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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

EV-400高真空金屬有機蒸發(fā)鍍膜機 真空腔室：前開門真空腔體，方便取放基片、更換鎢舟、添加蒸發(fā)材料以及真空室的日常維護保養(yǎng)； 真空系統(tǒng)：國產(chǎn)分子泵作為主抽泵，真空極限優(yōu)于5.0?10-5Pa（經(jīng)烘烤除氣后）；另可選進口磁懸浮分子泵或是低溫泵作為主抽泵，真空極限優(yōu)于3.0?10-6Pa（經(jīng)烘烤除氣后）； 真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min； 蒸發(fā)源：4～6組歐美技術(shù)金屬或是有機束源爐蒸發(fā)源可選，多源共蒸獲得復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜，功能強大，性能穩(wěn)定； 蒸發(fā)電源：真空專業(yè)蒸發(fā)電源，恒流/恒功率控制。電流、功率可預(yù)先設(shè)置，可實現(xiàn)一鍵啟動和停止的自動控制功能； 基片臺：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一體化高精度刻蝕掩膜板；基片臺公轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0～20r/min連續(xù)可調(diào)； 基片臺功能：襯底可選擇加熱（室溫～300℃可調(diào)可控）或水冷，基片臺可選升降，源基距最大350mm； 濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動匹配的射頻濺射電源可任選； 膜厚監(jiān)控儀：可選配國產(chǎn)或進口單水冷探頭膜厚儀； 可鍍材料：可沉積金屬（Au、Ag、Al、Ca、Cu、Mg、Fe、Cr、Ti、Ni等）、非金屬、化合物（MoO3、LiF等）及有機材料，可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜； 控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現(xiàn)一鍵抽停真空。

南開大學(xué)蓖麻生物航油集成技術(shù)，是在“應(yīng)對氣候變化、綠色低碳發(fā)展”的前瞻理念下，集成南開十幾年蓖麻產(chǎn)業(yè)鏈開發(fā)基礎(chǔ)及化學(xué)化工科研優(yōu)勢，自主研發(fā)，現(xiàn)已取得階段性成果：建立了“生物航油基礎(chǔ)研發(fā)基地”，突破了催化劑關(guān)鍵技術(shù)，打通了工藝流程，產(chǎn)品全項達標，成本在目前所有生物質(zhì)航油中最低，申請中國發(fā)明專利 7 項，列入國家發(fā)改委《戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品目錄》、《國家重點推廣的低碳技術(shù)項目指南》等，獲第四屆國家和天津市創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽獎項，具有拉動千億元綠色低碳產(chǎn)業(yè)鏈的巨大發(fā)展?jié)摿Α?生物航空煤油（生物航煤）就是以動植物油脂或農(nóng)林廢棄物等生物質(zhì)為原料生產(chǎn)的航空煤油，可在航空煤油中大比例的添加使用（50%），且不需要對發(fā)動機做任何改進。2012 年開始的歐盟航空碳稅之爭已迫使各國爭相開發(fā)生物航煤技術(shù)來實現(xiàn)航空業(yè)的碳減排。生物航煤的研發(fā)契合國家十三五發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃，對我國航空業(yè)減排、根治霧霾、維護能源安全、以及拉動三農(nóng)等都有重要作用，是國家大力支持的綠色低碳產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新增長點，是當(dāng)前國家急需解決的重大科學(xué)難題之一。目前，該項目的技術(shù)難題就是核心催化劑脫氧活性不佳、航煤選擇性低、穩(wěn)定性差。 南開大學(xué)李偉教授科研團隊目前已開發(fā)出具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的蓖麻航油制備及配套催化劑關(guān)鍵技術(shù)，使原料油轉(zhuǎn)化率＞99%，蓖麻生物航油產(chǎn)品收率＞80%；經(jīng)中石化石科院按國際生物航煤最高標準的 ASTM D7566 和國家噴氣 3 號燃料（GB 6537-2006）等指標檢測，全項達標。相關(guān)研究內(nèi)容在《Bioresource Technology》發(fā)表論文 1 片、申報中國發(fā)明專利 7 項、國際發(fā)明專利 2 項。相關(guān)技術(shù)受到國內(nèi)外高度重視及新聞媒體關(guān)注。在第四屆中國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中以天津賽區(qū)第一名成績進入全國總決賽，最終以第 6 名榮獲“全國優(yōu)秀團隊”稱號。

