(chǎn)品通過(guò)了嚴(yán)格的型式試驗(yàn)和電磁兼容測(cè)試，保證了產(chǎn)品在惡劣環(huán)境下的適應(yīng)能力和可靠性。 針對(duì)35kV及以下主變壓器、配電系統(tǒng)饋線、電容器、電動(dòng)機(jī)、變壓器和備自投等而設(shè)計(jì)。除了具有完善的保護(hù)功能外，還具有對(duì)設(shè)備的電氣量的測(cè)量功能及對(duì)設(shè)備的可編程控制功能，具有通訊接口，能夠通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)總線將數(shù)據(jù)和信息傳送至上位機(jī)（監(jiān)控、調(diào)度計(jì)算機(jī)），同時(shí)接受上位機(jī)的分、合閘等控制命令。 采用一體化型材機(jī)箱，安裝方便靈活，適用于固定式及混合式的柜型，也可集中組屏安裝。 具有多路開(kāi)關(guān)量輸入和輸出，可根據(jù)用戶需求在標(biāo)準(zhǔn)版本上擴(kuò)充開(kāi)入和開(kāi)出，所有的開(kāi)入均為交直流兩用。 交直流兩用操作回路，自適應(yīng)5～5A開(kāi)關(guān)跳合閘電流；操作回路配置了防跳回路。 配置工業(yè)級(jí)寬溫型160×160點(diǎn)陣液晶，全中文操作菜單及事故報(bào)文顯示。 面板上顯示設(shè)備的實(shí)時(shí)信息，監(jiān)視設(shè)備的運(yùn)行工況，如：電流、電壓、功率，開(kāi)關(guān)位置等等，并有完善的預(yù)告、告警功能。 具有故障錄波功能，可分別記錄保護(hù)啟動(dòng)前、保護(hù)動(dòng)作前各兩周波，保護(hù)啟動(dòng)后、保護(hù)動(dòng)作后各八個(gè)周波。 ★裝置具有模擬產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)4相電壓3相電流，方便地進(jìn)行各種組合輸出進(jìn)行各種類型保護(hù)試驗(yàn)。每相電壓可設(shè)置200V，精度:誤差＜0.01V；電流三相可輸出200A，精度:誤差＜0.01A。相位范圍: 360º，精度:誤差＜0.1º； 分辨率: 0.01º。可模擬微機(jī)測(cè)控裝置在各運(yùn)行工況下采樣值，如：停運(yùn)、正常、故障等工況下電參量，在各工況狀態(tài)下自動(dòng)切換所設(shè)定值，配合裝置正確投切一次設(shè)備。 具有 1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的 RS485 通訊接口(Modbus RTU 通訊協(xié)議)， 兩路以太網(wǎng)通訊（IEC60870-5-103通訊規(guī)約）。 整機(jī)靜態(tài)功耗小于10W。 高抗干擾性，通過(guò)10項(xiàng)電磁兼容認(rèn)證（快速瞬變、靜電放電、浪涌抗干擾等）。 上位機(jī)得監(jiān)控軟件，監(jiān)控主機(jī)與現(xiàn)場(chǎng)智能設(shè)備采用RS485總線，Modbus-RTU協(xié)議構(gòu)建底層監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)。主要實(shí)現(xiàn)以下功能：1、對(duì)供配電一次系統(tǒng)進(jìn)行組態(tài)，實(shí)時(shí)顯示主接線的變化；2、實(shí)時(shí)采集、顯示、存儲(chǔ)各類電量參數(shù)；3、對(duì)采集的各種電量量可生成實(shí)時(shí)和歷史曲線和報(bào)表，以利于實(shí)驗(yàn)者比較、分析實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)；4、監(jiān)視各斷路器位置、保護(hù)動(dòng)作出口狀態(tài)；能夠控制輸電線路斷路器的跳/合閘；5、根據(jù)采集的母線電量實(shí)現(xiàn)對(duì)電壓、無(wú)功的自動(dòng)調(diào)整。 