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本發(fā)明公開(kāi)了一種超精密工作臺(tái)，它包括宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與微位移工作臺(tái)，其中宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的導(dǎo)軌形式采用氣浮導(dǎo)軌，微位移工作臺(tái)與宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接，并隨宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)一起沿 X 向、Y 向移動(dòng)。微位移工作臺(tái)中包含壓電智能結(jié)構(gòu)，其中該壓電智能結(jié)構(gòu)既能感知外界對(duì)其施加的力、位移等信號(hào)，又能主動(dòng)地對(duì)外界施加力、位移等。此外，壓電智能結(jié)構(gòu)不僅可以用于超精密工作臺(tái)的微位移工作臺(tái)中，而且也可以制成類(lèi)似彈簧-阻尼系統(tǒng)的俘能機(jī)構(gòu)，應(yīng)用在超精密工作臺(tái)中。本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)床、超精密測(cè)量、微電子制造等領(lǐng)域。

針對(duì)極紫外光刻機(jī)物鏡的溫管和溫控技術(shù)難題，設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)了針對(duì)極紫外光刻機(jī)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超精密溫控裝置，目前已應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)及光刻機(jī)生產(chǎn)廠商、高檔數(shù)控行業(yè)和民用航天上，涉及企事業(yè)單位共30余家。研制了不同控溫精度和控溫功率的系列產(chǎn)品，采用主動(dòng)溫度控制方法，解決了單點(diǎn)溫度控制穩(wěn)定性和多通道溫度控制均勻性的問(wèn)題；設(shè)計(jì)了具有功能模塊化的溫控層次結(jié)構(gòu)，解決了超精密溫控中系統(tǒng)內(nèi)外的擾動(dòng)和時(shí)滯問(wèn)題，控溫速度快；研制了大功率串聯(lián)半導(dǎo)體制冷模塊，結(jié)合模糊PID控制算法，提高了收斂速度、控制精度和抗擾動(dòng)能力。項(xiàng)

拋光是一種常見(jiàn)的表面加工技術(shù)，主要目的是降低表面粗糙度、去除損傷層，最終獲得光滑且無(wú)損傷的高質(zhì)量表面。無(wú)論是日常生活中的消費(fèi)用品還是制造技術(shù)高度集成的半導(dǎo)體芯片，拋光加工都是保證表面質(zhì)量不可或缺的技術(shù)手段。近年來(lái)，在金屬材料超精密加工領(lǐng)域，具有復(fù)雜外形和內(nèi)腔的金屬零件的拋光一直是工業(yè)界所面臨的技術(shù)難題。傳統(tǒng)的諸如化學(xué)機(jī)械拋光、激光拋光以及磁流變拋光

本發(fā)明公開(kāi)了一種三自由度超精密微動(dòng)工作臺(tái)，該工作臺(tái) X、Y和θ方向的運(yùn)動(dòng)由四個(gè)垂直布置在微動(dòng)臺(tái)外框架和內(nèi)框架的直線電機(jī)提供，直線電機(jī)的動(dòng)子安裝在外框架的內(nèi)側(cè)，直線電機(jī)定子安裝在內(nèi)框架外側(cè)。外框架由安裝在外框架底部四角的四個(gè)圓形氣浮軸承實(shí)現(xiàn)垂直方向的支承，內(nèi)框架分別由環(huán)形氣浮軸承和圓形真空預(yù)緊吸盤(pán)實(shí)現(xiàn)垂向的支承。微動(dòng)臺(tái)的位置信息由垂直安裝在載物平臺(tái)上的第一、第二平面配合激光干涉儀測(cè)量。本發(fā)明所提出的一種三自由度超精密微動(dòng)工作臺(tái)可實(shí)現(xiàn)大負(fù)載、大慣量、高精度的運(yùn)動(dòng)，該平臺(tái) X 和 Y 向的行程為 2mm，