南開大學(xué)蓖麻生物航油集成技術(shù)，是在“應(yīng)對氣候變化、綠色低 碳發(fā)展”的前瞻理念下，集成南開十幾年蓖麻產(chǎn)業(yè)鏈開發(fā)基礎(chǔ)及化學(xué) 化工科研優(yōu)勢，自主研發(fā)，現(xiàn)已取得階段性成果：建立了“生物航油基礎(chǔ)研發(fā)基地”，突破了催化劑關(guān)鍵技術(shù)，打通了工藝流程，產(chǎn)品全 項達標，成本在目前所有生物質(zhì)航油中最低，申請中國發(fā)明專利 7 項， 列入國家發(fā)改委《戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品目錄》、《國家重點推廣的低 碳技術(shù)項目指南》等，獲第四屆國家和天津市創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽獎項，具 有拉動千億元綠色低碳產(chǎn)業(yè)鏈的巨大發(fā)展?jié)摿Α?生物航空煤油（生物航煤）就是以動植物油脂或農(nóng)林廢棄物等生 物質(zhì)為原料生產(chǎn)的航空煤油，可在航空煤油中大比例的添加使用 （50%），且不需要對發(fā)動機做任何改進。2012 年開始的歐盟航空碳 稅之爭已迫使各國爭相開發(fā)生物航煤技術(shù)來實現(xiàn)航空業(yè)的碳減排。生 物航煤的研發(fā)契合國家十三五發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃，對我國航空業(yè)減排、根 治霧霾、維護能源安全、以及拉動三農(nóng)等都有重要作用，是國家大力 支持的綠色低碳產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新增長點，是當(dāng)前國家急需解決的重大科學(xué)難 題之一。目前，該項目的技術(shù)難題就是核心催化劑脫氧活性不佳、航 煤選擇性低、穩(wěn)定性差。 南開大學(xué)李偉教授科研團隊目前已開發(fā)出具有完全自主知識產(chǎn) 權(quán)的蓖麻航油制備及配套催化劑關(guān)鍵技術(shù)，使原料油轉(zhuǎn)化率＞99%， 蓖麻生物航油產(chǎn)品收率＞80%；經(jīng)中石化石科院按國際生物航煤最高 標準的 ASTM D7566 和國家噴氣 3 號燃料（GB 6537-2006）等指標 檢測，全項達標。相關(guān)研究內(nèi)容在《Bioresource Technology》發(fā)表論 文 1 片、申報中國發(fā)明專利 7 項、國際發(fā)明專利 2 項。相關(guān)技術(shù)受到 國內(nèi)外高度重視及新聞媒體關(guān)注。在第四屆中國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中以天 津賽區(qū)第一名成績進入全國總決賽，最終以第 6 名榮獲“全國優(yōu)秀團 隊”稱號。 市場應(yīng)用前景： 生物航油市場需求巨大，據(jù)國際民航組織規(guī)定，2020 年中國航空燃油的 30%（約 1200 萬噸）要打上“生物質(zhì)標簽”，如果按“50%生 物質(zhì)航油：50%化石航油”摻混，需要 600 萬噸“純”生物質(zhì)航油， 總產(chǎn)值達數(shù)千億元。但 2014 年全國生物航油產(chǎn)量不足 100 噸，離規(guī) 模化相差甚遠。蓖麻航油具備占據(jù) 50%市場份額的可能性，按 5 年生 產(chǎn)蓖麻生物航油 300 萬噸計算，僅技術(shù)轉(zhuǎn)讓和催化劑銷售利潤就可達 5 億元以上。同時，使用生物航油可降低 50%以上的污染物排放，可 有效減排治霾，維護我們的環(huán)境安全。 擬開展合作方式： 現(xiàn)已申請中國發(fā)明專利 7 項，擬開展合作方式：建設(shè)年產(chǎn)萬噸級生物航油 及配套催化劑示范生產(chǎn)裝置，采用股權(quán)合作或?qū)嵤┰S可的方式合作。

西安科技大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院 2005 年開始就對我國低變質(zhì)煤制備高濃度水煤漿以及氣化水煤漿提濃技術(shù)進行研究，研究成果經(jīng)企業(yè)的初步驗收取得了良好的效果，粒度優(yōu)化級配工藝裝置已成功實施。并將取得良好的經(jīng)濟和社會效益。

針對深部煤巷頂板變形大、下沉嚴重，錨桿（索）易失效導(dǎo)致巷道坍塌冒頂問題，建立不同預(yù)應(yīng)力下“錨桿＋圍巖”復(fù)合加固模型，提出了深部受采動影響巷道錨桿（索）支護頂板“安全潛力”理論和安全性評價方法，發(fā)明了頂板離層遙測系統(tǒng)和基于離層速度比率預(yù)報頂板冒落的方法，實現(xiàn)了錨桿（索）支護頂板安全評價及預(yù)警，成果獲國家科技進步二等獎。

