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MEMS慣性測量單元
慣性測量單元（Inertial Measurement Unit，簡稱IMU）是測量物體三軸姿態角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯式慣導，該系統由兩個加速度傳感器與三個速度傳感器（陀螺）組成，加速度計測量物體在載體坐標系統獨立三軸的加速度信號，而陀螺檢測載體相對于導航坐標系的角速度信號，測量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態。在導航中有著很重要的應用價值。
電子科技大學
2021-04-10
MEMS慣性測量單元
成果簡介： 慣性測量單元（Inertial Measurement Unit，簡稱IMU）是測量物體三軸姿態角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯式慣導，該系統由兩個加速度傳感器與三個速度傳感器（陀螺）組成，加速度計測量物體在載體坐標系統獨立三軸的加速度信號，而陀螺檢測載體相對于導航坐標系的角速度信號，測量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態。在導航中有著很重要的應用價值。 技術指標 技術指標 單位 型號 UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 軸數 個 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度靈敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零點穩定性 mg/hr 15 60 40 加速度溫度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度靈敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零點漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度溫度漂移 % <2% <5% <2%
電子科技大學
2017-10-23
MEMS氣象站
MEMS氣象站可實現溫度、濕度、壓力和風速等信息的實時監測。
東南大學
2021-04-13
基于MEMS技術的傳感器及數據記錄儀
在空氣動力學研究、飛行器及發動機試驗、風洞試驗、流體力學及水工試驗、水輪機及 水下兵器試驗、生物醫學應用，化爆或核爆沖擊波等許多研究中，出于對不改變被測流場的 考慮或受安放位置局限，必須原位測壓時，常常對傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的 要求，以期在不干擾流場狀態情況下，復現動態流場的變化規律。XJG4 微型壓力傳感器正 是為這些應用開發的，它采用了微型化設計的微機械加工工藝制成集成壓阻力敏元件，進行 精致巧妙的微型封裝，通常外徑在Φ8mm 到Φ15mm、長度不超過 25mm，并且可按照用戶要求 的形狀與尺寸定制。微型壓力傳感器系列以其小巧的外形、高輸出、高溫、優異的動態和靜 態特性以及極高的可靠性而顯示其特色。
西安交通大學
2021-04-10
小波視頻編解碼器
H.264/AVC是ISO/IEC和ITU-T共同成立的聯合視頻組(Joint Video Team，JVT)制定的標準，它比MPEG-2提高了大約50%的壓縮率，具有優異的壓縮性能。但隨著計算機網絡技術的發展和數字產品應用需求的多樣化，對視頻編碼技術的研究不再僅僅局限于壓縮性能的提高，而開始逐漸向網絡適應性、用戶交互性等方面轉移。 由于空域、時域、質量、復雜度和分辨率的可擴展性，近年來，基于小波的編解碼器受到越來越多的關注。它不僅特別適合于網絡視頻傳輸，而且滿足視頻監控中資料的存儲、檢索和分析等種種特殊需求。本課題正是以小波視頻編碼性能的提高和高度的可擴展性為目標，深入研究其中涉及的諸多關鍵技術，構建了一個性能優越的視頻編解碼器原型系統，其率失真性能超過H.264/AVC，具有高度的可擴展性，設計的視頻編解碼器的復雜度明顯低于H.264/AVC。
西安交通大學
2021-04-11
ZnO突波吸收器及其制備方法
ZnO突波吸收器及其制備方法,它涉及突波吸收器及其制備方法.為了解決目前的ZnO突波吸收器原料混合均勻性差,粉體粒徑大,性能差的問題.ZnO突波吸收器由ZnO瓷片和ZnO瓷片表面的銀電極制成;ZnO瓷片由ZnO,Sb
哈爾濱師范大學
2021-05-04
聲表面波傳感器及其應用
