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1、主要功能和應用領域： 本設備由多通道圖像采集模塊、復雜光學模塊、復雜照明模塊、精密機械運動模塊、分布式大數據分析處理模塊等多個模塊組成。能夠實現對第4.5代以上的液晶顯示器件ITO、銀漿線路的快速檢測并輸出報表。利用高分辨率線陣相機陣列和光源對PET基材的觸摸屏進行成像，并利用計算機圖像處理、模式識別及人工智能的理論與技術，拍攝到的觸摸屏圖像進行研究，通過對各種線路和特征進行特征匹配與邊緣分析，分別檢測上述線路缺陷并自動報告，從而達到在線自動檢測觸摸屏線路缺陷的目的，作為生產線上品質保證的重要方法。 2、特色及先進性： 1）針對ITO材料的高透光率：采用特殊設計的高功率光源和精密光學成像系統，確保能夠采集到圖像清晰、缺陷顯著、ITO線路對比度高的圖片，為算法處理達到不漏檢和低誤檢打下良好基礎。 2）針對ITO線路不規則：由于ITO線路的形式多樣且比較復雜，需要采用樣品和模板配準、像素值直接對比、線路邊緣對比、周期性判斷及DRC方法等算法方案同時進行處理。 3）針對軟材質基板（PET）：由于基板為軟材質，并且基板為600*600 mm的大規格尺寸，采用高精度的光學平臺和自動快速對焦系統，保證大尺寸范圍內圖像采集的清晰度。 4）針對缺陷類型繁多：采取提取局部特征并結合周期性和對比性完成缺陷檢測，針對不同類型的缺陷進行建標以達到較高的檢測效率，通過框選候選(潛在)缺陷位置，采用神經網絡算法進行自主機器學習，不斷匹配各種可能存在的缺陷類型，并結合不同的算法模塊進行檢測，寬進嚴出保證檢測效果。 3、技術指標： ？ 檢測對象： PET和電子玻璃為基板的ITO。 ？ 檢測項目：線路過寬、過窄、多線、線斷、線裂、連線、毛刺、爆點；膜刮痕、導電薄膜異物、氣泡、針孔、凸出、凹陷。 ？ 臺面要求：臺面能滿足檢測600mm×600mm以下尺寸產品。 ？ 檢測精度：能檢測最小線寬間距為20um。 ？ 最大檢測面積：檢測精度為20um時，最大檢測面積是600mm*600mm。 ？ 檢測效率：單張、單次檢測時間小于等于30秒。 ？ 檢測效果：錯報率控制在1%以下,檢出率99%以上。 ？ 設備穩定性：設備至少可5*24小時連續無故障工作。 4、關鍵問題和實施效果 該設備可廣泛應用于觸摸屏行業、LCD行業、太陽能行業和LED行業等領域，可滿足觸摸屏行業需求。以電子玻璃、PET為基板的ITO線路對于最終產品性能的影響是非常顯著的，如線路發生缺陷，則會直接造成產品功能缺陷，而越靠近出貨端檢出缺陷，對于廠家來說修復的成本越高，同時廢品的損失越高。該設備可以在最早的工藝流程上對線路進行檢測，從而整體提高生產廠家的制程控制能力。 該設備采用復雜高分辨率多通道線陣相機陣列進行光學成像，同時配合精密運動平臺實現2.5微米分辨率的圖像采集，其三維組裝圖如下圖所示。

本設備由多通道圖像采集模塊、復雜光學模塊、復雜照明模塊、精密機械運動模塊、分布式大數據分析處理模塊等多個模塊組成。能夠實現對第4.5代以上的液晶顯示器件ITO、銀漿線路的快速檢測并輸出報表。利用高分辨率線陣相機陣列和光源對PET基材的觸摸屏進行成像，并利用計算機圖像處理、模式識別及人工智能的理論與技術，拍攝到的觸摸屏圖像進行研究，通過對各種線路和特征進行特征匹配與邊緣分析，分別檢測上述線路缺陷并自動報告，從而達到在線自動檢測觸摸屏線路缺陷的目的，作為生產線上品質保證的重要方法。

