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1 成果簡介基于網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體平臺的高端信息服務(wù)關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化——通過網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體服務(wù)平臺（如數(shù)字電視，有線寬帶，電信 e 家平臺等），設(shè)計后端高端信息服務(wù)體系架構(gòu)，從而最大化的利用多媒體數(shù)字服務(wù)平臺構(gòu)建高端信息服務(wù)網(wǎng)絡(luò)生態(tài)系統(tǒng)平臺并產(chǎn)業(yè)化。 項目有利于改變目前網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體和計算機軟件的“ 生態(tài)鏈”，渠道提供者與服務(wù)提供者會占據(jù)更為重要的位置， 這也符合我們的實際國情。同時，提升深港和大珠三角地區(qū)網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體平臺，高端信息服務(wù)，系統(tǒng)集成商及數(shù)字媒體工業(yè)的能力，在數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)接入平臺的融合潮流中發(fā)展創(chuàng)新性的技術(shù)和把握市場機會，快捷有效地開發(fā)新的先進技術(shù)，拓展新商機，將廣東省及產(chǎn)業(yè)示范基地的信息內(nèi)容服務(wù)和增值服務(wù)產(chǎn)業(yè)做大、做強。2 應(yīng)用范圍廣東省和大珠三角地區(qū)的信息產(chǎn)業(yè)，系統(tǒng)集成商，高端信息服務(wù)商，與數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)行業(yè)相關(guān)的企業(yè)如消費電子產(chǎn)品，通訊產(chǎn)品，數(shù)字電視和計算機產(chǎn)品等的數(shù)字媒體設(shè)計公司，均可受惠。3 效益分析產(chǎn)業(yè)化后預(yù)期產(chǎn)值超過 1 億元人民幣。

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光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實現(xiàn)設(shè)計圖形轉(zhuǎn)移的載體，是決定其微細結(jié)構(gòu)和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國半導(dǎo)體掩膜版的國產(chǎn)化率10%左右，90%需要進口，高端掩膜版國產(chǎn)化率3%，miniLED和microLED產(chǎn)業(yè)升級也需要更多高端掩膜版。隨著中國市場需求的持續(xù)提升，掩膜版產(chǎn)能嚴(yán)重不足。并且中國半導(dǎo)體掩膜版的產(chǎn)業(yè)起步較晚，技術(shù)滯后，核心技術(shù)和裝備基本讓國外公司壟斷，特別是在設(shè)備、材料領(lǐng)域眾多技術(shù)處于“卡脖子”狀態(tài)，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機、檢測機、測量機、修復(fù)機和貼膜機等都依賴進口，嚴(yán)重制約中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。華中科技大學(xué)徐智謀教授團隊致力于全套高端半導(dǎo)體光掩膜版的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)與量產(chǎn)，為“卡脖子”技術(shù)研究而努力。 具有建立180 nm技術(shù)節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)線相關(guān)核心技術(shù)；具備130 nm至28 nm半導(dǎo)體掩膜版研發(fā)、設(shè)計及驗證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團隊掌握了掩膜版MEMS微納加工量產(chǎn)核心技術(shù)，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術(shù)參數(shù)的搭配和優(yōu)化，以及大數(shù)據(jù)量軟件快速處理、補償?shù)取? 2） 裝備國產(chǎn)化 A. 超高精度二維測量裝備 尺寸測量是驗證掩膜版技術(shù)指標(biāo)的核心，主要包括關(guān)鍵尺寸測量(CD)和長尺寸測量(TP)。團隊已掌握掩膜版的關(guān)鍵測量技術(shù)，達到國內(nèi)先進水平，具有整套設(shè)備的整機制造能力。 TP測量是掩膜版制作的核心指標(biāo)，直接影響到客戶的套合精度，該測量設(shè)備一直由國外極少數(shù)廠商壟斷，且價格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對中國出口。團隊目前正在攻克該項技術(shù)，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復(fù)裝備 掩膜版修補技術(shù)是提升良品率的關(guān)鍵手段，該技術(shù)一直為國外壟斷。團隊已熟練掌握UV、DUV激光化學(xué)沉積技術(shù)及皮秒飛秒激光金屬處理技術(shù)，具備整機制造能力，可降低設(shè)備采購成本70%以上。 C. Pellicle自動貼膜裝備 隨著產(chǎn)品精度的提升和應(yīng)用領(lǐng)域的高端化，掩膜版貼膜是個不可缺少的重要環(huán)節(jié)。在IC制造領(lǐng)域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領(lǐng)域90%以上需貼膜，在LED領(lǐng)域80%以上需貼膜。該貼膜設(shè)備一直國外公司壟斷，國內(nèi)廠家沒有提供，國外采購全自動貼膜設(shè)備需100萬美元左右。團隊具備研發(fā)制造該設(shè)備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設(shè)備正式在產(chǎn)線運營，制造成本可節(jié)約90%以上。 3） 廠房建設(shè)關(guān)鍵技術(shù) 團隊對MEMS及其掩膜工廠工藝設(shè)備廠務(wù)設(shè)計有豐富經(jīng)驗，掌握高等級防微震廠房結(jié)構(gòu)和設(shè)備平臺的設(shè)計施工，可達到VC-D級技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，滿足納米級生產(chǎn)技術(shù)要求。 【技術(shù)優(yōu)勢】 （1）掌握了高性價比掩膜版量產(chǎn)的關(guān)鍵核心技術(shù)，包括部分裝備的國產(chǎn)化，解決“卡脖子”技術(shù)難題，量產(chǎn)線建設(shè)成本節(jié)約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術(shù)節(jié)點掩膜版設(shè)計開發(fā)能力和驗證平臺，驗證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產(chǎn)、研發(fā)和銷售經(jīng)驗的隊伍，成熟的企業(yè)管理經(jīng)驗，保證企業(yè)穩(wěn)步成長，確保投資風(fēng)險可控。 【合作方式】 股權(quán)投資合作共建或政府孵化+中試線。

