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一種深硅刻蝕方法
本發明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進行深感應耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應耦合等離子體機內，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強度逐漸增強。本發明有效解決了現有技術中側壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實現的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。
華中科技大學
2021-04-14
低硼硅藥用玻璃管
主要生產藥用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液體瓶等產品。現擁有14條國際先進的拉管生產線，70余臺國際先進的制瓶機，年產各類安瓿/管制瓶32億支，藥用玻管（精品7.0）30000噸。
山東力諾特種玻璃股份有限公司
2021-08-27
硅通孔結構及其制造方法
本發明公開了一種硅通孔結構的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導電區表面和絕緣區表面制作摻雜掩膜，以對導電區和絕緣區分別進行粒子摻雜，絕緣區與導電區摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導電區表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區域覆蓋絕緣層。本發明的方法制造工藝簡單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結構的成品率。本發明還公開了一種硅通孔結構。
華中科技大學
2021-04-11
非晶合金，高熵合金，高性能鋼鐵材料和多孔金屬
在 Nature，Science，Physical Review Letters，Advanced Materials 等學術刊物上發表論文 200 余篇，申請中國發明專利 65 件，授權發明專利 22 件。2010 年相關塊體非晶復合材料韌化的工作被 Nature-Asia Materials 做專題評述，多項其它工作還被 Science，Materials Today，Nature 等學術雜志做專題評述以及其它世界各國媒體報道。在新一代超高強鋼和先進耐熱鋼研究上取得了國際水平的研究成果，其中關于超高強鋼的成果被國際權威給予很高的評價，同時被科技部評為“2017 年度中國科學十大進展”并在央視新聞聯播報道。 超高強鋼； 先進高熵合金； 塊體非晶合金； 非晶納米晶軟磁合金； 非晶態耐磨耐蝕合金； 非晶與高熵合金釬焊材料； 高熵合金生物材料； 高強耐蝕鎂合金。
北京科技大學
2021-02-01
非晶合金，高熵合金， 高性能鋼鐵材料和多孔金屬
在 Nature，Science，Physical Review Letters，Advanced Materials 等學術刊物上發表論文 200 余篇，申請中國發明專利 65 件，授權發明專利 22 件。2010 年相關塊體非晶復合材料韌化的工作被 Nature-Asia Materials 做專題評述，多項其它工作還被 Science，Materials Today，Nature 等學術雜志做專題評述以及其它世界各國媒體報道。在新一代超高強鋼和先進耐熱鋼研究上取得了國際水平的研究成果，其中關于超高強鋼的成果被國際權威給予很高的評價，同時被科技部評為“2017 年度中國科學十大進展”并在央視新聞聯播報道。超高強鋼；先進高熵合金；塊體非晶合金；非晶納米晶軟磁合金；非晶態耐磨耐蝕合金；非晶與高熵合金釬焊材料；高熵合金生物材料；高強耐蝕鎂合金。