成果簡介： 1、主要功能和應用領域： 本設備由多通道圖像采集模塊、復雜光學模塊、復雜照明模塊、精密機械運動模塊、分布式大數據分析處理模塊等多個模塊組成。能夠實現對第4.5代以上的液晶顯示器件ITO、銀漿線路的快速檢測并輸出報表。利用高分辨率線陣相機陣列和光源對PET基材的觸摸屏進行成像，并利用計算機圖像處理、模式識別及人工智能的理論與技術，拍攝到的觸摸屏圖像進行研究，通過對各種線路和特征進行特征匹配與邊緣分析，分別檢測上述線路缺陷并自動報告，從而達到在線自動檢測觸摸屏線路缺陷的目的，作為生產線上品質保證的重要方法。 2、特色及先進性： ● 針對ITO材料的高透光率：采用特殊設計的高功率光源和精密光學成像系統，確保能夠采集到圖像清晰、缺陷顯著、ITO線路對比度高的圖片，為算法處理達到不漏檢和低誤檢打下良好基礎。 ● 針對ITO線路不規則：由于ITO線路的形式多樣且比較復雜，需要采用樣品和模板配準、像素值直接對比、線路邊緣對比、周期性判斷及DRC方法等算法方案同時進行處理。 ● 針對軟材質基板（PET）：由于基板為軟材質，并且基板為600*600 mm的大規格尺寸，采用高精度的光學平臺和自動快速對焦系統，保證大尺寸范圍內圖像采集的清晰度。 ● 針對缺陷類型繁多：采取提取局部特征并結合周期性和對比性完成缺陷檢測，針對不同類型的缺陷進行建標以達到較高的檢測效率，通過框選候選(潛在)缺陷位置，采用神經網絡算法進行自主機器學習，不斷匹配各種可能存在的缺陷類型，并結合不同的算法模塊進行檢測，寬進嚴出保證檢測效果。 3、技術指標： ● 檢測對象： PET和電子玻璃為基板的ITO。 ● 檢測項目：線路過寬、過窄、多線、線斷、線裂、連線、毛刺、爆點；膜刮痕、導電薄膜異物、氣泡、針孔、凸出、凹陷。 ● 臺面要求：臺面能滿足檢測600mm×600mm以下尺寸產品。 ● 檢測精度：能檢測最小線寬間距為20um。 ● 最大檢測面積：檢測精度為20um時，最大檢測面積是600mm*600mm。 ● 檢測效率：單張、單次檢測時間小于等于30秒。 ● 檢測效果：錯報率控制在1%以下,檢出率99%以上。 ● 設備穩定性：設備至少可5*24小時連續無故障工作。 4、關鍵問題和實施效果 該設備可廣泛應用于觸摸屏行業、LCD行業、太陽能行業和LED行業等領域，可滿足觸摸屏行業需求。以電子玻璃、PET為基板的ITO線路對于最終產品性能的影響是非常顯著的，如線路發生缺陷，則會直接造成產品功能缺陷，而越靠近出貨端檢出缺陷，對于廠家來說修復的成本越高，同時廢品的損失越高。該設備可以在最早的工藝流程上對線路進行檢測，從而整體提高生產廠家的制程控制能力。 該設備采用復雜高分辨率多通道線陣相機陣列進行光學成像，同時配合精密運動平臺實現2.5微米分辨率的圖像采集，其三維組裝圖如下圖所示。

氧化銦錫（indium-tin-oxide）簡稱ITO，ITO靶材是一種功能陶瓷材料，主要用于制造ITO透明導電膜玻璃。以金屬銦、錫為原料采用共沉淀法制備出納米級ITO復合粉體。粉體造粒成型后分別采用加壓和常壓燒結法制備出相對理論密度大于99.5%、氧化銦單一相的ITO靶材。 粉體純度大于99.99%、顆粒分散性好，粒徑10nm—80nm之間可控，BET比表面積30~60m2/g ，In2O3:90.0±0.5%，SnO2: 10.0±0.5%；ITO靶材相對理論密度99.5%。 威海市藍狐特種材料有限公司已采用該技術建設年產20噸納米級氧化銦錫復合粉體生產線，采用該粉體燒制的ITO靶材相對理論密度達到99%以上。國內相對理論密度大于99%的ITO靶材主采用進口產品。 金屬銦、錫是我國的優勢資源，生產設備都是定型通用設備，年產20噸納米級氧化銦錫粉體和高密度ITO靶材的生產廠需要人員50名。納米級氧化銦錫粉體制備已建設年產20噸生產線。高密度ITO靶材的制備已完成實驗室小試。