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本發(fā)明公開的季銨鹽改性有機(jī)硅聚氨酯型海洋防污涂料，結(jié)構(gòu)如式（1），式中為含有季銨鹽側(cè)鏈的有機(jī)硅軟段，為異氰酸酯硬段。制備步驟包括：制備2,4,6-三（3-氯丙基）-2,4,6-三甲基-環(huán)三硅氧烷；制備1,3-雙[3-(2,3-環(huán)氧丙氧基)丙基]-四甲基二硅氧烷；制備1,3-雙[3-(1-甲氧基-2-羥基丙氧基)丙基]-四甲基二硅氧烷；制備雙羥基封端氯丙基聚硅氧烷；制備含有季銨鹽與羥基的聚硅氧烷化合物；將該化合物和異氰酸酯混合，再加入γ-氨丙基三乙氧基硅烷進(jìn)行擴(kuò)鏈得到預(yù)聚體，預(yù)聚體在空氣中交聯(lián)縮合。本發(fā)明結(jié)合了低表面能與毒殺的雙重效果，不僅可以抑制海洋生物的吸附，還能通過季銨鹽殺死吸附在船體表面的細(xì)菌式（1）。

研究領(lǐng)域(1)CAD/CAM及RPM相關(guān)技術(shù)：包括功能性梯度材料/生物醫(yī)學(xué)材料計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)以及快速原型和制造（RPM）相關(guān)技術(shù)及應(yīng)用；(2)面向功能構(gòu)件數(shù)字化制造的設(shè)計(jì)，網(wǎng)絡(luò)制造技術(shù)，功能構(gòu)件的拓?fù)鋬?yōu)化設(shè)計(jì)理論與方法；(3)功能構(gòu)件的多尺度建模、仿真分析與優(yōu)化；(4)高速精密加工工藝及裝備的動(dòng)態(tài)精度設(shè)計(jì)：包括高速精密加工工藝系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)建模與仿真等。科研成果及簡(jiǎn)介科研成果：(1)國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目（59505005），“數(shù)控加工自適應(yīng)刀具軌跡規(guī)劃及動(dòng)力學(xué)行為的研究”．1996年1月～1998年12月。完成人：張大衛(wèi)、黃田、倪雁冰、周立華、馮志勇、徐安平、閻兵。1998年12月結(jié)題，國(guó)際先進(jìn)。(2)河北省科技攻關(guān)計(jì)劃項(xiàng)目，“基于網(wǎng)絡(luò)的新產(chǎn)品快速開發(fā)系統(tǒng)”． 完成人：檀潤(rùn)華、徐安平、段國(guó)林、梁艷紅、張瑞紅、劉力松、孫立新、苑彩云、曲云霞。2001年6月鑒定，國(guó)際先進(jìn)。2002年獲河北省科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)。(3)河北省自然科學(xué)基金項(xiàng)目，基于汽車減振器新型數(shù)學(xué)模型的汽車乘座動(dòng)力學(xué)系統(tǒng)參數(shù)設(shè)計(jì)．完成人：檀潤(rùn)華、呂維瑛、張瑞紅、苑彩云、段國(guó)林、徐安平。2001年6月鑒定，國(guó)際先進(jìn)。(4)河北省博士基金項(xiàng)目，汽車非線性乘座動(dòng)力學(xué)專用仿真軟件開發(fā)．完成人：檀潤(rùn)華、陳鷹、呂維瑛、張瑞紅、苑彩云、段國(guó)林、徐安平。2001年6月鑒定，國(guó)際先進(jìn)。(5)天津市自然科學(xué)基金項(xiàng)目，汽車非線性乘座動(dòng)力學(xué)關(guān)鍵技術(shù)研究．完成人：檀潤(rùn)華、陳鷹、呂維瑛、張瑞紅、苑彩云、段國(guó)林、徐安平。2001年6月鑒定，國(guó)際先進(jìn)。(6)河北省自然基金項(xiàng)目（500050，5萬），三維布局問題建模及其求解方法的研究．完成人：段國(guó)林、張健楠、蔡瑾、王彩紅、何樹田、徐安平、張滿囤。2003年3月通過河北省科技廳鑒定，國(guó)際先進(jìn)。(7)河北省教育廳計(jì)劃項(xiàng)目（2000209，2萬），二維不規(guī)則形狀自動(dòng)布局系統(tǒng)的研究開發(fā)．完成人：段國(guó)林、王彩紅、徐安平、張健楠、張滿囤、孟憲春。2003年3月通過河北省教育廳鑒定，國(guó)際先進(jìn)）(8)國(guó)家教育部高等學(xué)校骨干教師資助項(xiàng)目，快速原型件網(wǎng)上訂貨系統(tǒng)研究．完成人：檀潤(rùn)華、梁艷紅、段國(guó)林、苑彩云、張瑞紅、徐安平、孫立新、劉力松、王永山。2000年1月——2001年12月。已結(jié)題。(9)天津市科委計(jì)劃項(xiàng)目，“基于MDT環(huán)境的內(nèi)嵌式RP數(shù)據(jù)處理軟件的研制”．課題組成員：徐安平、檀潤(rùn)華、劉玉山、曲云霞、劉力松、陳青果、金艷麗。