應(yīng)用領(lǐng)域： 超凈工作臺(tái)是開(kāi)展生物技術(shù)研究和實(shí)驗(yàn)必不可少的基礎(chǔ)設(shè)備之一，該設(shè)備廣泛應(yīng)用于生物制藥，生物化學(xué)，環(huán)境監(jiān)測(cè)及電子儀器儀表等行業(yè)，供操作區(qū)空氣凈化使用。 ◆產(chǎn)品特點(diǎn) 1.垂直層流送風(fēng)，防止操作室內(nèi)部樣品相互交叉污染。 2.采用超高效無(wú)隔板過(guò)濾器，對(duì)0.3微米的顆粒過(guò)濾效率達(dá)到99.99%(操作區(qū)潔凈度遠(yuǎn)高于100級(jí)）． 3.高品質(zhì)離心式，超低噪音風(fēng)機(jī)。 4.正壓式過(guò)濾系統(tǒng)，確保工作區(qū)域?yàn)闊o(wú)塵無(wú)菌環(huán)境。 5.人體工程學(xué)60傾斜角操作面，減輕操作者壓迫感； 6.工作臺(tái)面選用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼材質(zhì)，美觀、易清理、耐腐蝕。 7.箱體表面采用靜電噴涂工藝，耐酸堿，美觀大方。 8.前窗采用全鋼化玻璃視窗及配重平衡，既可保證操作者的人身安全又任意升降，定位靈活， 工作區(qū)內(nèi)配備多功能插座，為操作者提供便利。兩側(cè)為透明玻璃視窗，內(nèi)外通透美觀舒適。  9.分體式結(jié)構(gòu)，下設(shè)角輪. 10.標(biāo)配液晶智能控制器，具有高效過(guò)濾器失效報(bào)警功能、壓差顯示功能、 紫外殺菌定時(shí)功能、溫度顯示功能、預(yù)約開(kāi)機(jī)功能、累計(jì)工作時(shí)間功能；手動(dòng)調(diào)風(fēng)速。

最大功率（KW） : 1.1KW （含備用插座），操作臺(tái)側(cè)面?zhèn)溆胁?座，方便其它設(shè)備用電，無(wú)需另接電源。 熒光燈/紫外燈規(guī)格及數(shù)量14W X2/8WX2 在送風(fēng)系統(tǒng)設(shè)置“阻泄露”技術(shù)的優(yōu)質(zhì)HEPA FILTER器裝置， 對(duì)于0.3um的塵埃顆粒捕集效率》99.99%,確保達(dá)到潔凈度 IS05 級(jí)。 過(guò)濾材料：采用進(jìn)口濾膜，材質(zhì)為硅硼酸鹽超細(xì)玻璃纖維，滿(mǎn) 足使用條件下的溫度、濕度、耐腐蝕性和機(jī)械強(qiáng)度的要求，無(wú) 釋放對(duì)人員、環(huán)境和設(shè)備產(chǎn)生不利影響的物質(zhì)。 風(fēng)機(jī)系統(tǒng)采用可調(diào)風(fēng)量風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，輕觸型開(kāi)關(guān)調(diào)節(jié)電壓，保證 工作區(qū)風(fēng)速始終處于理想態(tài)。 滑動(dòng)前窗采用進(jìn)口懸掛升降系統(tǒng)，使用鋼化安全玻璃能任意升 降定位技術(shù)，可靠性，無(wú)故障、免維護(hù)，并能完全關(guān)閉以便滅 困O 箱體及操作臺(tái)面材質(zhì)箱體采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板烤漆處理，操作臺(tái) 面為304不銹鋼。 安全互鎖功能照明和紫外燈具有安全互鎖功能，具有紫外燈預(yù) 約定時(shí)開(kāi)關(guān)功能。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹  JHT—DDC單人單面超凈化工作臺(tái)（垂直）   這是一種供單人操作的通用型局部?jī)艋O(shè)備，氣流形式為垂直層流，它可造就局部高清潔度空氣環(huán)境，是科研制藥、醫(yī)療衛(wèi)生、電子光學(xué)儀器等行業(yè)最為理想的專(zhuān)用設(shè)備。 特點(diǎn)： 1、操作區(qū)為全不銹鋼 2、外型美觀結(jié)構(gòu)合理 3、采用自定們上下推拉門(mén)系統(tǒng) 4、風(fēng)量可調(diào)，雙側(cè)電源插座   技術(shù)指標(biāo)：   型號(hào)   JHT--DDC 外形尺寸 900×800×1630 工作臺(tái)尺寸 870×650×570 潔凈等級(jí) 100級(jí)@≥0.5ｕm(美聯(lián)邦209E) 平均風(fēng)速 0.3—0.5m/s(可調(diào)) 噪音 ≤65dB(A) 振動(dòng) ≤3ｕm 照明 ≥300LX 電源 220V 50HZ 消耗功率 ≤360W 紫外線 30W×1 照明 30W×1 備注 不銹鋼臺(tái)面，雙側(cè)電源，上下推拉門(mén)  

