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本發(fā)明公開了一種多路高精度溫度控制器，由接口板和溫度控制板組成，用于倒裝鍵合熱壓固化。溫度控制板包括采集模塊、驅(qū)動模塊、存儲器模塊、控制模塊、通訊模塊和電源模塊。工控機設(shè)定熱壓頭工作溫度，通過接口板和通訊模塊將設(shè)定值輸出到控制模塊。采集模塊將鉑熱電阻采集的熱壓頭溫度值輸出到控制模塊，同時對傳感器的溫度特性進行線性化處理?？刂颇K將溫度設(shè)定信號與采集的溫度信號相比較，其差分信號經(jīng)過 PID 運算產(chǎn)生控制信號輸出到驅(qū)動模塊。驅(qū)動模塊采用 PWM 方式控制場效應(yīng)管驅(qū)動熱壓頭的發(fā)熱元件。本發(fā)明可在 0～30

紅外吸收光譜技術(shù)基于捕獲物質(zhì)的紅外“指紋”來獲得物質(zhì)成分和含量信息，其核心是紅外光譜器件和高效緊湊紅外光學(xué)系統(tǒng),主要的應(yīng)用之一是針對氣體的傳感檢測,如有毒有害氣體、溫室效應(yīng)氣體以及呼吸氣體成分和濃度的檢測等。相比傳統(tǒng)的單氣體成分的檢測,同時檢測多種氣體是降低檢測成本的有效途徑;相比針對未知氣體采用實驗室傅里葉紅外光譜儀的檢測，可以現(xiàn)場檢測的微小型化紅外光譜儀具有更實用且成本更低的優(yōu)勢。另外, 越來越多的場景需要探測精度達到ppb 或亞ppm 精度的高精度氣體檢測,如有毒有害痕量氣體、呼吸氣體肺癌早期診斷、果蔬存儲中具有催熟劑作用的微量乙烯氣體釋放的檢測等。 現(xiàn)有紅外氣體傳感技術(shù)中，基于激光光源的氣體傳感器雖然易于達到ppb級的高精度檢測，但是激光傳感器成本昂貴，而低成本的基于熱光源的紅外氣體傳感器雖然成本較低，但是卻存在精度低的問題。 為了解決上述的精度和成本痛點問題，本成果掌握了高功率熱紅外光源、可級聯(lián)長光程氣體吸收池、多通道紅外探測器和可調(diào)諧紅外探測器以及多通道微弱信號數(shù)字鎖相放大檢測等技術(shù)，開發(fā)一系列探測精度到100ppb 以下的多通道紅外氣體傳感器和演示模組，以及基于可調(diào)濾波器的小型化紅外光譜儀，展示了集成多組分氣體檢測和現(xiàn)場未知氣體成分的光譜儀檢測能力，具有高精度和低成本優(yōu)勢，以及小體積和低功耗特點。 （１）高功率熱紅外光源：MEMS 熱光源芯片陣列與微光學(xué)準(zhǔn)直陣列集成，實現(xiàn)低發(fā)散角的高功率紅外源。為實現(xiàn)高精度探測所需要的長光程氣體吸收池提供足夠的紅外光能量。 （２）可級聯(lián)長光程氣體吸收池：高精度氣體檢測需要米級長光程池?，F(xiàn)有長光程氣體池主要有懷特池、Herriott 型、Chernin 型以及環(huán)形吸收池，配合低發(fā)散角的激光光源。但是這些吸收池結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝配難度高，成本高。自主提出的可級聯(lián)氣體池結(jié)構(gòu)簡單，光學(xué)效率高，且中心對稱，加工和裝配成本低。 （３）多通道紅外探測器：不同敏感波長的紅外探測單元集成在同一襯底上，構(gòu)成多通道器件，可共用一個氣體池和光源，節(jié)省器件，降低了成本，同時節(jié)省了體積和功耗。 （４）可調(diào)諧濾波器：采用電調(diào)FP 腔和單探測器可以動態(tài)選擇透射波長進行探測。具有在一定波段內(nèi)連續(xù)掃描實現(xiàn)紅外光譜儀的功能，也可以隨機定位某個特定波長探測，靈活性強。除了用于已知氣體成分的濃度檢測，還可用于對含有未知氣體種類的應(yīng)用場景進行氣體檢測。另外，大口徑的壓電驅(qū)動可調(diào)濾波器可用于電力開關(guān)柜SF6氣體泄露、天然氣管道氣體泄露以及農(nóng)作物長勢和病蟲害監(jiān)測等場合的紅外光譜成像檢測。 （５）微小型紅外光譜儀：紅外光譜儀是在一個較寬的紅外波段進行掃描以獲取物質(zhì)的光譜信息，借此探知物質(zhì)的未知成分。傳統(tǒng)的紅外光譜儀體積大，主要在實驗室使用。本技術(shù)采用FP 腔可調(diào)濾波器具有體積小結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的特點，易于實現(xiàn)現(xiàn)場檢測。 圖1 四通道濾波聚焦單元、光學(xué)/探測器集成結(jié)構(gòu)以及紅外光譜探測器 圖2  長光程氣體池（平均光程>1米） 圖3 可調(diào)光譜探測器-PZT壓電陶瓷驅(qū)動FP腔可調(diào)濾波器及可調(diào)光譜 圖4 紅外氣體傳感器模組 【技術(shù)優(yōu)勢】 （1）基于表面微納結(jié)構(gòu)的窄帶濾光片/微透鏡陣列技術(shù)：實現(xiàn)覆蓋中波和長波紅外的寬波段濾光/聚焦結(jié)構(gòu)，具有低成本制造優(yōu)勢。 （2）多通道紅外探測器集成芯片技術(shù)：多通道濾波/聚焦陣列結(jié)構(gòu)與紅外探測單元陣列集成，實現(xiàn)多波長光譜探測芯片，具有低成本和小體積優(yōu)勢。 （3）可級聯(lián)長光程池技術(shù)：適合熱光源的米級光程氣體吸收，實現(xiàn)低成本ppb 級紅外氣體探測。相比高精度的激光氣體傳感器，具有成本優(yōu)勢。

