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MEMS壓力傳感器
自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個(gè)大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V 1.5V 驅(qū)動(dòng)電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學(xué)
2021-04-10
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MEMS?壓力傳感器
已有樣品/n已完成針對(duì)低、中、高壓（10kPa-40MPa）MEMS 壓力芯片的原型器件開發(fā)；能 夠針對(duì)不同應(yīng)用領(lǐng)域的 MEMS 壓力芯片進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，解決提高靈敏度和降低非線 性、芯片長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性的關(guān)鍵技術(shù)難題；原型芯片的研發(fā)技術(shù)符合工程量產(chǎn)化技 術(shù)要求，易于快速轉(zhuǎn)化和量產(chǎn)；與國外知名公司產(chǎn)品相比，技術(shù)指標(biāo)相當(dāng)，部分指 標(biāo)如靈敏度溫漂系數(shù)相比優(yōu)異。 MEMS壓力傳感器可應(yīng)用于工業(yè)類儀器儀表、油井勘探、工業(yè)自動(dòng)化控制中壓力 監(jiān)測(cè)、可穿戴、智慧醫(yī)療領(lǐng)域壓力測(cè)量、汽車電子等領(lǐng)域。年需求量可達(dá)數(shù)千萬只。
中國科學(xué)院大學(xué)
2021-01-12
MEMS壓力傳感器
成果簡(jiǎn)介： 自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個(gè)大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V±1.5V 驅(qū)動(dòng)電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學(xué)
2017-10-23
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光學(xué)防抖MEMS驅(qū)動(dòng)器
本發(fā)明公開了一種光學(xué)防抖MEMS驅(qū)動(dòng)器.現(xiàn)有的光學(xué)防抖驅(qū)動(dòng)器,最多僅具有五軸.本發(fā)明包括平面三軸驅(qū)動(dòng)器和垂直三軸驅(qū)動(dòng)器.所述的平面三軸驅(qū)動(dòng)器包括第一框架,驅(qū)動(dòng)臂和中間固定板.垂直三軸驅(qū)動(dòng)器包括運(yùn)動(dòng)件和驅(qū)動(dòng)件.運(yùn)動(dòng)件包括第二框架,第二懸臂,偏轉(zhuǎn)盤,彈簧條,中心盤和第三接觸點(diǎn).多根第二懸臂的一端均與偏轉(zhuǎn)盤連接,另一端均與第二框架連接.驅(qū)動(dòng)件包括底盤和扇環(huán)狀電極片組.扇環(huán)狀電極片組包括n片扇環(huán)狀電極片.n片扇環(huán)狀電極片均固定在底板上.扇環(huán)狀電極片組與偏轉(zhuǎn)盤對(duì)齊.本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)使圖像傳感器在平面三軸及豎直三軸上運(yùn)動(dòng),解決由于相機(jī)抖動(dòng)帶來的圖像模糊問題.
杭州電子科技大學(xué)
2021-05-06
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新型諧振MEMS微慣性傳感器
研發(fā)生產(chǎn)的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達(dá)到慣性級(jí)，在微小衛(wèi)星、微航天器等場(chǎng)合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無運(yùn)動(dòng)部件，抗沖擊性更好；同時(shí)該陀螺可以采用角速度檢測(cè)和角速度積分檢測(cè)兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場(chǎng)合與范圍。
上海交通大學(xué)
2021-04-10
新型諧振MEMS微慣性傳感器
針對(duì)我國在軍事、工業(yè)等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅堋⑿〕叽纭⒏呖煽啃訫EMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學(xué)自2001年起就開展基于MEMS技術(shù)的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機(jī)，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等預(yù)期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達(dá)到慣性級(jí)，在微小衛(wèi)星、微航天器等場(chǎng)合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無運(yùn)動(dòng)部件，抗沖擊性更好；同時(shí)該陀螺可以采用角速度檢測(cè)和角速度積分檢測(cè)兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場(chǎng)合與范圍，特別適合在高G環(huán)境下進(jìn)行空間位置測(cè)量、導(dǎo)航與姿態(tài)控制等。此外，其在消費(fèi)電子市場(chǎng)以及汽車市場(chǎng)也擁有這巨大的應(yīng)用空間，如手機(jī)、游戲機(jī)等手持電子設(shè)備的姿態(tài)控制系統(tǒng)，照相機(jī)、攝像機(jī)的穩(wěn)定電子平臺(tái)，汽車的防翻車預(yù)警系統(tǒng)等。。相關(guān)研究?jī)?nèi)容作為重要組成部分曾獲省部級(jí)及以上獎(jiǎng)勵(lì)多次，授權(quán)發(fā)明專利幾十余項(xiàng)，微陀螺方面的專利國內(nèi)第一，國際第二，發(fā)表SCI/EI等論文幾十篇。