聲表面波（SAW）器件由壓電材料、叉指換能器（IDT）和振蕩 電路構成。SAW 器件已經廣泛地應用于通信、雷達、電子對抗、廣播 電視等民用和軍用領域中。 由 SAW 器件可以構成的多種傳感器，其原理是器件周圍物理量、 化學量和生物量的變化引起 SAW 器件振蕩頻率的偏移，通過檢測頻率的變化來監測加速度、溫度、濕度、壓力、剪切、彎曲等參量。 SAW 傳感器具有獨特的優點。與常用的半導體氣敏傳感器相比， 它不受溫度影響，靈敏度高，穩定性好；設計結構靈活，對電、熱、 力、聲、光、化學及生物等多種因素敏感；采用 SAW 技術其輸出信 號為振蕩器頻率的變化，無需經過 A/D 轉換，易于與計算機接口；抗 干擾能力強，靈敏度高，檢測范圍線性度好，測量重復性好，適合遠 距離傳輸和實現遙測遙控。其采用集成電路中的平面工藝制作，可實 現集成化、智能化，使得 SAW 傳感器體積小、重量輕，攜帶方便。 更重要的是，SAW 傳感器件的成本低，能夠進行大批量生產，更符 合產業化要求。 SAW 化學傳感器是繼半導體傳感器和光纖傳感器之后的新秀。 SAW 化學傳感器依據不同的基底材料、不同化學薄膜可以檢測 SO2、 H2、NH3、H2S、NO2、丙酮、甲醇、水蒸氣、等多種化學成分。因此 可廣泛用于大氣環境監測、化工過程控制、汽車排放尾氣控制、毒品 檢測、臨床分析等領域。這種傳感器還可以檢測破壞人體神經、血液 的毒氣，包括 Sarin（沙林）、Soman（梭曼）、VX、Mustard（芥子氣）、 Nitrogen Mustard（氮芥）、Hydrogen Cyanide（氰化氫）、Cyanogen Chloride (氯化氰)、Lewisite（劉易士毒氣）、有機磷、有機硫等化學戰 劑。化學戰劑檢測問題受到各國高度重視。化學戰劑的檢測設備種類 繁多，聲表面波化學傳感器具有獨特的優點，更符合實戰要求。
南開大學
2021-04-11
聲表面波傳感器及其應用
聲表面波（SAW）器件由壓電材料、叉指換能器（IDT）和振蕩電路構成。SAW器件已經廣泛地應用于通信、雷達、電子對抗、廣播電視等民用和軍用領域中。 由SAW器件可以構成的多種傳感器，其原理是器件周圍物理量、化學量和生物量的變化引起SAW器件振蕩頻率的偏移，通過檢測頻率的變化來監測加速度、溫度、濕度、壓力、剪切、彎曲等參量。 SAW傳感器具有獨特的優點。與常用的半導體氣敏傳感器相比，它不受溫度影響，靈敏度高，穩定性好；設計結構靈活，對電、熱、力、聲、光、化學及生物等多種因
南開大學
2021-04-14
非硅MEMS 技術及其應用
1988年國際上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技術是將IC工藝和機電設計相結合制造微傳感器、微執行器和微系統的新技術，也稱硅MEMS。作為對硅MEMS的補充和發展，非硅材料種類繁多、性能各異，能滿足不同應用領域的需求，我們在國家863 計劃等項目支持下于九十年代初首先提出并創立了非硅MEMS技術。 提出非硅MEMS新概念和總體思路；開發了以金屬基為主的多種材料兼容的非硅表面微加工、高深寬比三維微加工等成套非硅微加工技術，為非硅MEMS發展奠定了良好基礎；把經典原理和非硅微加工結合，開發了一系列壓電、靜電、磁電、微流體、慣性等種類的微器件和微系統，形成若干具有完全知識產權的專利群；并將非硅MEMS應用于生物芯片、微引信、信息、光器件、復合膜模具、國防武器、非硅MEMS生產線等眾多領域，取得了顯著的經濟、社會效益，推動和引領了我國非硅MEMS技術的應用和發展。 非硅MEMS技術及其應用獲得國家技術發明二等獎2項（2008，2000），省部一等獎4項，獲2009年中國工業博覽會創新獎；授權發明專利200多項；出版MEMS專著6部。
上海交通大學
2021-04-13
寬量程MEMS風速風向傳感器設計與制造關鍵技術及應用
"該成果獲2018年度高等學校科學研究優秀成果獎（科學技術）技術發明類一等獎。1. 針對MEMS風速風向傳感器低風速誤差大、高風速難以測量的問題，發明了風速風向傳感器深槽隔熱結構，降低了襯底橫向熱傳導，提高了靈敏度，降低了測量誤差，擴大了傳感器的量程。 2. 針對MEMS風速風向傳感器高風速難以測量的問題，建立了傳感器系統級模型，實現了閉環控制；提出了風速風向傳感器的溫度自平衡測控方法，實現了60m/s的量程，解決了長期以來風速風向傳感器量程難以提高的技術難題。 3. 針對MEMS風速風向傳感器野外工作防護技術問題，發明了風速風向傳感器的陶瓷圓片級倒裝封裝技術，提出了導熱凸點與導電凸點結構及工藝技術；發明了傳感器嵌入式組裝結構，突破了傳感器野外工作的可靠性技術瓶頸。 4. 針對MEMS風速風向傳感器受環境溫度、濕度影響問題，在國際上首次建立了風速風向傳感器的濕度效應模型；基于傳感器材料與結構的溫度特性，建立了風速風向傳感器溫度效應模型，保障了傳感器長期工作的穩定性。 "
東南大學
2021-04-13