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超穩(wěn)定微環(huán)境控制系統(tǒng)
以投影光刻機(jī)、超精密光學(xué)系統(tǒng)、超穩(wěn)定運(yùn)動工件臺以及激光干涉測量儀等為代表的超精密設(shè)備對其加工環(huán)境要求及其苛刻，對環(huán)境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩(wěn)定的超穩(wěn)定控制。
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、成果簡介
以投影光刻機(jī)、超精密光學(xué)系統(tǒng)、超穩(wěn)定運(yùn)動工件臺以及激光干涉測量儀等為代表的超精密設(shè)備對其加工環(huán)境要求及其苛刻，對環(huán)境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩(wěn)定的超穩(wěn)定控制。以光刻機(jī)為例：在光刻機(jī)工件臺實際工作過程中，溫度的空間不均勻性或者隨時間漂移性都會嚴(yán)重影響光刻機(jī)的定位精度和套刻精度。具體表現(xiàn)有：工件臺關(guān)鍵部件會由于空間溫度的漂移而產(chǎn)生形變進(jìn)而導(dǎo)致運(yùn)動誤差，而以激光干涉儀為代表的超穩(wěn)定測量儀器的波長會受溫度、壓力影響，波長的漂移勢必會造成測量結(jié)果的誤差進(jìn)而最終影響光刻精度。除此之外，空氣中的污染顆粒和化學(xué)腐蝕物也均會對工件臺的運(yùn)動性能造成顯著影響。無論對于精密加工裝備還是測量設(shè)備來說，當(dāng)精度達(dá)到納米級時，由環(huán)境參數(shù)波動引起的誤差因素就成為限制其精度的一大障礙，在這個時候很有必要引入一套環(huán)境控制系統(tǒng)來保證這些精密設(shè)備的苛刻工作環(huán)境需求。
華中科技大學(xué)
2022-07-26
技術(shù)大學(xué).jpg){kind=logo}
高水溶性超細(xì)鈦白粉
該材料實現(xiàn)了系列突破： 1. 產(chǎn)率高、三廢少，可實現(xiàn)投料 98%以上的產(chǎn)出；
2. 制備工藝先進(jìn)、能耗低、產(chǎn)量大，便于大規(guī)模生產(chǎn)；
3. 水溶性高，最高可實現(xiàn) 70%左右的水溶性，性能遠(yuǎn)高于市場同類產(chǎn)品；
中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2023-05-17
業(yè)大學(xué).jpg){kind=logo}
超早熟無公害草莓高產(chǎn)技術(shù)
該技術(shù)是繼上世紀(jì)九十年代初我校建立的可在春節(jié)和元旦上市 的“無加溫冬季草莓早熟半早熟栽培技術(shù)”之后的草莓栽培技術(shù)又一重要突破。 利用引進(jìn)甜查理鮮食草莓品種、卡瑪魯沙等出口草莓品種以及鉆石等珍稀草莓 品種，在建立的系統(tǒng)化高產(chǎn)栽培技術(shù)基礎(chǔ)上，通過工廠化育苗技術(shù)和全新的育青島農(nóng)業(yè)大學(xué)科技成果介紹 2017 －25－ 苗方法，以無公害栽培方式，促進(jìn)草莓花芽提早分化、超早成熟。 生產(chǎn)條件及經(jīng)濟(jì)效益預(yù)測：培育的草莓比現(xiàn)有草莓提前一至兩個月成熟， 可于 10 至 11 月上市銷售，畝產(chǎn)可達(dá) 4000kg。10-1
青島農(nóng)業(yè)大學(xué)
2021-01-12
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超分辨縱向偏振激光束
縱向偏振激光束作為一種特殊光束，它的主要偏振態(tài)與光束的傳播方向一致， 這與傳統(tǒng)的麥克斯韋方程所描述的光的偏振態(tài)與它的傳播方向垂直相矛盾;該光 束的尺寸可以小于系統(tǒng) 0.5 波長衍射極限分辨率，達(dá)到 0.36 波長，如果用于掃 描成像，可以實現(xiàn) 38%的分辨率提高，對于藍(lán)色 405 納米的激光，分辨率可以小 于90納米。
