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本發(fā)明提出這樣一種陽(yáng)極鍵合工藝方法：將 MEMS 陀螺儀器件層沉積到臨時(shí)高分子襯底上，完成金屬電極沉積和 MEMS 結(jié)構(gòu)刻蝕之后，將臨時(shí)高分子襯底用化學(xué)機(jī)械拋光的方法去除。去除之后，將玻璃基體和玻璃蓋帽分別緊貼 MEMS 結(jié)構(gòu)的兩側(cè)，加電加熱后一次完成雙面陽(yáng)極鍵合。這種工藝方法與傳統(tǒng)的兩次陽(yáng)極鍵合分兩步進(jìn)行相比，更加節(jié)省成本，而且避免了第二次陽(yáng)極鍵合對(duì)第一次陽(yáng)極鍵合強(qiáng)度削弱這個(gè)固有缺點(diǎn)，使得產(chǎn)品可靠性提高。

本發(fā)明公開了一種用于高密度芯片的倒裝鍵合平臺(tái)，包括基座、芯片剝離和翻轉(zhuǎn)單元、XY 向運(yùn)動(dòng)單元、多自由度鍵合頭和貼裝臺(tái)單元，其中芯片剝離和翻轉(zhuǎn)單元用于將晶圓盤上的芯片分別執(zhí)行剝離和翻轉(zhuǎn)，并將其送至待拾取位置；多自由度鍵合頭以懸臂形式安裝在 XY 向運(yùn)動(dòng)單元的支撐導(dǎo)軌上，并具有主動(dòng)調(diào)平和對(duì)準(zhǔn)功能；貼裝臺(tái)單元用于吸附基板并與鍵合頭相配合，由此實(shí)現(xiàn)芯片與基板之間的相互定位。此外，為了保證各單元高精度的運(yùn)動(dòng)或配合，該倒裝鍵合平臺(tái)中還配置有多套視覺定位系統(tǒng)。通過本發(fā)明，能夠達(dá)到微米級(jí)的對(duì)準(zhǔn)精度，平行調(diào)整精度優(yōu)于