上海交通大學(xué)
2021-04-13
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MEMS 耐高溫壓力傳感器及技術(shù)
該項(xiàng)目應(yīng)用先進(jìn)的MEMS技術(shù)，研制完成了耐高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)、制造關(guān)鍵技術(shù)及系列產(chǎn)品開發(fā)。解決了一直困擾航空航天、石油化工、軍工、能源電力等領(lǐng)域因高溫、高頻響、高過載、微型化、瞬時(shí)高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力、力、加速度測(cè)量難題。該成果獲得2006年度國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)、2005年度教育部技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)、2004年度陜西省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和2004年度西安市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)四項(xiàng)獎(jiǎng)勵(lì)。相關(guān)技術(shù)已獲得國家授權(quán)發(fā)明專利20余項(xiàng)。
西安交通大學(xué)
2021-04-11
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全數(shù)字MEMS地震檢波器技術(shù)研究
項(xiàng)目主要針對(duì)瑞雷波物探方法使用的動(dòng)圈式檢波器的缺點(diǎn)，開展全數(shù)字MEMS檢波器研制，以此提高公路路基物探精度。主要研究?jī)?nèi)容如下：（1）全數(shù)字MEMS檢波器電路系統(tǒng)及硬件裝置的研制；（2）針對(duì)所研制的檢波器檢測(cè)軟件系統(tǒng)研制；（3）針對(duì)所研制的檢波器對(duì)瑞雷波信號(hào)的振動(dòng)模型研究；
重慶大學(xué)
2021-04-14
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基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器
基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器，屬于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的壓力檢測(cè)器件，解決現(xiàn)有 MEMS 壓力傳感器尺寸較大，靈敏度有限的問題。本實(shí)用新型包括基底、絕緣層，所述基底表面氧化形成絕緣層，絕緣層內(nèi)刻蝕出空腔，絕緣層上表面覆蓋石墨烯薄膜，將所述空腔封閉，石墨烯薄膜為 1~5 層；所述石墨烯薄膜邊緣沉積兩個(gè)金屬電極，兩個(gè)金屬電極上分別焊接有導(dǎo)線。本實(shí)用新型采用石墨烯薄膜構(gòu)成 MEMS 壓阻式壓力傳感器，制備方法簡(jiǎn)單，可靠性好，壓力傳感器體積更小，從微米尺度變?yōu)榧{米尺度，靈敏度更高，在 1~5 層內(nèi)增
華中科技大學(xué)
2021-04-14
MEMS慣性測(cè)量單元
慣性測(cè)量單元（Inertial Measurement Unit，簡(jiǎn)稱IMU）是測(cè)量物體三軸姿態(tài)角（或角速度）以及加速度的裝置。IMU屬于捷聯(lián)式慣導(dǎo)，該系統(tǒng)由兩個(gè)加速度傳感器與三個(gè)速度傳感器（陀螺）組成，加速度計(jì)測(cè)量物體在載體坐標(biāo)系統(tǒng)獨(dú)立三軸的加速度信號(hào)，而陀螺檢測(cè)載體相對(duì)于導(dǎo)航坐標(biāo)系的角速度信號(hào)，測(cè)量物體在三維空間中的角速度和加速度，并以此解算出物體的姿態(tài)。在導(dǎo)航中有著很重要的應(yīng)用價(jià)值。 技術(shù)指標(biāo) 技術(shù)指標(biāo) 單位 型號(hào) UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 軸數(shù) 個(gè) 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度靈敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零點(diǎn)穩(wěn)定性 mg/hr 15 60 40 加速度溫度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度靈敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零點(diǎn)漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度溫度漂移 % <2% <5% <2%
電子科技大學(xué)
2021-04-10