PLC采用西門(mén)子PLC主機(jī)。 實(shí)訓(xùn)項(xiàng)目 工廠供電電氣接線圖的認(rèn)知 工廠供電一次電氣接線模擬圖的認(rèn)知 工廠供電二次控制回路接線及信號(hào)回路實(shí)訓(xùn) 電壓和電流互感器的接線方法 工廠供電倒閘操作 工廠自動(dòng)裝置實(shí)訓(xùn) 備用電源自動(dòng)投入裝置參數(shù)整定操作 備用電源自動(dòng)投入 無(wú)功補(bǔ)償裝置參數(shù)整定操作 無(wú)功自動(dòng)補(bǔ)償功能 備投投入條件測(cè)試 進(jìn)線備投（明備用）及自適應(yīng) 母聯(lián)備投（暗備用）及自適應(yīng) 無(wú)功補(bǔ)償裝置認(rèn)知 手動(dòng)/自動(dòng)功率因數(shù)補(bǔ)償 線路無(wú)功控制 VQC電壓無(wú)功控制 工廠高壓線路的微機(jī)繼電保護(hù) 模擬系統(tǒng)短路 微機(jī)線路保護(hù)裝置參數(shù)整定操作 無(wú)時(shí)限電流速斷保護(hù) 帶時(shí)限電流速斷保護(hù) 定時(shí)限過(guò)電流保護(hù) ★方向過(guò)電流保護(hù) 過(guò)電流三相一次重合閘保護(hù) 反時(shí)限過(guò)電流保護(hù) 電流電壓連鎖保護(hù) 零序電流保護(hù) 零序電壓保護(hù) 高壓電動(dòng)機(jī)的繼電保護(hù) 變頻器參數(shù)整定操作 變頻器的開(kāi)環(huán)調(diào)速實(shí)訓(xùn) 三相異步電動(dòng)機(jī)的啟動(dòng)方式 微機(jī)電動(dòng)機(jī)保護(hù)裝置參數(shù)整定操作 高壓電動(dòng)機(jī)的速斷保護(hù) 高壓電動(dòng)機(jī)躲過(guò)啟動(dòng)電流速斷保護(hù) ★高壓電動(dòng)機(jī)的負(fù)序過(guò)電流保護(hù) 高壓電動(dòng)機(jī)堵轉(zhuǎn)保護(hù) 高壓電動(dòng)機(jī)的反時(shí)限過(guò)流保護(hù) 高壓電動(dòng)機(jī)過(guò)電壓保護(hù) 高壓電動(dòng)機(jī)欠電壓保護(hù) 高壓電動(dòng)機(jī)零序過(guò)電流保護(hù) 變壓器微機(jī)繼電保護(hù) 變壓器過(guò)流保護(hù) 變壓器反時(shí)限過(guò)流保護(hù) 變壓器過(guò)負(fù)荷保護(hù) 變壓器零序過(guò)流保護(hù) 變壓器零序電壓保護(hù) 變壓器低電壓保護(hù) 變壓器瓦斯、超溫等非電量保護(hù) 整體監(jiān)控及綜合自動(dòng)化 SCADA監(jiān)控 線路故障定位、報(bào)警及切除 電能曲線分析及報(bào)表 配置清單 序號(hào) 設(shè)備名稱 型號(hào) 單位 數(shù)量 備注 1 帶燈按鈕 直徑16，長(zhǎng)方形頭 24V紅 個(gè) 13   2 帶燈按鈕 直徑16，長(zhǎng)方形頭 24V綠 個(gè) 13   3 按鈕開(kāi)關(guān) 直徑16，圓頭 紅 點(diǎn)動(dòng) 個(gè) 1   4 按鈕開(kāi)關(guān) 直徑16，圓頭 綠 點(diǎn)動(dòng) 個(gè) 1 　 5 指示燈 直徑16，圓頭 紅，24V 個(gè) 2 　 6 指示燈 直徑16，圓頭 黃，220V 個(gè) 1 　 7 指示燈 直徑16，圓頭 綠，220V 個(gè) 6 　 8 指示燈 直徑16，圓頭 紅，220V 個(gè) 1 　 9 按鈕開(kāi)關(guān) 直徑22，帶自鎖、紅 個(gè) 4 　 10 漏電開(kāi)關(guān) DZ47LE32 16A 3P+N 個(gè) 1 　 11 空氣開(kāi)關(guān) 2P 個(gè) 1 　 