產(chǎn)品詳細(xì)介紹型號(hào)：HD-I7035E背光類型：LED    顯示比例：16:9    物理解析度：1920*1080    圖像制式/聲音制式：PAL/DK，I    一體化電腦結(jié)構(gòu)：插拔式電腦結(jié)構(gòu)（英特爾協(xié)議標(biāo)準(zhǔn)）    一體化電腦結(jié)構(gòu)輸入接口占用：觸控USB*1，HDMI*1    工作電壓：AC 100-240V，50/60Hz    觸摸：  觸摸面材質(zhì)：普通鋼化玻璃/防眩鋼化玻璃            感應(yīng)方式：紅外觸摸感應(yīng)            技術(shù)特性：HID免驅(qū)            觸摸點(diǎn)數(shù)：六點(diǎn)觸控        書寫方式：手指或書寫筆            通訊接口：USB    安裝方式：壁掛/支架    凈重：75KG產(chǎn)品特點(diǎn)：教學(xué)應(yīng)用● 插拔式電腦模塊----謹(jǐn)遵國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，計(jì)算機(jī)采用Intel 標(biāo)準(zhǔn)架構(gòu)的插拔式電腦模塊，支持快捷維護(hù)及系統(tǒng)升級(jí)● 前置接口和按鍵----保證教師快速、方便接入教學(xué)電腦以及外部U盤，大幅壓縮電子教學(xué)的前期準(zhǔn)備時(shí)間，并以最簡(jiǎn)潔高效的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)大屏產(chǎn)品的操作、控制● 全新雙系統(tǒng)應(yīng)用----全新系統(tǒng)體驗(yàn)~Windows操作系統(tǒng)和安卓系統(tǒng)一主一備的雙系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)，使得教師在不開啟教學(xué)專用計(jì)算機(jī)，或者此計(jì)算機(jī)突發(fā)故障時(shí)，仍舊保證不中斷教學(xué)過程，實(shí)現(xiàn)對(duì)教學(xué)課件的圈點(diǎn)、批注；同時(shí)，支持海量開源教育應(yīng)用● 雙側(cè)快捷鍵----緊密結(jié)合鴻合教學(xué)應(yīng)用軟件，交互大屏產(chǎn)品雙側(cè)各15個(gè)快捷按鍵，實(shí)現(xiàn)“軟件硬件化”功能；幫助教師在最短時(shí)間內(nèi)掌握產(chǎn)品系統(tǒng)功能的基本應(yīng)用● 前置大功率揚(yáng)聲器● 強(qiáng)大的鴻合教育云平臺(tái)和鴻合備授課系統(tǒng)安全可靠● 智能溫控散熱系統(tǒng)----企業(yè)責(zé)任心的直觀體現(xiàn)！提供實(shí)用、有效的功能設(shè)計(jì)，長(zhǎng)效、實(shí)時(shí)地監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行溫度，在臨界點(diǎn)進(jìn)行預(yù)判斷后，智能選擇開啟告警、斷電等程序，此實(shí)用功能的設(shè)計(jì)，大幅提升產(chǎn)品使用安全，保障教師及學(xué)生們的生命安全節(jié)能環(huán)保● 智能光感控制----自動(dòng)感應(yīng)環(huán)境照度及亮度，智能調(diào)節(jié)屏體亮度至教師、學(xué)生最適宜觀看的亮度※一體化電腦為選配件。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹型號(hào)：HD-I8035E背光類型：LED    顯示比例：16:9    物理解析度：1920*1080    圖像制式/聲音制式：PAL/DK，I    一體化電腦結(jié)構(gòu)：插拔式電腦結(jié)構(gòu)（英特爾協(xié)議標(biāo)準(zhǔn)）    一體化電腦結(jié)構(gòu)輸入接口占用：觸控USB*1，HDMI*1    工作電壓：AC 100-240V，50/60Hz    觸摸：  觸摸面材質(zhì)：普通鋼化玻璃/防眩鋼化玻璃            感應(yīng)方式：紅外觸摸感應(yīng)            技術(shù)特性：HID免驅(qū)            觸摸點(diǎn)數(shù)：十點(diǎn)觸控        書寫方式：手指或書寫筆            通訊接口：USB    安裝方式：壁掛/支架    凈重：95KG產(chǎn)品特點(diǎn)：教學(xué)應(yīng)用● 插拔式電腦模塊----謹(jǐn)遵國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，計(jì)算機(jī)采用Intel 標(biāo)準(zhǔn)架構(gòu)的插拔式電腦模塊，支持快捷維護(hù)及系統(tǒng)升級(jí)● 前置接口和按鍵----保證教師快速、方便接入教學(xué)電腦以及外部U盤，大幅壓縮電子教學(xué)的前期準(zhǔn)備時(shí)間，并以最簡(jiǎn)潔高效的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)大屏產(chǎn)品的操作、控制● 全新雙系統(tǒng)應(yīng)用----全新系統(tǒng)體驗(yàn)~Windows操作系統(tǒng)和安卓系統(tǒng)一主一備的雙系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)，使得教師在不開啟教學(xué)專用計(jì)算機(jī)，或者此計(jì)算機(jī)突發(fā)故障時(shí)，仍舊保證不中斷教學(xué)過程，實(shí)現(xiàn)對(duì)教學(xué)課件的圈點(diǎn)、批注；同時(shí)，支持海量開源教育應(yīng)用● 雙側(cè)快捷鍵----緊密結(jié)合鴻合教學(xué)應(yīng)用軟件，交互大屏產(chǎn)品雙側(cè)各15個(gè)快捷按鍵，實(shí)現(xiàn)“軟件硬件化”功能；幫助教師在最短時(shí)間內(nèi)掌握產(chǎn)品系統(tǒng)功能的基本應(yīng)用● 前置大功率揚(yáng)聲器● 強(qiáng)大的鴻合教育云平臺(tái)和鴻合備授課系統(tǒng)安全可靠● 智能溫控散熱系統(tǒng)----企業(yè)責(zé)任心的直觀體現(xiàn)！提供實(shí)用、有效的功能設(shè)計(jì)，長(zhǎng)效、實(shí)時(shí)地監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行溫度，在臨界點(diǎn)進(jìn)行預(yù)判斷后，智能選擇開啟告警、斷電等程序，此實(shí)用功能的設(shè)計(jì)，大幅提升產(chǎn)品使用安全，保障教師及學(xué)生們的生命安全節(jié)能環(huán)保● 智能光感控制----自動(dòng)感應(yīng)環(huán)境照度及亮度，智能調(diào)節(jié)屏體亮度至教師、學(xué)生最適宜觀看的亮度※一體化電腦為選配件。

該項(xiàng)目基于活性亞結(jié)構(gòu)拼接思想，將具有殺螨活性的天然化合物香豆素與 高級(jí)脂肪酸對(duì)接，合成篩選出了具有良好殺螨、殺蚜活性的化合物“N-硬脂酰 基-6-氨基香豆素”。該化合物室內(nèi)及田間殺螨活性由甘肅省農(nóng)業(yè)科學(xué)院植物保 護(hù)研究所余海濤測(cè)定，后經(jīng)西南大學(xué)植物保護(hù)學(xué)院申光茂等再次測(cè)定（測(cè)定報(bào) 告見附件 1）。該研究成果已申請(qǐng)并獲得國(guó)家發(fā)明專利（一種 N-酰基取代的氨 基香豆素及其殺蟲活性.專利號(hào): ZL201310524321.7。目前已研發(fā)出該化合物的 水乳劑。 