2001.1 ~ 2003.12.（1.5萬），2003年6月18日天津市科委組織專家組對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行了總體驗(yàn)收。(10)天津市科委計(jì)劃項(xiàng)目，“RP技術(shù)在新產(chǎn)品開發(fā)過程中的應(yīng)用”．課題組成員：段國(guó)林、徐安平、劉力松。2001.1 ~ 2003.12.（5萬），2003年6月18日天津市科委組織專家組對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行了總體驗(yàn)收。(11)河北省自然科學(xué)基金項(xiàng)目（500046），“數(shù)控環(huán)境下動(dòng)態(tài)銑削過程物理仿真系統(tǒng)的研究與開發(fā)”．課題組成員：徐安平、曲云霞、閻兵、段國(guó)林、孫明達(dá)、李為民、劉玉山、金艷麗、陳青果。2000.3 ~ 2003.3. （3.5萬），2003年7月20日河北省科技廳組織專家對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行了技術(shù)鑒定，國(guó)際先進(jìn)水平。(12)河北省教育廳博士基金項(xiàng)目，“數(shù)控環(huán)境下動(dòng)態(tài)銑削過程仿真系統(tǒng)的研究與開發(fā)”．課題組成員：徐安平、曲云霞、閻兵、段國(guó)林、孫明達(dá)、李為民、劉玉山、金艷麗、陳青果。2000.1 ~ 2003.3.（3.5萬），2003年7月20日河北省科技廳組織專家對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行了技術(shù)鑒定，國(guó)際先進(jìn)水平。(13)國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目（50175025），“進(jìn)化過程驅(qū)動(dòng)的產(chǎn)品概念設(shè)計(jì)模型研究”．課題組成員：檀潤(rùn)華、段國(guó)林、徐安平、馬建紅、張瑞紅、苑彩云、王永山、姜屏。2001~2003,（7萬），2003年3月結(jié)題。(14)天津市自然科學(xué)基金項(xiàng)目（023603411），“組合夾具CAD中關(guān)鍵技術(shù)的研究”．課題組成員：段國(guó)林、丁銀周、蔡瑾、徐安平、張滿囤、李向東、李戰(zhàn)委。2002.6 ~ 2004.6（6萬），2005年7月3日天津市科委組織專家對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行了驗(yàn)收，國(guó)際先進(jìn)。(15)河北省自然科學(xué)基金項(xiàng)目（502047），“組合夾具計(jì)算機(jī)輔助構(gòu)形設(shè)計(jì)中基于案例的推理方法的研究”．課題組成員：段國(guó)林、丁銀周、蔡瑾、徐安平、張滿囤、李向東、李戰(zhàn)委。2002.1 ~ 2005.1.（6萬），2005年7月16日河北省科技廳組織專家對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行了技術(shù)鑒定，國(guó)際先進(jìn)。(16)天津市自然科學(xué)基金項(xiàng)目（023605411），“MDT環(huán)境下RP數(shù)據(jù)處理及設(shè)備驅(qū)動(dòng)程序的研究與開發(fā)”．課題組成員：徐安平、曲云霞、劉玉山、陳青果、侯紅葉。2002.6 ~ 2005.6（6萬），2005年8月6日天津市科委組織專家對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行了驗(yàn)收，國(guó)際先進(jìn)。(17)河北省優(yōu)秀專家留學(xué)基金項(xiàng)目，“選擇性金屬粉末直接燒結(jié)快速成形工藝關(guān)鍵技術(shù)及設(shè)備研究”．項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：徐安平。2002.1 ~ 2004.12（8萬），已完成。(18)河北工業(yè)大學(xué)“十五211”工程項(xiàng)目，“功能梯度實(shí)體快速制作機(jī)”．項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：徐安平。2005.1 ~ 2005.12（20萬），已通過驗(yàn)收。(19)河北省教育廳計(jì)劃項(xiàng)目, “基于RP的新產(chǎn)品快速開發(fā)系統(tǒng)”．課題組成員：段國(guó)林、徐安平、李翠玉、劉玉山、陳青果、侯紅葉。2001~2003（20萬），已完成。