北京科技大學
2021-04-13
多晶硅鑄錠爐的隔熱塊及包括該隔熱塊的多晶硅鑄錠爐
本發明公開了一種用于多晶硅鑄錠爐的隔熱塊，設置在多晶硅鑄錠爐的坩堝底部外周，用于坩堝加熱或冷卻多晶硅過程中的隔熱保溫，該隔熱塊為中空方形筒體結構，筒體筒壁為中空夾層結構，其中內壁用于包覆設置在坩堝底部的熱交換塊外周壁面，且該內壁與所述熱交換塊外周壁面具有間隙，所述外壁用于與設置在坩堝外圍的豎直隔熱板固定接觸，所述坩堝中心線、熱交換塊中心線以及隔熱塊中心線重合，且所述隔熱塊頂部低于熱交換塊頂部。本發明還公開了具有
華中科技大學
2021-04-14
鋅－鎳合金電鍍技術
鋅的標準電極電位為-0.76V，是典型的鋼鐵基體犧牲陽極保護鍍層。鋅合金鍍層是電鍍鋅鍍層的進一步發展，通過加入鎳、錫、鈷、鉻等合金元素，在成本增加很少或不增加情況下，不僅保持了鋅鍍層的犧牲陽極保護特性，又可使鍍層的性能、尤其是耐蝕性可獲得大幅度提高。 鋅鎳合金電鍍技術是鋅合金鍍的一種。含鎳25~30%的鋅鎳合金鍍層耐蝕性和機械性能均好但內應力大，含鎳10~20%的鋅鎳合金鍍層耐蝕性和機械性能均好，抗海水和抗濕能力比鋅高6~7倍，含鎳7~9%的鋅鎳合金鍍層鍍后可成型加工，易于鈍化。北京科技大學開發了以下兩類鋅－鎳合金電鍍技術。（1）鋅－鎳合金鍍層高速電鍍技術 鋅－鎳合金鍍層鋼板作為制造汽車用高耐蝕性表面處理鋼板80年代起被重視，為此開發了鋅－鎳合金鍍層鋼板的高速電鍍技術。 高速電鍍技術采用簡單的硫酸鹽類鍍液體系，在使鋼板以100米/秒左右的速度高速運行下，以50安培/平方分米以上的高電流密度進行電鍍。電流效率達95%以上。鍍層含鎳10~20%，鍍層相結構為耐蝕性最好的單一γ相，組織細密，外觀呈青白色金屬光澤，鍍層耐蝕性是電鍍鋅鍍層的5倍以上。（2）常規鋅－鎳合金鍍層電鍍技術 開發的常規銨鹽類弱酸性鍍液體系鋅－鎳合金鍍層電鍍技術獲得了國家專利。以1~5安培/平方分米的電流密度進行電鍍，鍍層光亮，色調與不銹鋼相仿，但成本低。所得鋅鎳合金鍍層的耐蝕性是電鍍鋅鍍層的5－10倍，而且耐熱性比鍍鋅層大為提高。
北京科技大學
2021-04-11
輕質多孔泡沫鋁合金
泡沫鋁具有高彎曲比剛度、吸聲、隔音、隔熱、電磁屏蔽、減振緩沖等諸多優良性能，同時還具有金屬鋁固有的防火、防潮、無毒、無味、耐蝕、抗老化等性能。在航天飛行器等領域已實現應用，在汽車領域用作汽車部件，可顯著提高汽車的被動安全性、抑制振動、減輕重量，達到安全和節能的目的。此外，在船舶、隧道、高速公路聲屏障、工廠、商場、體育場館等場合也能夠實現大量應用。/line泡沫鋁的結構特點：/line1、孔徑2～6mm，孔隙率75～85%/line2、能制備異型泡沫鋁、泡沫鋁芯三明治及泡沫鋁芯充填管、殼復合結構。
南京大學
2021-04-10
鐵基形狀記憶合金
鐵基形狀記憶合金是一種新型結構功能材料。自90年代，我校已研究成功幾種Fe-Mn-Si-Cr-Ni系形狀記憶合金，這些合金的屈服強度可達300～450MPa，完全回復的形狀記憶應變已達3%，予應變為6%時凈回復應變可達5%，具有良好的單程形狀記憶效應和形狀記憶完全性，合金中Cr、Ni元素的加入兼具有良好的耐腐蝕性。鐵基形狀記憶合金的應用如下： 1
西安交通大學
2021-01-12
鈦合金心房、心室拉鉤
由手把和拉鉤組成、心室拉鉤分為六個型號，寬度分別為40、36、32、28、24、20mm，為空心拉鉤。心房拉鉤分為八個型號，寬度分別是24、20、16、14、12、10、8、6mm，為實心拉鉤，帶有雙面弧度。適應于小兒至成人心臟手術，光滑、輕，而且有回彈性。
西安交通大學
2021-01-12