12 保險(xiǎn)座 5×20 含6A保險(xiǎn) 個(gè) 4 　 13 組合開(kāi)關(guān) LW8-10 2檔 0/1  3節(jié) 個(gè) 8 　 14 旋鈕開(kāi)關(guān) 直徑16，黑色，帶自鎖 個(gè) 4 　 15 旋鈕開(kāi)關(guān) 直徑22，帶自鎖、帶燈24V，紅 個(gè) 14   16 中間繼電器 透明14腳，帶燈，24V 個(gè) 100   17 交流接觸器 CJX2-0910  220V 個(gè) 13   18 電壓表 6L2 450V 個(gè) 1   19 電流表 6L2 10A 個(gè) 3   20 頻率表 6L2  100V 5A 個(gè) 1   21 功率因數(shù)表 6L2  100V 5A 個(gè) 1   22 有功功率表 6L2  100V 5A 個(gè) 1   23 無(wú)功功率表 6L2  100V 5A 個(gè) 1   24 電壓表 6L2 量程40KV 100V對(duì)應(yīng)35KV 個(gè) 2   25 電壓表 6L2 量程12KV 100V對(duì)應(yīng)10KV 個(gè) 2   26 電壓表 6L2 量程12KV 220V對(duì)應(yīng)10KV 個(gè) 1   27 三相有功電能表 DT862 3×57.7/100V 3×1.5(6A)A 個(gè) 1   28 三相無(wú)功電能表 DX863  3×100V 3×1.5(6A)A 個(gè) 1   29 電子式三相電能表 DTS196 3×57.7/100V 3×1.5(6A)A 個(gè) 1   30 多功能智能儀表 100V 5A 開(kāi)孔尺寸88×88 個(gè) 1 　 31 電秒表 417B   開(kāi)孔尺寸90×45 個(gè) 1 　 32 萬(wàn)能轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān) LW8-10 4檔 0/UAB/UBC/UAC 個(gè) 5 　 33 電流互感器 一次穿心5:5 個(gè) 57 　 34 琺瑯管電阻 50歐姆300W 個(gè) 20 　 35 觸摸屏 7吋昆侖通態(tài) 個(gè) 1 含下載線、PLC通訊線 36 無(wú)功功率補(bǔ)償儀 4路 個(gè) 1 　 37 PLC   套 1 含編程電纜 38 PLC擴(kuò)展模塊   臺(tái) 1 　 39 三相調(diào)壓器 3KW 個(gè) 1 　 40 三相干式變壓器 3KW 個(gè) 1 　 41 變頻器 D720 0.4KW 　 1 　 42 勵(lì)磁電源 0-30V 套 1   43 三相異步電機(jī) 　 臺(tái) 1   44 三相同步發(fā)電機(jī) 　 臺(tái) 1   45 直流開(kāi)關(guān)電源 DC220V  2A 個(gè) 1 　 46 微機(jī)保護(hù) 備自投、線路、電動(dòng)機(jī)、變壓器微機(jī)保護(hù) 臺(tái) 各1 　 47 接線柱 安全性 個(gè) 若干 　 六、變電站監(jiān)控軟件 1、概述 電力綜合自動(dòng)化監(jiān)控系統(tǒng)支持基于多種通訊方式的分布式體系結(jié)構(gòu)，采用對(duì)象化的設(shè)備描述方法，系統(tǒng)的描述由傳統(tǒng)的面向遠(yuǎn)動(dòng)的數(shù)據(jù)列表方式變?yōu)閷哟畏绞剑瑢?duì)象層次可以任意嵌套，能夠更直觀更方便地反映電力系統(tǒng)的構(gòu)成。 