(20)國(guó)家863計(jì)劃項(xiàng)目（2002AA415300），“自主版權(quán)三維CAD和ERP軟件在離散型中小企業(yè)的應(yīng)用研究”．課題組成員：檀潤(rùn)華、李向東，徐安平等。（50萬），2005年11月通過科技部驗(yàn)收。(21)美國(guó)國(guó)家科學(xué)基金（NSF）項(xiàng)目（DMI-0218169），“Dental Restorations via Multi-Material Solid Freeform Fabrication”．課題組成員：Leon L. Shaw, Anping Xu, Jiwen Wang, Xiaoxue Li et al.(22)美國(guó)國(guó)家科學(xué)基金（NSF）項(xiàng)目（CBET-0930365），“Functionally Graded Orthopedic Implants via the Slurry Mixing and Dispensing Process．課題組成員：Leon L. Shaw, Anping Xu, et al.(23)天津市自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目（043603111），“多坐標(biāo)高速銑削集成仿真系統(tǒng)研究”．完成人：閻兵，徐安平等。（6萬），2007年11月通過天津市科委驗(yàn)收。(24)河北省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目（E2004000052），“CAD模型直接驅(qū)動(dòng)的桌面立體打印設(shè)備驅(qū)動(dòng)原理及實(shí)現(xiàn)方法研究”．完成人：徐安平，牛亞松，付建華，曲云霞等。（7萬），2008年1月31日通過河北省科技廳組織的專家鑒定，國(guó)際先進(jìn)水平。(25)河北省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目（E2006000039），“場(chǎng)信息驅(qū)動(dòng)的復(fù)雜功能梯度實(shí)體建模理論及數(shù)字化制造關(guān)鍵技術(shù)研究”．完成人：徐安平，朱東彬，曲云霞等。（5萬），2010年5月結(jié)題。獲獎(jiǎng)與專利 專利：(1)徐安平，朱東彬，曲云霞，郭艷華．一種非均質(zhì)功能構(gòu)件的制造方法與裝置[P]．國(guó)家發(fā)明專利，專利號(hào)：ZL 2008 1 0053855.5，授權(quán)公告號(hào)：CN 101328067 B， 2010年10月27日（申請(qǐng)日：2008年7月16日）(2)徐安平，朱東彬，曲云霞，郭艷華．打印頭與激光頭構(gòu)成的組合頭[P]．國(guó)家實(shí)用新型專利，專利號(hào)：ZL 200820075355.7，授權(quán)公告號(hào)：CN 201211731Y，2009年3月25日（申請(qǐng)日：2008年7月16日）．(3)徐安平，汪建明，朱東彬，曲云霞．一種組織工程用三維多孔支架的制備方法及設(shè)備．國(guó)家發(fā)明專利，申請(qǐng)?zhí)枺?01010210618.2，申請(qǐng)日：2010年6月28日．(4)徐安平，朱東彬，郭彬，曲云霞．一種三維條形碼標(biāo)簽及其制作方法．國(guó)家發(fā)明專利，申請(qǐng)?zhí)枺?01010250088.4，申請(qǐng)日：2010年8月11日．(5)徐安平，蔡曉剛，朱東彬，劉志華．一種非均質(zhì)實(shí)體的制造方法及設(shè)備．國(guó)家發(fā)明專利，申請(qǐng)?zhí)枺?01110269706.4，申請(qǐng)日：2011年9月13日．(6)徐安平，蔡曉剛，朱東彬，劉志華．一種非均質(zhì)實(shí)體的制造設(shè)備．國(guó)家實(shí)用新型專利，申請(qǐng)?zhí)枺?01120341665.0，申請(qǐng)日：2011年9月13日．軟件著作權(quán)：(1)現(xiàn)代集成快速原型系統(tǒng)(CIRPS V1.0)（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2005SR07148）．著作權(quán)人：徐安平、劉玉山、陳青果、侯紅葉、高艷平、曲云霞．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2005年7月。(2)現(xiàn)代集成快速原型系統(tǒng)(CIRPS V2.0)（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2007SR06739）．著作權(quán)人：徐安平、牛亞松、劉玉山、陳青果、侯紅葉、宋麗、曲云霞．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2007年5月。