1、項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本項(xiàng)目由江南大學(xué)留美博士后趙永武教授獨(dú)創(chuàng).徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或需要多步才能完成的技術(shù)難題，填補(bǔ)了 國(guó)內(nèi)空白。 2、創(chuàng)新要點(diǎn) （1）拋光速度快,效率高,時(shí)間短。是國(guó)內(nèi)現(xiàn)有拋光劑拋光速度的數(shù)倍至數(shù) 十倍以上。 （2）表面加工質(zhì)量?jī)?yōu)異。經(jīng)本拋光劑加工后的工件表面組織非常細(xì)膩，表 面粗糙度可達(dá) Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進(jìn)一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時(shí)完成。而國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時(shí)費(fèi)力。 （4）加工批量大。對(duì)于小零件一次可以加工成千上萬(wàn)件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無(wú)毒無(wú)害，對(duì)環(huán)境友好,且操作方便,易于掌握。377 （8）本拋光劑既適用于螺旋振動(dòng)和離心式光飾機(jī),也適宜于滾筒和旋轉(zhuǎn)渦流 式等拋光機(jī)。 3、效益分析 對(duì)具備 10 臺(tái)機(jī)床的小型車(chē)間而言，每年凈提高產(chǎn)值 150 萬(wàn)元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車(chē)、摩托車(chē)，縫紉機(jī)、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動(dòng)和精密機(jī)械等企業(yè)。 

為滿(mǎn)足光電通訊、光學(xué)、信息等產(chǎn)業(yè)中小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具產(chǎn)業(yè)化的需求，研制了小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具超精密數(shù)控復(fù)合機(jī)床,具備納米級(jí)精度斜軸鏡面納米磨削、斜軸磁流變研拋、在線測(cè)量補(bǔ)償加工等功能，為小口徑非球面光學(xué)透鏡模具的產(chǎn)業(yè)化制造提供可靠的裝備支撐。分辨率10nm，主軸回轉(zhuǎn)精度50nm；加工對(duì)象為微小非球面透鏡及模具；加工口徑10mm以下；加工面形狀精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。應(yīng)用領(lǐng)域包括集成電路（IC）、發(fā)光二極管（LED）、光學(xué)光電、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、電子陶瓷、通訊、醫(yī)療器械等，能切割硅晶圓、砷化鎵、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、藍(lán)寶石等。GUI交互界面。具備接觸式測(cè)高及非接觸式測(cè)高，刀痕檢測(cè)，具有切割深度自動(dòng)補(bǔ)償，刀片破損補(bǔ)償功能，能保證切割質(zhì)量。

1、項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本項(xiàng)目由江南大學(xué)留美博士后趙永武教授獨(dú)創(chuàng).徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或需要多步才能完成的技術(shù)難題，填補(bǔ)了 國(guó)內(nèi)空白。 2、創(chuàng)新要點(diǎn) （1）拋光速度快,效率高,時(shí)間短。是國(guó)內(nèi)現(xiàn)有拋光劑拋光速度的數(shù)倍至數(shù) 十倍以上。 （2）表面加工質(zhì)量?jī)?yōu)異。經(jīng)本拋光劑加工后的工件表面組織非常細(xì)膩，表 面粗糙度可達(dá) Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進(jìn)一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時(shí)完成。而國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時(shí)費(fèi)力。 （4）加工批量大。對(duì)于小零件一次可以加工成千上萬(wàn)件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無(wú)毒無(wú)害，對(duì)環(huán)境友好,且操作方便,易于掌握。（8）本拋光劑既適用于螺旋振動(dòng)和離心式光飾機(jī),也適宜于滾筒和旋轉(zhuǎn)渦流 式等拋光機(jī)。 3、效益分析 對(duì)具備 10 臺(tái)機(jī)床的小型車(chē)間而言，每年凈提高產(chǎn)值 150 萬(wàn)元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車(chē)、摩托車(chē)，縫紉機(jī)、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動(dòng)和精密機(jī)械等企業(yè)