番茄紅素具有強(qiáng)抗氧化作用，有卓越的防癌、抗癌、預(yù)防心血管疾病等功效，在食品、保健品、化妝品以及醫(yī)藥領(lǐng)域具有重要用途。目前，國(guó)外已將這一產(chǎn)品廣泛用于食品添加劑、功能性食品、醫(yī)藥原料等方面。2003 年，美國(guó)《時(shí)代》雜志把番茄紅素列在“對(duì)人類健康貢獻(xiàn)最大的食品”之首，番茄紅素由于其優(yōu)越的功能和防癌、抗癌作用，被譽(yù)為“植物黃金”，成為“二十一世紀(jì)醫(yī)藥保健制品 新寵”。 本項(xiàng)目采用生物發(fā)酵法生產(chǎn)番茄紅素，具備了工業(yè)化開發(fā)的條件，生產(chǎn)工藝成熟，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，番茄紅素產(chǎn)量可達(dá) 1.5-2.5g/L，處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。 創(chuàng)新要點(diǎn) 采用三孢布拉酶菌發(fā)酵生產(chǎn)番茄紅素，其合成水平高于多種生物體，而且具有生產(chǎn)原料易獲得，不受自然條件限制，周期短和適用工業(yè)生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。 

流程模擬技術(shù)已經(jīng)成為過程開發(fā)、設(shè)計(jì)、控制和優(yōu)化等過程工業(yè)的常規(guī)工具。木質(zhì)纖維素 生物煉制過程的流程模擬技術(shù)也已成為熱點(diǎn)的研究方向。目前，美國(guó)可再生能源實(shí)驗(yàn)室建立的 基于Aspen plus平臺(tái)的生物轉(zhuǎn)化玉米秸稈生產(chǎn)纖維素乙醇的過程模擬模型是較為完善的設(shè)計(jì)型 過程經(jīng)濟(jì)技術(shù)評(píng)價(jià)模型。但是，該模型屬于美國(guó)能源部的內(nèi)部資源，模型所有重要細(xì)節(jié)并未對(duì) 外公開。本項(xiàng)目則針對(duì)我國(guó)自主研發(fā)的纖維素生物能源產(chǎn)品和化學(xué)品的工藝過程，開發(fā)了完善 的基于Aspen plus平臺(tái)的過程流程模擬系統(tǒng)，為生物能源或生物煉制領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化提供重要的 技術(shù)支撐。 本項(xiàng)目的木質(zhì)纖維素生物煉制流程模擬技術(shù)包括完整的生物質(zhì)組分物性數(shù)據(jù)庫(kù)，完整的 纖維素乙醇、纖維素乳酸、纖維素檸檬酸、纖維素葡萄糖酸和纖維素微生物油脂的Aspen plus 經(jīng)濟(jì)技術(shù)評(píng)價(jià)模型。其中，生物質(zhì)組分物性數(shù)據(jù)庫(kù)包括34個(gè)單元操作設(shè)備，75股物流，46種組 分，涵蓋了所有主要的生物質(zhì)組分以及生物加工過程設(shè)計(jì)的組分；完善的纖維素乙醇、纖維素 乳酸、纖維素檸檬酸、纖維素葡萄糖酸和纖維素微生物油脂的Aspen plus模型則能對(duì)各生物煉 制過程中的水耗、能耗、廢水排放等重要指標(biāo)進(jìn)行嚴(yán)格的衡算和單元操作優(yōu)化，并能分析相關(guān) 生物煉制過程產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。同時(shí)，該模型也可拓展到對(duì)其他纖維素基產(chǎn)品生物煉制過程的 模擬。本項(xiàng)目的實(shí)施將為木質(zhì)纖維素生物煉制的產(chǎn)業(yè)化提供重要的技術(shù)和經(jīng)濟(jì)參考指標(biāo)。 

改性纖維素基吸油劑是以廢紙、廢木材等廢棄纖維素原料，經(jīng)過疏水改性工藝得到的吸附材料，具有效率高、成本低、可再生等優(yōu)勢(shì)。

小試階段/n纖維素來(lái)自于甘蔗渣、棉短絨、秸稈、竹子等，是地球上最豐富的可再生植物資源。該項(xiàng)目突破傳統(tǒng)環(huán)境污染等的粘膠溶解方法，提出用廉價(jià)的NaOH/尿素水溶液低溫溶解纖維素的嶄新技術(shù)，并且用這種纖維素溶液通過中試設(shè)備成功紡出新型再生纖維素絲，以及制備出再生纖維素透明膜、凝膠、色譜柱填料、生物醫(yī)用材料以及纖維素衍生物。在該項(xiàng)目實(shí)施過程中，武漢大學(xué)與湖北金環(huán)新材料科技有限公司共同申請(qǐng)了3項(xiàng)國(guó)內(nèi)和國(guó)際發(fā)明專利，公司新申請(qǐng)專

已有樣品/n該研究得到科技部“863計(jì)劃”資助（編號(hào)：2005AA404220），旨在研制與無(wú)損血糖監(jiān)測(cè)耦聯(lián)的閉環(huán)式人工胰島微系統(tǒng)，將檢測(cè)和治療系統(tǒng)集成。減小系統(tǒng)體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統(tǒng)于一體，實(shí)現(xiàn)無(wú)痛化注射。成果的先進(jìn)性或獨(dú)特性：該研究研制與無(wú)損血糖監(jiān)測(cè)耦聯(lián)的閉環(huán)式人工胰島微系統(tǒng)，將檢測(cè)和治療系統(tǒng)集成。減小系統(tǒng)體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統(tǒng)于一體，實(shí)現(xiàn)無(wú)痛化注射。目