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采用我們的激光陶瓷制備技術(shù)，我們成功制備出高質(zhì)量的Ce：YAG陶瓷熒光體，應(yīng)用于白光LED照明領(lǐng)域，已獲得130 lm/W的流明效率，顯色指數(shù)達85，通過控制陶瓷熒光體的厚度和Ce離子摻雜濃度，可以方便的解決白光分檔的難題。如圖1、圖2、圖3所示分別為所制備Ce:YAG陶瓷的實物照片、吸收譜和發(fā)光性能測試時的照片。由于陶瓷熒光體的熱導(dǎo)率遠高于傳統(tǒng)熒光粉與樹脂的固化體，可顯著改善熱管理，這將徹底解決熒光粉因為溫度上升引起熱猝滅所導(dǎo)致的光衰和光色不穩(wěn)等問題。該陶瓷熒光體不含任何有機物，可實現(xiàn)全無機封裝，由于樹脂等有機物高溫老化所導(dǎo)致的發(fā)光體層發(fā)黑、變色甚至失效等問題將不復(fù)存在，這將顯著延長白光LED的壽命和發(fā)光穩(wěn)定性。通過采用高效率藍光芯片，預(yù)計可進一步提高白光LED的流明效率。該技術(shù)路線與目前Philips Lumileds公司在其功率型白光LED方面所采取的技術(shù)方案類似（Lumiramic陶瓷熒光體技術(shù)）。相比而言，我們的陶瓷熒光體的制備技術(shù)具有制備更簡便、成本更低、使用更靈活等優(yōu)勢。此外，該陶瓷熒光體也適用于遠程熒光體的解決方案，與Intematix（英特美）公司現(xiàn)有的遠程熒光體（樹脂加熒光粉的固化體）相比，我們的陶瓷熒光體方案具有更高的光抽取效率和更均勻的發(fā)光性能，可望用于射燈、室內(nèi)筒燈、舞臺和廣告牌裝飾燈等對亮度要求較高的場合。陶瓷熒光體在高端功率型白光LED領(lǐng)域的應(yīng)用才剛剛開始，隨著白光LED照明的不斷普及和應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Π坠釲ED功率和效率需求的不斷上升，其重要性已逐漸引起市場關(guān)注，預(yù)計將來3-5年，市場規(guī)模將有大幅度增長。

輪胎新材料應(yīng)用及高端產(chǎn)品的研發(fā)

企業(yè)需要混凝土混合比技術(shù)專業(yè)高端人才