(3)非均質(zhì)實(shí)體造型系統(tǒng)（HO-CAD V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2008SR04932）．著作權(quán)人：徐安平、紀(jì)振鵬、曲云霞、趙競(jìng)雄、劉志華．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2008年3月。(4)銑削過程物理仿真系統(tǒng)（MPSS V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2008SR07563）．著作權(quán)人：徐安平、曲云霞、孫明達(dá)．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2008年4月。(5)STL模型缺陷檢測(cè)與修復(fù)系統(tǒng)（STL Master V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2010SR041794）．著作權(quán)人：徐安平、張蕊、曲云霞、朱東彬．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2010年8月16日。(6)銑削過程物理仿真系統(tǒng)（MPSS V2.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2010SR061831）．著作權(quán)人：徐安平、張大衛(wèi)、張學(xué)中、靳紅偉、韓喜峰、常寧、曲云霞．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2010年11月18日。(7)基于Web的博碩士學(xué)位論文管理系統(tǒng)（DMMIS V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2011SR036294）．著作權(quán)人：張滿囤、徐安平、韓冬冬、張金鐲、王智琦、王麗、邊彬彬．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2011年6月10日。(8)基于Web的圖書館學(xué)科聯(lián)絡(luò)館員信息服務(wù)管理系統(tǒng)（IDISMIS V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2011SR042556）．著作權(quán)人：徐安平、王智琦．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2011年7月2日。可轉(zhuǎn)讓項(xiàng)目(1)一種非均質(zhì)功能構(gòu)件的制造方法與裝置[P]．國(guó)家發(fā)明專利，專利號(hào)：ZL 2008 1 0053855.5，授權(quán)公告號(hào)：CN 101328067 B， 2010年10月27日（申請(qǐng)日：2008年7月16日）(2)打印頭與激光頭構(gòu)成的組合頭[P]．國(guó)家實(shí)用新型專利，專利號(hào)：ZL 200820075355.7，授權(quán)公告號(hào)：CN 201211731Y，2009年3月25日（申請(qǐng)日：2008年7月16日）．(3)一種組織工程用三維多孔支架的制備方法及設(shè)備．國(guó)家發(fā)明專利，申請(qǐng)?zhí)枺?01010210618.2，申請(qǐng)日：2010年6月28日．(4)一種三維條形碼標(biāo)簽及其制作方法．國(guó)家發(fā)明專利，申請(qǐng)?zhí)枺?01010250088.4，申請(qǐng)日：2010年8月11日．(5)一種非均質(zhì)實(shí)體的制造方法及設(shè)備．國(guó)家發(fā)明專利，申請(qǐng)?zhí)枺?01110269706.4，申請(qǐng)日：2011年9月13日．(6)一種非均質(zhì)實(shí)體的制造設(shè)備．國(guó)家實(shí)用新型專利，申請(qǐng)?zhí)枺?01120341665.0，申請(qǐng)日：2011年9月13日．(7)現(xiàn)代集成快速原型系統(tǒng)(CIRPS V1.0)（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2005SR07148）．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2005年7月。(8)現(xiàn)代集成快速原型系統(tǒng)(CIRPS V2.0)（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2007SR06739）．