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用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一、項目分類
顯著效益成果轉化
二、成果簡介
現有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產過程中，薄膜成分的調控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜，按照常規技術路線需要上百塊成分連續變化的合金靶材，這顯然是無法實現的。同時，采用合金靶材制備某些多元薄膜時，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現有技術難以制造。
為此，本發明研發出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法，利用本發明技術有助于新材料的研發和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發展。
武漢理工大學
2022-08-12
一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法
本發明公開了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法，其包 括的成分及該成分的原子百分比含量分別為：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材；S2 選擇襯底材料， 將襯底表面進行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 進行磁控濺射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結構自對準制備方法及裝置
本發明公開一種多層薄膜微結構自對準制備方法，通過分隔板 將噴頭內腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內注入不相溶的高分 子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅使接收板 做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐， 從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運 動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結構。本發明還公開一種實 現上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內，將噴嘴內腔體分隔為至 少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之 間設有密封片；
華中科技大學
2021-04-14
一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法
本發明公開了一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法。該薄膜為聚苯胺與三氧化鎢的復合薄膜，其中含有5～80％質量分數的三氧化鎢，薄膜厚度為50～300nm，表面具有納米棒陣列形貌。該制備方法包括：將表面經羥基化處理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直豎立并固定于反應容器中，將過氧化鎢酸溶液與苯胺溶液的混合溶液倒入其中并攪拌；再加入過硫酸銨溶液，攪拌下進行反應；反應完成后，取出沉積有薄膜的基底并沖洗、干燥而得。本發明制備方法實現了聚苯胺/氧化物在分子層次復合，工藝簡單，成分可方便控制，成本較低，易于實現工業化。制得的薄膜光譜調節范圍大、顏色豐富、響應速度快、循環壽命長，應用范圍廣泛。
浙江大學
2021-04-13
一種雙波段薄膜光探測器及其制備方法
本發明屬于微納制造與光電子器件領域，并公開了一種雙波段 薄膜光探測器，包括基底薄片、第一電極層、第一 WSe2 層、石墨烯 層、第一 MoS2 層、第二電極層、介質層、第二 WSe2 層、第三電極 層、第二 MoS2 層和第四電極層,第一電極層設置在基底薄片上;第一 WSe2 層鋪設在基底薄片和第一電極層上;石墨烯層設置在第一 WSe2 層上;
華中科技大學
2021-04-14
清華大學集成電路學院錢鶴、吳華強團隊提出基于旋轉神經元的新型儲備池計算硬件架構
隨著摩爾定律的放緩，基于硅晶體管和馮諾依曼架構的傳統計算硬件系統在人工智能時代面臨嚴峻的性能瓶頸。受大腦啟發，基于新原理器件的類腦計算致力于充分挖掘電子器件自身的物理屬性作為計算資源，從而在硬件層面高效實現各種人工神經網絡。
清華大學
2022-04-08
利用自來水余能和壓縮空氣能回收冷水的節水節能熱水器
本成果提供了一種利用自來水余能和壓縮空氣能回收冷水的節水節能熱水器，包括熱水器和與熱水器連通的自來水冷水進水管和熱水出水管，自來水冷水進水管和熱水出水管同時連通三進一出混水閥，熱水出水管上靠近混水閥的位置通過儲水容器進水管道連通儲水容器，儲水容器通過儲水容器出水管道連通混水閥，所述儲水容器出水管路上設置有泄壓閥、控制控制閥門和逆止閥。本成果可以利用自來水余能把熱水器出口至實際出水口管路之間的冷水儲存起來并在儲水容器中形成壓縮空氣能，然后壓縮空氣能做功使這部分冷水在其他使用冷水的地方利用，實現這部分冷水資源90%以上的利用，在不消耗電能的前提下達到了節約水資源的目的，相較于循環泵節約利用該部分冷水的技術，節約了電能。本成果搭建的模型在增加用戶用水體驗的基礎上能有效節約水資源，提高水資源的利用效率，該模型搭設簡便，可推廣使用。另外，可將該系統集成到新的熱水器中，設計制造新型的節水節能熱水器。在不消耗電能的前提下實現了熱水器熱水管中冷水資源90%以上的利用，節約了水資源。
西北農林科技大學
2021-05-11
第七屆高等工程教育大會人工智能賦能高等工程教育分論壇在重慶成功舉辦
11月16日，由浙江大學主辦，中國高等教育學會指導的第62屆中國高等教育博覽會“人工智能賦能高等工程教育”學術活動在重慶舉辦。
新工科在線
2024-11-20
材料學院周歡萍團隊和張艷鋒團隊在鈣鈦礦太陽能電池的重要進展
《科學》報道材料學院周歡萍團隊和張艷鋒團隊在鈣鈦礦太陽能電池的重要進展。
北京大學
2025-01-14
專家報告薈萃? | 武漢大學信息中心主任劉昕：持續夯實數字基座 高效賦能數智教育
2024年9月召開的全國教育大會強調，要深化國家教育數字化戰略的實施，充分利用國家智慧教育公共服務平臺，探索數字賦能大規模因材施教、創新性教學的有效途徑，要注重運用人工智能助力教育變革。在這大背景下，武漢大學積極響應號召，以數字化轉型為契機，全面推數智武大的建設，積極探索數字化和智能化技術在教育領域的應用，以期實現武漢大學的教育現代化。
中國高等教育博覽會
2025-02-28