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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
適用于具有功能梯度及拉脹屬性的超材料的拓撲優化方法
本發明屬于超材料設計相關技術領域，其公開了一種適用于具 有功能梯度及拉脹屬性的超材料的拓撲優化方法，其包括以下步驟: (1)采用加權法建立每層的、同時考慮微觀結構拉脹屬性及宏觀結構剛 度屬性的多目標優化模型;(2)控制所述超材料結構整體在一個方向上 的拉脹屬性及剛度屬性呈梯度形式分布;(3)計算每層設計域上的微觀 位移、宏觀位移、以及每層微結構的等效彈性屬性;(4)基于計算獲得 的敏度，采用優化準則法更新設計變量，進而判斷所述目標函數是否 收斂。上述拓撲優化方法采用加權法建立同時考慮微觀結
華中科技大學
2021-04-14
一種超長金屬工件的3D打印設備及打印方法
本發明涉及一種超長金屬工件的3D打印設備及打印方法，屬于3D打印技術領域。超長金屬工件的3D打印設備的保護系統、冷卻系統分別與真空裝置相連；真空裝置內設置機器人系統；送絲系統將打印金屬絲料送至真空裝置內并供應至機器人系統處；機器人系統與熱源系統配合將印金屬絲料進行熱熔成型；牽引系統將真空裝置內打印完成的超長金屬工件牽引至真空裝置外側。本發明提供的超長金屬工件的3D打印設備及打印方實現傾斜角度的切片和3D打印，通過對已成形工件的水平步進牽引，進行連續3D打印；解決傳統金屬材料增材制造方法無法打印超長工件的問題。
東南大學
2021-04-11
基于3D打印的復雜結構模具制作方法及成型方法
本發明公開了一種基于3D打印的復雜結構模具制作方法和成型方法，包括：構建目標模型和模具制作裝置，得到目標模型文件和模具制作裝置文件；將三維模型文件和模具制作裝置文件導入3D打印機，制作目標模型和模具制作裝置；在目標模型表面鋪設硅膠膜或明膠膜固化；在模具制作裝置內表面和目標模型的薄膜表面涂覆隔斷材料層，在模具制作裝置中定位模型；澆注下模液，固化，得到下模；在下模上的分型面上涂覆隔斷材料層，澆鑄上模液，固化，去除目標模型得到復雜結構型面特征的上下模模具。本發明基于成熟的三維打印技術，穩定性、可控性好，結構簡單、價格經濟，加之可以脫機打印，使得生產更易于配置和優化。
浙江大學
2021-04-11
一種氧化石墨烯3D打印墨水及其制備方法
本發明公開一種氧化石墨烯3D打印墨水及制備方法，其制備所用的原料由氧化石墨烯、交聯劑和溶劑組成，各原料用量，按氧化石墨烯：交聯劑中的金屬陽離子：溶劑為60mg：0.03?1mmol：40ml的比例計算。制備方法即首先用溶劑分別將氧化石墨烯、交聯劑超聲分散配制成溶液，然后將所得的氧化石墨烯溶液和交聯劑溶液混合進行化學交聯反應，所得反應液離心、去除上清液，即得氧化石墨烯3D打印墨水，當圓頻率為0.9rad/s時，測得其運動粘度可達2800?20800Pa*s。使用后所得的氧化石墨烯三維氣凝膠支架，在形變量為60%時，抗壓模量為0.42MPa?0.98MPa。
上海理工大學
2021-04-10
基于電子束的3D打印飛機發動機陶瓷葉片技術
1、成果簡介 用于以3D打印方式實現對高溫合金、高強合金、高強材料、陶瓷材料等的成型。 技術指標：1、零件尺寸：400mm2、應用說明 主要應用對象：飛機發動機陶瓷葉片、高溫合金、高強合金等領域。3、效益分析 高技術產品
北京航空航天大學
2021-04-13
一種模塊化便攜式生物3D打印機
本實用新型公開了一種模塊化便攜式生物3D打印機。包括基座、支撐結構、用于掃描識別的掃描模塊、用于3D打印的打印模塊，基礎運動模塊以及基站模塊；所述的基座上設置有方孔；所述方孔用于安裝支撐結構的支撐腳；所述的支撐結構上設置有基礎運動模塊，所述的基礎運動模塊設有插槽，所述的掃描模塊和打印模塊上設有與所述插槽配合的統一插頭；基站模塊控制掃描模塊、打印模塊和基礎運動模塊的工作。通過將生物3D打印機打印過程的高度抽象與功能抽離，將不同的功能設計成不同的模塊，每個模塊只負責一項工作，大大提高了打印機的空間利用率，縮小了打印機的體積，為便攜式生物3D打印機設計提供了一種思路。
浙江大學
2021-04-13
基于多尺度可變形分層圖模型的復雜環境3D感知研究
此成果對復雜環境3D感知問題進行基礎性的研究探討，該領域一 直是面向智能車輛導航的一個重要研究課題，特別有利于航空、遙感 測繪等領域的發展，對推動學科交叉，激勵原始創新具有重要的現實 意義。由于曷能車輛視覺導航受光照、天氣、場景變化、幾何形變等因素的 影響，限制了動態復雜環境下智能車輛實時獲取準確3D數據的能力。 本成果重要的創新技術是提出基于可形變的分層圖模型來解決動態復 雜環境下的
南京工程學院
2021-01-12
一種便攜式可伸縮型3D打印機裝置
本發明公開了一種便攜式可伸縮型3D打印機裝置，包括便攜式水 平伸縮組件、垂直伸縮組件、打印機噴頭運動機構組件、打印平臺調 平組件，本裝置整體是由垂直方向上的三根垂直支撐桿分別與三個上 支撐角件相連，并通過垂直直線軸承伸入到各自的垂直支撐桿套中去, 垂直直線軸承是經過垂直直線軸承座固定在垂直支撐桿套的上端的， 而垂直支撐桿套的下端是與下支撐角件相連的，當在垂直方向上伸長 或縮短時，就可通過設置在垂直直線軸承座上的垂直鎖緊螺釘座與垂 直支撐桿鎖緊螺釘相
南京工程學院
2021-01-12
一種單噴頭多料源生物3D打印裝置及其方法
本發明公開了一種單噴頭多料源生物3D打印裝置及其方法，屬于組織工程和生物3D打印領域。包括電機固定座，電機，主動齒輪，固定轉軸，轉盤合件、噴頭體、單向連接閥，彈簧片和進料管連接頭等結構，固定轉軸安裝固定，電機通過齒輪傳動帶動轉盤旋轉，轉盤上單向連接閥通過2個彈簧片夾持壓住，且單向連接閥與噴頭體有一高度差△h，當單向連接閥轉到噴頭體處時，噴頭體將單向連接閥頂起，并頂起鋼球將噴頭體與單向連接閥連通，彈簧片彈起將單向連接閥壓住，同時生物材料通過進料管連接頭進入，實現打印過程。通過轉盤旋轉可切換打印材料，實現單噴頭多種生物材料的打印。其優點是：結構簡單巧妙，降低成本，易于實現靈活控制，大大提高打印效率。
浙江大學
2021-04-13