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2007年5月。(9)非均質(zhì)實(shí)體造型系統(tǒng)（HO-CAD V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2008SR04932）．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2008年3月。(10)銑削過程物理仿真系統(tǒng)（MPSS V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2008SR07563）．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2008年4月。(11)STL模型缺陷檢測(cè)與修復(fù)系統(tǒng)（STL Master V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2010SR041794）．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2010年8月16日。(12)銑削過程物理仿真系統(tǒng)（MPSS V2.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2010SR061831）．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2010年11月18日。(13)基于Web的博碩士學(xué)位論文管理系統(tǒng)（DMMIS V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2011SR036294）．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2011年6月10日。(14)基于Web的圖書館學(xué)科聯(lián)絡(luò)館員信息服務(wù)管理系統(tǒng)（IDISMIS V1.0）（軟件著作權(quán)登記，登記號(hào)：2011SR042556）．中華人民共和國(guó)國(guó)家版權(quán)局，2011年7月2日。可承擔(dān)（合作開發(fā)）科研項(xiàng)目與技術(shù)合作(1)CAD/CAM軟件開發(fā)，RPM相關(guān)技術(shù)開發(fā)：包括功能性梯度材料/生物醫(yī)學(xué)材料計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)以及快速原型和制造（RPM）相關(guān)技術(shù)及應(yīng)用；(2)功能材料或構(gòu)件的數(shù)字化設(shè)計(jì)與制造技術(shù)開發(fā)，網(wǎng)絡(luò)制造技術(shù)開發(fā)；(3)功能構(gòu)件的多尺度建模、仿真分析與優(yōu)化技術(shù)；(4)高速精密加工工藝及裝備的動(dòng)態(tài)精度設(shè)計(jì)。

為解決腸易激綜合征治療中存在的副作用大、增加腸道負(fù)擔(dān)的問題，本發(fā)明提供了一種基于中藥的治療脾虛型腸易激綜合征的使用隔藥灸臍療法進(jìn)行治療的中藥組合物。本發(fā)明的有益效果：有效治療腸易激綜合征，且用藥都為中藥，無毒副作用；具有顯效快、療效確切、無痛苦的優(yōu)點(diǎn)。

本發(fā)明公開了一種乳化劑輔助生物酶法制備粒徑可控型淀粉納米顆粒的方法，其特征在于，具體包括如下步驟：(1)配制緩沖溶液；(2)脫支酶活化；(3)淀粉乳的制備；(4)糊化(淀粉鏈伸展)；(5)酶解脫支；(6)短直鏈溶液分離；(7)滅酶；(8)添加乳化劑，控制結(jié)晶過程；(9)重結(jié)晶；(10)干燥。本發(fā)明設(shè)備要求低，工藝簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便，反應(yīng)溫和，反應(yīng)時(shí)間短，效率高，適合大規(guī)模生產(chǎn)；產(chǎn)品性能良好，制備的淀粉納米顆粒，粒徑可控制在9-30nm之間，分散性和熱穩(wěn)定性好，制備成本低，能源消耗少，沒有有害廢棄物產(chǎn)生，符合綠色生產(chǎn)，環(huán)保節(jié)能的現(xiàn)代化生產(chǎn)要求。

