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挑流-射流聯(lián)合消能系統(tǒng)利用下泄的高速水流沖擊溢流堰上葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)變速器加速發(fā)電機(jī)旋轉(zhuǎn)發(fā)電，為置于水墊塘中的增壓泵供電，增壓泵的矩形出水口向上噴射出的面狀水流與溢流壩面挑射后下泄的面狀水流在空中碰撞消能，沖擊葉輪過(guò)程進(jìn)行底坎消能，在完成底坎消能和對(duì)沖消能后，余能將在水墊塘得到進(jìn)一下的消減。

浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

本發(fā)明公開(kāi)了一種無(wú)泵噴射式制冷機(jī)，包括：發(fā)生器、第一噴射器、冷凝器、節(jié)流元件、蒸發(fā)器、三通閥、第一儲(chǔ)液罐和第一單向閥，第一噴射器依次與冷凝器、節(jié)流元件、蒸發(fā)器串聯(lián)構(gòu)成回路；三通閥依次與第一儲(chǔ)液罐、單向閥、發(fā)生器串聯(lián)構(gòu)成回路；發(fā)生器與第一噴射器之間設(shè)有連通的管路；冷凝器與三通閥之間設(shè)有連通的管路。本發(fā)明突破傳統(tǒng)思路的束縛，利用三通閥的切換實(shí)現(xiàn)了從低壓的冷凝器向高壓的發(fā)生器輸送流體，取代了傳統(tǒng)循環(huán)中的循環(huán)泵，提出一種無(wú)泵噴射式制冷機(jī)，另外利用本發(fā)明可用于改進(jìn)各種現(xiàn)有噴射式制冷機(jī)。

一種軸向柱塞式電機(jī)泵，屬于液壓動(dòng)力源中的軸向柱塞泵，解 決現(xiàn)有軸向柱塞電機(jī)泵徑向尺寸較大、錐形配流閥工作中產(chǎn)生劇烈振 動(dòng)和噪聲的問(wèn)題。本發(fā)明包括殼體、左端蓋、右端蓋、左斜盤、右斜 盤、電機(jī)定子、電機(jī)轉(zhuǎn)子、缸體軸，缸體軸左端、右端分別開(kāi)有軸向 的吸入孔道和排出孔道，缸體軸軸向開(kāi)有 N 個(gè)沿圓周均勻分布的柱塞 通孔，各柱塞通孔中均裝有柱塞組件，徑向開(kāi)有 N 個(gè)均勻分布的吸入 閥座孔和 N 個(gè)均勻分布的壓出閥座孔，各吸入閥座孔中和壓出閥座孔 中分別均裝有吸入閥組件及壓出閥組件，形成 N 個(gè)相同的吸入閥和壓 出閥。本發(fā)明結(jié)構(gòu)更加緊湊、輕巧，功率密度高，工作噪聲低，工作介質(zhì)可為油、水或其他液體介質(zhì)，可以提高閥配流柱塞泵的工作轉(zhuǎn)速。 

乳化液泵站是井下綜合采煤工作面支護(hù)設(shè)備的動(dòng)力源泉，其工作狀態(tài)好壞與安全生產(chǎn)密切相關(guān)。要實(shí)現(xiàn)煤礦井下安全作業(yè)，提高采煤工作效率，防止出現(xiàn)重大設(shè)備安全事故，保障乳化液泵站井下安全運(yùn)行是十分必要的一個(gè)環(huán)節(jié)。乳化液泵數(shù)字監(jiān)護(hù)儀設(shè)計(jì)目標(biāo)就是采用現(xiàn)代高科技的智能機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)， 實(shí)現(xiàn)井下乳化液泵站全天候安全運(yùn)行和無(wú)人自動(dòng)監(jiān)測(cè)，在異常情況兆頭出現(xiàn)時(shí)實(shí)時(shí)聲光報(bào)警，提醒用戶處理，防止出現(xiàn)事故。在出現(xiàn)事故時(shí)候能自動(dòng)保護(hù)如停機(jī)等，以防止事故擴(kuò)大。

泥泵是挖泥船的核心設(shè)備之一，長(zhǎng)期以來(lái)集裝艙、吹岸、艏噴等多種功能的超大型耙吸挖泥船泥泵的生產(chǎn)由少數(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家所壟斷。本項(xiàng)目瞄準(zhǔn)國(guó)際先進(jìn)技術(shù)，針對(duì)疏浚市場(chǎng)的迫切需求，中交天津航道局主持、多家單位聯(lián)合技術(shù)攻關(guān)，創(chuàng)建了泥泵現(xiàn)代化的設(shè)計(jì)平臺(tái), 攻克了國(guó)產(chǎn)泥泵效率低、可靠性差、耐磨材料性能低下、制造難度大和國(guó)內(nèi)無(wú)超大型耙吸挖泥船泥泵設(shè)計(jì)制作標(biāo)準(zhǔn)等諸多難題，自主設(shè)計(jì)、制造了國(guó)內(nèi)第一臺(tái)具有國(guó)際先進(jìn)水平的國(guó)產(chǎn)超大型耙吸挖泥船泥泵。項(xiàng)目成果獲“中國(guó)水運(yùn)建設(shè)行業(yè)協(xié)會(huì)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)”和“天津市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)”。 本項(xiàng)目

一種軸向柱塞式電機(jī)泵，屬于液壓動(dòng)力源中的軸向柱塞泵，解決現(xiàn)有軸向柱塞電機(jī)泵徑向尺寸較大、錐形配流閥工作中產(chǎn)生劇烈振動(dòng)和噪聲的問(wèn)題。本發(fā)明包括殼體、左端蓋、右端蓋、左斜盤、右斜盤、電機(jī)定子、電機(jī)轉(zhuǎn)子、缸體軸，缸體軸左端、右端分別開(kāi)有軸向的吸入孔道和排出孔道，缸體軸軸向開(kāi)有 N 個(gè)沿圓周均勻分布的柱塞通孔，各柱塞通孔中均裝有柱塞組件，徑向開(kāi)有 N 個(gè)均勻分布的吸入閥座孔和 N 個(gè)均勻分布的壓出閥座孔，各吸入閥座孔中和壓出閥座孔中分別均裝有吸入閥組件及壓出閥組件，形成 N 個(gè)相同的吸入閥和壓出閥。本發(fā)明結(jié)

本發(fā)明公開(kāi)了一種水潤(rùn)滑柱塞泵，包括殼體、左端蓋、右端蓋、 凸輪軸、配流閥塊、柱塞滑靴組件、壓縮彈簧和配流閥，殼體上安裝 左端蓋和所述右端蓋；凸輪軸的安裝在左端蓋和右端蓋上；配流閥塊 固定安裝在殼體上，其上設(shè)置有進(jìn)流通道、出流通道和柱塞腔；柱塞 滑靴組件設(shè)置于柱塞腔處并伸入所述殼體內(nèi)，其包括柱塞和滑靴；壓 縮彈簧豎直設(shè)置于配流閥塊內(nèi)；配流閥塊在對(duì)應(yīng)于柱塞滑靴組件的位 置設(shè)置配流閥。本發(fā)明可以利用水作為介質(zhì)進(jìn)行動(dòng)靜壓混合支撐，動(dòng) 靜壓混合支撐具有回轉(zhuǎn)精度高、速度和載荷范圍廣、摩擦阻力及功耗 小等優(yōu)點(diǎn)，解

針對(duì)軸流泵靜止外殼壁面上的環(huán)狀邊界層、轉(zhuǎn)動(dòng)葉片表面上的邊界層