采用跨平臺(tái)設(shè)計(jì)，支持多種操作系統(tǒng)：   采用 Mysql 為主數(shù)據(jù)庫(kù)， 按畫(huà)面管理、數(shù)據(jù)管理與在線運(yùn)行的模塊設(shè)計(jì)：   2、 功能特性1） 多國(guó)語(yǔ)言◆ 支持多國(guó)語(yǔ)言顯示，中文簡(jiǎn)體、 中文繁體與英文◆ 支持多國(guó)語(yǔ)言動(dòng)態(tài)切換， 多數(shù)模塊在切換語(yǔ)言后無(wú)須重啟軟件即可生效2） 語(yǔ)音報(bào)警◆ 支持媒體文件提示◆ 支持 TTS 文字轉(zhuǎn)語(yǔ)音， 支持事件提示與五防操作提示3） 圖元展示◆ 支持多種顯示方式，餅狀圖、 柱狀圖、 儀表盤(pán)、 溫度計(jì)、 圖片與動(dòng)畫(huà)等◆ 支持一鍵將圖元數(shù)據(jù)推送顯示到曲線◆ 支持所有類型圖元實(shí)現(xiàn)操作屬性配置◆ 支持顯示公式計(jì)算值◆ 支持智能關(guān)聯(lián)，數(shù)據(jù)庫(kù)增加刪除數(shù)據(jù)后不影響已關(guān)聯(lián)圖元◆ 支持通過(guò)設(shè)備管理顯示所有設(shè)備所有數(shù)據(jù)4） 曲線展示◆ 支持顯示實(shí)時(shí)曲線，顯示時(shí)段范圍 5 分鐘到 60 分鐘可選◆ 支持顯示歷史曲線，顯示數(shù)據(jù)類型日月年最大最小平均值累計(jì)值等統(tǒng)計(jì)類可選◆ 支持顯示大量數(shù)據(jù)，支持同一數(shù)據(jù)多個(gè)不同時(shí)段值同時(shí)對(duì)比顯示◆ 支持將歷史曲線所顯示的數(shù)據(jù)導(dǎo)出到 excel 中◆ 支持曲線坐標(biāo)范圍根據(jù)數(shù)據(jù)數(shù)值自適應(yīng) ◆ 支持用戶新增與編輯收藏曲線， 支持一鍵顯示用戶收藏曲線5）報(bào)表展示◆ 支持根據(jù)數(shù)據(jù)生成報(bào)表和通過(guò)圖元自定義報(bào)表◆ 支持將報(bào)表數(shù)據(jù)導(dǎo)出到 excel 中◆ 支持將報(bào)表數(shù)據(jù)顯示到曲線6） 事件查詢◆ 支持按設(shè)備查詢事件◆ 支持用關(guān)鍵字搜索事件◆ 支持以事件類型檢索事件◆ 支持將事件導(dǎo)出到 excel 中◆ 支持事件逐條確認(rèn)與全部確認(rèn)◆ 支持事件標(biāo)注高亮顯示7） 五防閉鎖◆ 支持自定義五防邏輯，支持遙信遙測(cè)及公式作為邏輯閉鎖條件◆ 支持多種運(yùn)行模式，支持禁用五防閉鎖或嚴(yán)格五防閉鎖◆ 支持五防開(kāi)票與預(yù)演◆ 支持五防操作語(yǔ)音提示8） 定值操作◆ 支持定值的讀取與修改◆ 支持壓板讀取與修改◆ 支持運(yùn)行區(qū)號(hào)的讀取與修改9） 設(shè)備接入◆ 支持多種協(xié)議接入，南自 103、 標(biāo)準(zhǔn) 104、 自定義 Modbus、 GPS 對(duì)時(shí)規(guī)約等◆ 支持自定義 Modbus 的配置◆ 支持通過(guò)公式實(shí)現(xiàn)遙信合并與遙測(cè)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)◆ 采用規(guī)約系數(shù)與變比分離設(shè)計(jì)◆ 支持導(dǎo)入南思監(jiān)控系統(tǒng)格式設(shè)備模板◆ 支持與系統(tǒng)剪切板多行復(fù)制粘貼交互10） 數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)◆ 支持多種轉(zhuǎn)發(fā)協(xié)議◆ 支持轉(zhuǎn)發(fā)協(xié)議遙控遙調(diào)   3、運(yùn)行圖例 1） 畫(huà)面管理  2）數(shù)據(jù)管理  3）在線運(yùn)行主接線圖   4）餅圖與棒圖      5）歷史曲線與實(shí)時(shí)曲線  6）儀表盤(pán)與年報(bào)  7）日?qǐng)?bào)與月報(bào)   8）設(shè)備管理實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)   9）設(shè)備管理實(shí)時(shí)曲線    10）設(shè)備管理歷史曲線      11）設(shè)備管理運(yùn)行日志   12）日志查詢        15）運(yùn)行日志窗口  16） 保護(hù)告警窗口   17）五防操作窗口   18）五防邏輯編程   

