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高穩定金屬膜電阻器用磁控濺射中高阻靶材及制備技術
成果與項目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜電阻器具有精度高、噪聲低、溫度系數小、耐熱性和穩定性好等優點，在精密電子設備和混合集成電路中大量采用。對于濺射制備電阻膜來說，靶材是至關重要的，它制約著金屬膜電阻器的電阻率、精度、可靠性、電阻溫度系數（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。電阻溫度系數(TCR)是金屬膜電阻器的一個重要性能技術指標之一，較大的 TCR 在溫度變化時會造成電阻值漂移，從而影響電阻器的精度和穩定性。目前國內外生產的金屬膜電阻器用高阻靶材，其性能不能滿足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技術原理與工藝流程簡介： 靶材煉制工藝如下圖所示所制備的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在濺射成電阻器薄膜后, 電阻溫度系數小(≤25 ×10-6 / ℃), 電阻值高(要求不刻槽數量級為千歐, 刻槽后數量級為兆歐)且穩定(隨時間變化小), 因此, 在本靶材研究中, 將選擇 Cr 、Si 作為高阻靶材的主體材料。由于 C r 、Si 熔點高, 原子移動性低, 因此由其所組成的薄膜穩定性高。通過在金屬 C r 中引入半導體材料 Si 來提高電阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收氣體的金屬元素, 在電阻器薄膜濺射過程中, 可通過通入微量的氧來提高薄膜的電阻率, 同時調節電阻溫度系數。技術指標如下：溫度沖擊實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 過載實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 壽命實驗后ΔR/R ≤±1 .0 %,電阻溫度系數 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
應用領域：
集成電路、電子元器件
合作方式及條件：具體面議
天津大學
2021-04-11
一種基于 CO2 激光器的自校準測量 SF6 濃度的裝置及方法
本發明公開了一種基于 CO2 激光器的自校準測量 SF6 濃度的裝置及方法，運用波長可調諧 CO2 激光器，在傳統光聲光譜技術的基礎上，檢測兩個不同波長的光聲信號，并通過數據處理計算出 SF6 濃度。該裝置成功實現了自校準的 SF6 濃度測量，避免了傳統光聲光譜技術中運用標準氣標定檢測系統的過程，從而排除了標定過程中氣壓、溫度、緩沖氣等因素對檢測結果準確性的影響，從而提高了光聲光譜技術的測量精度和實用性。此外該自校準
華中科技大學
2021-04-14
一種適用于多視角自動化配準多站地面激光點云數據的方法
本發明涉及一種多視角地面激光點云數據自動化全局配準方法。該方法分為兩個關鍵的模塊:語義 特征點的提取與特征匹配。第一步，進行語義特征點的提取，通過數據切片、距離聚類、幾何基元擬合 等一系列方式，獲得語義特征點;第二步，進行語義特征點的匹配，通過構建三角幾何約束條件與語義 約束條件來匹配語義特征點;并采用幾何一致性的聚類方式剔除其中錯誤的匹配;最后，以匹配的特征 點個數的倒數作為權值，構建一個加權無向圖，以加權無向圖的最小生成樹作為配準的路徑，最終得到 各個站的全局配準參數，實現全局最優配準。本發明構筑了一種適用于多視角的自動化地面站激光點云 配準方法，該方法能夠有效抵抗噪聲、點密度與遮擋的影響，提高了激光掃描作業效率，具有很好的實 用價值。
武漢大學
2021-04-13
一種用于激光解吸離子化質譜的螺旋二十四面體結構基底
本發明公開了一種用于激光解吸離子化質譜的螺旋二十四面體結構基底，該基底為三維網絡狀結構，表面覆蓋一層貴金屬，能與激光發生耦合，吸收并轉移激光能量到待測分析物分子，使之脫附并裂解成帶電荷的分子碎片。所述的螺旋二十四面體結構(Gyroid結構)服從以下關系：其中L為螺旋二十四面體結構的周期，t調節螺旋二十四面體結構的形貌。
東南大學
2021-04-14