裝備制造業(yè)是一個國家的脊梁”；五軸數(shù)控機床作為高端裝備的代表，是加工復(fù)雜空間曲面的唯一手段，起著不可替代的作用，成為衡量國家裝備制造水平的重要標(biāo)志。我國是機床制造和消費大國，但不是強國，高檔數(shù)控機床主要依賴進口。2018年我國機床進口總額165億美元(占機床消費總額近57%），由于禁運，制約我國裝備制造水平提升。 國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃設(shè)立了“高檔數(shù)控機床與基礎(chǔ)制造裝備”國家科技重大專項。本項目面向這一國家重大需求，研制了激光高精度多誤差參數(shù)的快速綜合測量儀，通過誤差補償，顯著提高數(shù)控機床的制造與加工精度。

成果簡介：本腦電采集系統(tǒng)利用專用的集成化生物電勢測量芯片實現(xiàn)前端模擬信號的調(diào)理，具有低噪聲、多采樣率和高精度的特點，其內(nèi)置高共模抑制 比且增益可調(diào)的放大電路，降低了設(shè)備的尺寸和硬件成本。同時，開放式的 CPCI總線提高了系統(tǒng)的可拓展性和靈活性，支持單個或多個板卡同時采集。 每個板卡最多可采集 16 導(dǎo)聯(lián)的腦電信號，設(shè)備支持 4 個板卡共 64 導(dǎo)聯(lián)腦電 信號同時采集，也可根據(jù)需要進一步升級為 

產(chǎn)品詳細介紹 電子羅盤HMR3000 電子羅盤HMR3000簡介：隨著電子信息技術(shù)的發(fā)展，GPS在導(dǎo)航、定位、測速、定向、測量等方面給人們帶來了極大的方便。但在某些地理環(huán)境下GPS 無法準(zhǔn)確定位（如：被高樓、高山、峽谷、樹冠等物體所遮擋時），且在靜止情況下也無法得到方向信息。使用Honeywell公司的HMR3000電子羅盤可對此進行有效的補償，保證導(dǎo)航信息100%有效。即使是在GPS信號失鎖后也能正確工作，真正是"丟星不丟向"。此外，HMR3000電子羅盤還可用來測量物體的姿態(tài)，按照NMEA0183的格式，通過RS232或485接口，實時準(zhǔn)確地輸出被測物體的俯仰、橫滾和航向角度，且航向精度高，誤差在±0.5°?？蓮V泛應(yīng)用于航海、通信雷達、微波定向、海上平臺控制、天線安裝、無人機、機器人、運動定向、自動控制等方面。HMR3000體積小，功耗低，精度高，價格便宜是姿態(tài)測量用戶的理想選擇。 電子羅盤HMR3000性能參數(shù)