本發(fā)明公開(kāi)了一種集成加熱部件的微型氣敏傳感器的制作工藝，步驟為：①在基底上勻膠和光刻顯影，形成叉指形狀的光刻膠圖形； ②將基底在保護(hù)氣氛下進(jìn)行熱解，形成玻碳叉指電極；③在玻碳叉指 電極上勻膠并光刻顯影；④再次熱解，得到具有氣體敏感材料和加熱 部件的叉指電極氣敏傳感器。本發(fā)明利用光刻和熱解技術(shù)先制作完成 加熱部件和氣敏部分，不需要另外加上檢測(cè)電路，以及另外旋涂敏感 材料。本工藝的特點(diǎn)是將氣體敏感材料部分和加熱器件集成為一體， 而且制作的工藝就是常規(guī)的光刻、熱解等工藝，相對(duì)于現(xiàn)有的氣敏傳 感器的加熱部件具有尺寸小，耗費(fèi)能量小，制作簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。 

本發(fā)明公開(kāi)了一種集成加熱部件的微型氣敏傳感器的制作工藝，步驟為：①在基底上勻膠和光刻顯影，形成叉指形狀的光刻膠圖形；②將基底在保護(hù)氣氛下進(jìn)行熱解，形成玻碳叉指電極；③在玻碳叉指電極上勻膠并光刻顯影；④再次熱解，得到具有氣體敏感材料和加熱部件的叉指電極氣敏傳感器。本發(fā)明利用光刻和熱解技術(shù)先制作完成加熱部件和氣敏部分，不需要另外加上檢測(cè)電路，以及另外旋涂敏感材料。本工藝的特點(diǎn)是將氣體敏感材料部分和加熱器件集成為一體，而且制作的工藝就是常規(guī)的光刻、熱解等工藝，相對(duì)于現(xiàn)有的氣敏傳感器的加熱部件具有尺寸小，耗

本發(fā)明提供了一種一維納米復(fù)合金屬氧化物氣敏材料及其制備方法。本發(fā)明將氯化鋅溶液、氯化錫溶液混合后與氫氧化鈉溶液進(jìn)行水熱反應(yīng)，通過(guò)加入無(wú)水乙醇、表面活性劑和控制反應(yīng)條件而制備一維納米氧化鋅氧化錫復(fù)合材料。該制備方法與現(xiàn)有的一維納米金屬氧化物材料的制備方法相比，具有成本低，操作簡(jiǎn)單，低能耗等優(yōu)點(diǎn)。制備的納米復(fù)合材料對(duì)甲烷、一氧化碳、二氧化氮等氣體具有氣體敏感度，是一種良好的氣敏材料。

昊星自動(dòng)化致力于引領(lǐng)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境監(jiān)控的智慧化解決方案，助力中國(guó)創(chuàng)造。自1997年成立以來(lái)，昊星以匠心工藝和科技創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)，專注于生物制藥、石化、科研機(jī)構(gòu)、高校、醫(yī)療保健及檢測(cè)中心等行業(yè)的潔凈和通風(fēng)智能化應(yīng)用開(kāi)發(fā)與實(shí)踐；為實(shí)驗(yàn)人員構(gòu)建安全、舒適且智能的工作環(huán)境，至今已成功落地1000+領(lǐng)先案例。公司總部設(shè)在珠海高新區(qū)，在南屏宇訊科技園建有3000+平方米的生產(chǎn)基地，年產(chǎn)高精密風(fēng)量控制閥10000+套，傳感器15000+件和控制屏10000+件。秉持極致產(chǎn)品主義理念，昊星自主研發(fā)風(fēng)閥全自動(dòng)風(fēng)量標(biāo)定系統(tǒng)、高精度旋壓設(shè)備、SMT車間和精密測(cè)試工裝等10+臺(tái)先進(jìn)研發(fā)設(shè)備及50+臺(tái)生產(chǎn)檢測(cè)設(shè)備。未來(lái)，昊星將繼續(xù)通過(guò)卓越品質(zhì)和科技創(chuàng)新推動(dòng)智慧化技術(shù)的發(fā)展，為各行業(yè)客戶提供安全、舒適、智能、可靠的智慧化解決方案。