上海理工大學(xué)
2021-01-12
： 微量/超微量天平 ME/SE
產(chǎn)品詳細(xì)介紹
廣州市博勒泰貿(mào)易有限公司
2021-08-23
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硅基毫米波集成電路設(shè)計
基于CMOS工藝，設(shè)計了大量射頻、毫米波收發(fā)機(jī)和頻率源芯片； CMOS 90nm 60GHz 接收機(jī)芯片，集成片上天線，傳輸效率優(yōu)于IBM芯片90%； CMOS 90nm 21dBm 60GHz功率放大器，性能優(yōu)于Hittite商用GaAs芯片； CMOS 60GHz 移相器芯片，為開發(fā)毫米波相控陣芯片奠定良好基礎(chǔ)；
電子科技大學(xué)
2021-04-10
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一種毫米波天線對中方法
成果描述：本發(fā)明公開了一種基于毫米波通信天線差速旋轉(zhuǎn)方式的毫米波天線對中方法。本發(fā)明的方法僅依賴定位參數(shù)和天線水平數(shù)據(jù)，通過兩天線采用差速旋轉(zhuǎn)的方式，來實現(xiàn)對毫米波天線的對中。同時，也對位置誤差對整個對中的影響提供一個分析功能。本發(fā)明能有效提高毫米波天線對中精度，實現(xiàn)天線自動化對中通信，減少對中前的準(zhǔn)備工作和數(shù)據(jù)交換工作，增加毫米波的通信保密性，實現(xiàn)毫米波通信機(jī)動性、可靠性及野外自適應(yīng)特性。市場前景分析：天線技術(shù)領(lǐng)域。與同類成果相比的優(yōu)勢分析：技術(shù)先進(jìn)，性價比較高。
西南交通大學(xué)
2021-04-10
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關(guān)于電荷密度波序的高精度實驗探測
運(yùn)用先進(jìn)的相干共振X射線彈性散射，研究了經(jīng)典的電荷密度波材料三碲化鋯（ZrTe3 ）中的雜質(zhì)效應(yīng)。
北京大學(xué)
2021-04-11
一種浮法玻璃波筋在線檢測方法
一種浮法玻璃波筋在線檢測方法，本發(fā)明屬于工業(yè)檢測技術(shù)領(lǐng) 域，目的在于克服現(xiàn)有浮法玻璃檢測設(shè)備不能在線檢測玻璃斑馬角的 不足，以有效檢測出浮法玻璃生產(chǎn)中的波筋缺陷，并在線實時測定玻 璃的斑馬角。本發(fā)明包括設(shè)置檢測系統(tǒng)步驟、預(yù)先建立映射表步驟、 邊緣檢測步驟、閾值分割步驟、去除圖像噪聲步驟、條紋細(xì)化步驟和 計算斑馬角步驟。本發(fā)明檢出率高、檢測速度快、大大降低工人了的 勞動強(qiáng)度，可以滿足浮法玻璃在線檢測斑馬角的實時性要求。
華中科技大學(xué)
2021-01-12
波與物質(zhì)相互作用新形式的發(fā)現(xiàn)
以光與物質(zhì)相互作用為例。在發(fā)光過程中，一直以來研究者都認(rèn)為光源只能夠與其所處環(huán)境的電磁場模式的本征態(tài)相互作用，光源的出射強(qiáng)度和頻率等輻射特征由光源和這些本征態(tài)共同決定。這一觀念隨著對自發(fā)輻射的深入理解而逐漸形成。標(biāo)志性的認(rèn)識包括1930年V. Weisskopf and E. Wigner提出自發(fā)輻射是激發(fā)的電子與真空場相互作用引起的。1946年E. M. Purcell進(jìn)一步指出自發(fā)輻射的速率是由光源和其所處環(huán)境的電磁場模式的本征態(tài)共同決定。對這一觀念的深刻理解使得我們可以通過構(gòu)建和調(diào)控光學(xué)模式本征態(tài)來控制光與物質(zhì)相互作用，從而對激光器、單光子源、光子晶體、超構(gòu)材料等光物理與器件的興起與發(fā)展起到了舉足輕重的作用。2012年的諾貝爾物理學(xué)獎?wù)鞘谟枇嗽诖嘶A(chǔ)上發(fā)展起來的對單個粒子的量子調(diào)控。
北京大學(xué)
2021-04-11