一、項(xiàng)目簡(jiǎn)介二次鎳氫電池，需要大量高密度高活性氫氧化鎳作為電池正極材料。本項(xiàng)目提供生產(chǎn)球鎳的技術(shù)，粒度在8μm左右在當(dāng)前的Ni-MH電池的發(fā)展過程中，氫氧化鎳電極限制了電池容量的進(jìn)一步提高，這是因?yàn)閺碾姵胤庋b的安全性考慮，作為負(fù)極的金屬氫化物電極要比氫氧化鎳電極大很多。因此提高Ni(OH)2電極的能量密度，來和高容量?jī)?chǔ)氫合金負(fù)極材料相匹配，對(duì)Ni-MH電池整體性能的改善來說就顯得至關(guān)重要。在高比容量的Ni-MH電池的開發(fā)研究中，球形β-Ni(OH)2具有更高的堆積密度，更小的孔體積，更高的電流密度，以及良好的循環(huán)性能等優(yōu)點(diǎn)，目前已成為廣泛采用的正極活性物質(zhì)。二、規(guī)模與投資效益分析與預(yù)測(cè)：年產(chǎn)300噸球形氫氧化鎳生產(chǎn)線可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值2600萬元，利潤(rùn)300萬元。投入產(chǎn)出比、利潤(rùn)率：投入產(chǎn)出比為30％，投資利潤(rùn)率為60％。三、生產(chǎn)設(shè)備反應(yīng)釜（帶攪拌）1臺(tái)，計(jì)量泵3臺(tái)，離心過濾機(jī)一套，熱水鍋爐等。項(xiàng)目轉(zhuǎn)化所需投資：建立年產(chǎn)300噸球形氫氧化鎳生產(chǎn)線需投資400萬元。四、合作方式面議。

本發(fā)明的硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測(cè)器，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)主要由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、Ｔ型結(jié)和間接加熱式微波功率傳感器和開關(guān)構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)包括兩組懸臂梁，每組懸臂梁由兩個(gè)對(duì)稱的懸臂梁構(gòu)成兩個(gè)懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長(zhǎng)度在所測(cè)信號(hào)頻率范圍內(nèi)的中心頻率３５ＧＨｚ處為λ／４。為實(shí)現(xiàn)未知頻率毫米波相位的檢測(cè)，首先對(duì)待測(cè)信號(hào)的頻率進(jìn)行檢測(cè)。頻率檢測(cè)通過測(cè)量?jī)陕吩谒鶞y(cè)信號(hào)頻率范圍內(nèi)的中心頻率３５ＧＨｚ處相位差為９０度的耦合信號(hào)的合成功率實(shí)現(xiàn)；相位檢測(cè)通過將兩路在中心頻率３５ＧＨｚ處相位差為９０度的耦

本發(fā)明的硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)直接加熱式未知頻率毫米波相位檢測(cè)器，其實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)主要包括懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、Ｔ型結(jié)和直接加熱式微波功率傳感器和開關(guān)。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)包括兩組懸臂梁，每組懸臂梁由兩個(gè)對(duì)稱的懸臂梁構(gòu)成，兩個(gè)懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長(zhǎng)度在所測(cè)信號(hào)頻率范圍內(nèi)的中心頻率３５ＧＨｚ處為λ／４。為實(shí)現(xiàn)未知頻率毫米波相位的檢測(cè)，首先對(duì)待測(cè)信號(hào)的頻率進(jìn)行檢測(cè)。頻率檢測(cè)通過利用直接加熱式微波功率傳感器測(cè)量?jī)陕吩谒鶞y(cè)信號(hào)頻率范圍內(nèi)的中心頻率３５ＧＨｚ處相位差為９０度的耦合信號(hào)的合成功率實(shí)現(xiàn)；相位檢測(cè)通過將兩路相位差為９

本發(fā)明的基于硅基懸臂梁Ｔ型結(jié)直接加熱在線式毫米波相位檢測(cè)器，主要由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、Ｔ型結(jié)和直接加熱式微波功率傳感器構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)中，兩個(gè)懸臂梁在ＣＰＷ中央信號(hào)線上方，結(jié)構(gòu)相同，用于耦合部分待測(cè)信號(hào)，通過錨區(qū)與Ｔ型結(jié)相連，兩個(gè)懸臂梁之間ＣＰＷ傳輸線的電長(zhǎng)度為λ／８。懸臂梁下方的ＣＰＷ中央信號(hào)線上覆蓋了一層Ｓｉ３Ｎ４介電層，用于防止電學(xué)短路。參考信號(hào)通過Ｔ型結(jié)分成兩路信號(hào)，分別與兩路懸臂梁耦合的信號(hào)通過Ｔ型結(jié)合成，Ｔ型結(jié)的輸出端連接到直接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行功率檢測(cè)。最后根據(jù)兩個(gè)直接加熱式微波