本發(fā)明公開了一種深部煤層巷道幫部軟弱煤巖支護方法，該方法主要針對深部煤層矩形或梯形巷道，巷道埋深一般為700.0～1100.0m，煤巖巖性粘結(jié)力為0.6～1.2MPa，內(nèi)摩擦角為18°～28°。該方法主要根據(jù)深部煤層巷道兩幫煤巖位移梯度分布量化確定深部煤層巷道幫部軟弱煤巖合理的錨桿、錨索及金屬支架支護參數(shù)，保持深部軟弱煤巖變形穩(wěn)定。

系統(tǒng)基于虛擬現(xiàn)實、“互聯(lián)網(wǎng)+”等新一代信息技術(shù)，主要面向采煤機等煤機裝備，進行設(shè)計軟件開發(fā)與信息化系統(tǒng)研究，以虛擬現(xiàn)實煤機裝備、“互聯(lián)網(wǎng)+”煤機裝備等為研究主線，進行煤機裝備與虛擬現(xiàn)實“協(xié)同-融合-改造-創(chuàng)新”的深度研究。 系統(tǒng)由煤機裝備虛擬現(xiàn)實模型資源庫、基于OSG的煤機裝備虛擬裝配方法與系統(tǒng)、基于UG的煤機裝備虛擬裝配方法與系統(tǒng)、煤機裝備虛擬現(xiàn)實裝配人機交互技術(shù)與系統(tǒng)、煤機裝備場景仿真和漫游技術(shù)與系統(tǒng)、煤機裝備虛擬現(xiàn)實裝配網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)與系統(tǒng)以及基于WebGL的煤機裝備數(shù)字模型技術(shù)與系統(tǒng)等七部分組成。 系統(tǒng)可通過融合VR場景仿真與漫游、虛擬裝配與人機交互關(guān)鍵功能設(shè)計等關(guān)鍵技術(shù)，實現(xiàn)數(shù)字化設(shè)計、虛擬裝配和虛擬運行；通過將工作面裝備和地質(zhì)數(shù)據(jù)進行采集錄入，建立3D全景顯示的綜采裝備虛擬運行系統(tǒng)，完成裝備的姿態(tài)與軌跡預(yù)測，豐富煤礦工作面計算機集中監(jiān)測控制功能；實現(xiàn)CAD模型導(dǎo)入VR環(huán)境、煤機裝備VR場景制作，實現(xiàn)煤機裝備虛擬抓取、移動、旋轉(zhuǎn)和裝配，實現(xiàn)煤機裝備虛擬環(huán)境沉浸式立體顯示等。 系統(tǒng)入選2022年中國科協(xié)“科創(chuàng)中國”先導(dǎo)技術(shù)榜，為該榜單電子信息領(lǐng)域25個上榜項目之一。

項目成果/簡介:本發(fā)明涉及家禽育種技術(shù),特別涉及一種高產(chǎn)土種蛋雞的培育方法,其方法包括:F系培育:用貴妃雞與羅曼蛋雞父母代的合成系與貴妃雞回交,獲得含有75%貴妃雞血緣的基礎(chǔ)群品系,再進行連續(xù)四個世代的選育;M系培育:用貴妃雞與羅曼蛋雞父母代雜交獲得含有50%貴妃雞血緣的基礎(chǔ)群品系,再進行連續(xù)四個世代的選育;配套系生產(chǎn)商品代:以F系為父母代父本,M系為父母代母本,所得雜交后代采用翻肛法性別鑒定,母雛即為商品代蛋雞.本方法可培育產(chǎn)蛋量高,蛋品質(zhì)量優(yōu)良的土種蛋雞新品種(配套系),商品蛋雞72周入舍產(chǎn)蛋量達235枚以上,比純種土蛋雞提高約50%;商品雞蛋具有土雞蛋的外觀品質(zhì),蛋白品質(zhì)和風(fēng)味特性.

本發(fā)明涉及家禽育種技術(shù),特別涉及一種高產(chǎn)土種蛋雞的培育方法,其方法包括:F系培育:用貴妃雞與羅曼蛋雞父母代的合成系與貴妃雞回交,獲得含有75%貴妃雞血緣的基礎(chǔ)群品系,再進行連續(xù)四個世代的選育;M系培育:用貴妃雞與羅曼蛋雞父母代雜交獲得含有50%貴妃雞血緣的基礎(chǔ)群品系,再進行連續(xù)四個世代的選育;配套系生產(chǎn)商品代:以F系為父母代父本,M系為父母代母本,所得雜交后代采用翻肛法性別鑒定,母雛即為商品代蛋雞.本方法可培育產(chǎn)蛋量高,蛋品質(zhì)量優(yōu)良的土種蛋雞新品種(配套系),商品蛋雞72周入舍產(chǎn)蛋量達235枚以上,比純種土蛋雞提高約50%;商品雞蛋具有土雞蛋的外觀品質(zhì),蛋白品質(zhì)和風(fēng)味特性.