綜合利用GNSS、UWB、INS、LiDAR、相機等傳感器，通過對顧及GNSS系統(tǒng)偏差的GNSS RTK/INS緊組合定位方法、GNSS/UWB/INS高精度室內(nèi)外一體化定位方法、GNSS/INS/LiDAR同步定位與構(gòu)圖方法、基于單目視覺SLAM/INS組合定位方法等一系列核心算法的研究，搭建完成基于多傳感器數(shù)據(jù)融合的室內(nèi)外一體化高精度定位平臺。該平臺由硬件平臺和數(shù)據(jù)處理軟件兩部分組成，硬件平臺實現(xiàn)各類傳感器的固定、時空基準(zhǔn)統(tǒng)一以及原始觀測數(shù)據(jù)采集與解析等功能，數(shù)據(jù)處理軟件實現(xiàn)多傳感器數(shù)據(jù)融合、組合定位定姿、三維構(gòu)圖等功能。大量的實驗結(jié)果表明，該平臺在室外復(fù)雜環(huán)境、室內(nèi)外交互區(qū)域以及室內(nèi)環(huán)境下的定位精度可達20cm以內(nèi)。

本項目基于投射光柵相位測量技術(shù)、雙目視覺測量技術(shù)和近場攝影測量技術(shù)，提出一種新穎的大視場三維形貌高精度測量方法，并對多方位正弦光柵編碼技術(shù)，高精度立體匹配機理，傳感器有效測量區(qū)域確定及路徑生成方法，基于靶標(biāo)的多方位局部圖象高精度拼接技術(shù)等進行重點研究，為解決國內(nèi)外長期存在的大型復(fù)雜形貌視覺檢測中局部及全局標(biāo)定精度低、難以測量曲率變化大和無明顯特征表面的測量問題提供了一種行之有效的解決方法。對實現(xiàn)大型構(gòu)件生產(chǎn)中的在線檢測，保證產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。 應(yīng)用領(lǐng)域為飛機蒙皮拉制及汽車白車身鍛壓過程的在線測量和質(zhì)量控制；大型板材的缺陷三維檢測；應(yīng)力/應(yīng)變測量；逆向工程；藝術(shù)品復(fù)制；人體骨骼變形等。

激光掃描測量儀是高精度三維物體表面形狀測量設(shè)備，該設(shè)備基于線結(jié)構(gòu)光和三角測量原理，采用四軸運動系統(tǒng)。其主要特點是系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、測量速度快、且具有實時處理能力。在計算機控制下，可以實現(xiàn)三維復(fù)雜物體的快速、高效的數(shù)字化，為三維曲面重構(gòu)，快速成型制造，立體數(shù)控加工等后續(xù)處理提供完善可靠的數(shù)據(jù)。該設(shè)備在2001年通過有關(guān)部門的鑒定，其綜合技術(shù)指標(biāo)達到國際先進水平，2003年獲陜西省科技進步一等獎，并獲發(fā)明專利3項。

高速、高精度數(shù)控切紙機關(guān)鍵技術(shù)及系列產(chǎn)品。自主開發(fā)了MT系列切紙機數(shù)控系統(tǒng)，在印刷企業(yè)中得到了推廣和應(yīng)用。在此基礎(chǔ)上，“高速、高精度數(shù)控切紙機關(guān)鍵技術(shù)及系列產(chǎn)品開發(fā)”獲得2006年度教育部科學(xué)技術(shù)進步一等獎。

已有樣品/n在相關(guān)需求和學(xué)科發(fā)展的驅(qū)動下， 2004年開展了基于光纖干涉測量技術(shù)原理的大氣光纖湍流測量技術(shù)研究， 次年完成了可行性方案論證工作， 2006年建成了原理樣機系統(tǒng)， 該成果被國際光學(xué)權(quán)威刊物Applied Optics發(fā)表， 2011年完成實驗樣機系統(tǒng)的研制， 2015年完成了便攜式光纖湍流測量系統(tǒng)的研制。 此后與相關(guān)大學(xué)和公司合作， 攻克了包括調(diào)制解調(diào)技術(shù)、 噪聲抑制、 信號衰退等問題在內(nèi)的多項關(guān)鍵技術(shù)， 并且在模塊