深部高瓦斯未采動煤層井下水力壓裂高效增透成套技術 與工程應用
項目成果/簡介:如何快速、有效的提高煤層透氣性，并長時間的保持增透技術產生的大量裂隙，進而有效的、長時間的提高和保持煤層的高透氣性，是目前煤層氣開采領域的主要研究方向之一。實踐已經證明，兩淮礦區利用地面鉆井的方法預抽未采動煤層瓦斯的嘗試均未達到預期效果。因此，在現有技術條件下，在兩淮礦區直接從地面開采未采動煤層瓦斯難以實施。
安徽理工大學
2021-04-11
深部高瓦斯未采動煤層井下水力壓裂高效增透成套技術 與工程應用
如何快速、有效的提高煤層透氣性，并長時間的保持增透技術產
生的大量裂隙，進而有效的、長時間的提高和保持煤層的高透氣性，
是目前煤層氣開采領域的主要研究方向之一。實踐已經證明，兩淮礦區利用地面鉆井的方法預抽未采動煤層瓦斯的嘗試均未達到預期效
果。因此，在現有技術條件下，在兩淮礦區直接從地面開采未采動煤
層瓦斯難以實施。
安徽理工大學
2021-04-30
一種能產生高振強的多波變正弦曲線變頻控制振動磨
本實用新型涉及一種變頻控制的振動磨，特別是一種能產生高振強的多波變正弦曲線變頻控制振動磨， 屬于振動利用工程技術領域。由電源、變頻器、振動磨、傳感器、記錄分析儀組成，變頻器接線一端與電 源相連接，變頻器接線另一端與振動磨的驅動電機相連接；變頻器上可以進行多點頻率的變化輸入，以使 電機的輸入頻率按照設定的規律變化，從而驅動振動磨系統工作；傳感器依靠磁力置于振動磨磨筒上，傳 感器搭配積分電荷放大器使用，可將檢測的加速度信號及二次積分即振幅信號，傳輸給記錄分析儀，進而可以確定振動磨的振強、振幅變化曲線，便于調整變頻器的變化規律，進行控制程序編制，對振動磨機實 施變頻控制。
南京工程學院
2021-04-11
具高d33無鉛壓電陶瓷-聚合物壓電復合材料的制備方法
本發明涉及一種具有高d33的無鉛壓電陶瓷-聚合物壓電復合材料的制備方法。該方法按式(1-x)(LiaNabK1-a-b)(Nb1-cSbc)O3-xABO3-yM組分配料，采用傳統陶瓷制備方法制備鈮酸鈉鉀基無鉛壓電陶瓷粉料；再將陶瓷粉料與聚合物聚偏氟乙烯按比例混合球磨；烘干后超聲震蕩，將混合粉料經冷壓成型后加溫處理，再在其表面濺射金電極，硅油浴中極化后測試其壓電復合材料樣品的壓電性能d33；最后將樣品置入去離子水或鹽溶液中浸泡，再測試其樣品的壓電性能d33。結果表明，經浸泡處理的鈮酸鈉鉀基無鉛壓電陶瓷-聚合物壓電復合材料的d33比未經浸泡過的有大幅度提高，提高比例甚至可達300％。
四川大學
2021-04-11
電池用高密度高活性球型氫氧化鎳[Ni(OH)2]的生產技術
一、項目簡介二次鎳氫電池，需要大量高密度高活性氫氧化鎳作為電池正極材料。本項目提供生產球鎳的技術，粒度在8μm左右在當前的Ni-MH電池的發展過程中，氫氧化鎳電極限制了電池容量的進一步提高，這是因為從電池封裝的安全性考慮，作為負極的金屬氫化物電極要比氫氧化鎳電極大很多。因此提高Ni(OH)2電極的能量密度，來和高容量儲氫合金負極材料相匹配，對Ni-MH電池整體性能的改善來說就顯得至關重要。在高比容量的Ni-MH電池的開發研究中，球形β-Ni(OH)2具有更高的堆積密度，更小的孔體積，更高的電流密度，以及良好的循環性能等優點，目前已成為廣泛采用的正極活性物質。二、規模與投資效益分析與預測：年產300噸球形氫氧化鎳生產線可實現年產值2600萬元，利潤300萬元。投入產出比、利潤率：投入產出比為30％，投資利潤率為60％。三、生產設備反應釜（帶攪拌）1臺，計量泵3臺，離心過濾機一套，熱水鍋爐等。項目轉化所需投資：建立年產300噸球形氫氧化鎳生產線需投資400萬元。四、合作方式面議。
河北工業大學
2021-04-13
一種高穩定性蛋白質-殼聚糖復凝聚交聯微膠囊及其制備方法
本發明提供了一種高穩定性蛋白質?殼聚糖復凝聚交聯微膠囊及其制備方法，首先將芯材與不含還原糖的或含有還原糖的蛋白質溶液混合，高速分散形成O/W型乳狀液，再加入殼聚糖溶液，調節pH，讓蛋白質與殼聚糖通過靜電相互作用發生復凝聚反應，形成復凝聚相沉降在芯材乳滴周圍而得到微膠囊，離心收集微膠囊，加熱，使蛋白質?殼聚糖、蛋白質?殼聚糖?還原糖兩兩之間發生美拉德反應引發交聯而提高微膠囊的穩定性。本發明簡單易行、安全、高效，適于大規模生產；本發明可廣泛用于具有良好熱穩定性芯材的包埋，對于開發高穩定性的蛋白質?殼聚糖復凝聚微膠囊體系和推進復凝聚微囊化技術在食品工業中的實際應用具有重要意義。
青島農業大學
2021-04-13