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本項(xiàng)目利用一種新型結(jié)構(gòu)獨(dú)特的兼具準(zhǔn)直和選頻功能的混合菲涅爾透鏡衍射光柵光學(xué)元件來實(shí)現(xiàn)一種小型集成化、窄線寬的半導(dǎo)體激光器。結(jié)合混合菲涅爾透鏡衍射光柵光學(xué)元件外腔技術(shù)，使激光線寬小于50 kHz水平，實(shí)現(xiàn)微型化的厘米長度的窄線寬相干激光光源的批量制備。

本發(fā)明公開了一種用于增強(qiáng)激光亮度的光學(xué)組件及高頻脈沖激光光源；光學(xué)組件包括用于將多路激光光線合成一束的棱鏡組、用于 將合束后的激光轉(zhuǎn)換為片激光的柱面透鏡組以及用于將片激光進(jìn)行多 次反射使得激光亮度增強(qiáng)的反射鏡腔。高頻脈沖激光光源包括第一激 光器組、第二激光器組、第一組條紋鏡、第二組條紋鏡、偏振合束原 件、半波片、準(zhǔn)直透鏡組、導(dǎo)光臂、聚焦透鏡、柱面透鏡組和反射鏡 腔；當(dāng)所有的激光器同時(shí)激發(fā)發(fā)光，則能使發(fā)出的激光亮度急劇增強(qiáng)， 當(dāng)激光器依次輪流發(fā)出激光，則能使發(fā)出的激光工作在一個(gè)很高的頻 率。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，控制簡單，多個(gè)激光器的合成脈沖使得其具有 激光脈沖輸出頻率高，亮度大的優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于高速相機(jī)的照明光源。 

本發(fā)明公開了一種用于增強(qiáng)激光亮度的光學(xué)組件及高頻脈沖激光光源；光學(xué)組件包括用于將多路激光光線合成一束的棱鏡組、用于將合束后的激光轉(zhuǎn)換為片激光的柱面透鏡組以及用于將片激光進(jìn)行多次反射使得激光亮度增強(qiáng)的反射鏡腔。高頻脈沖激光光源包括第一激光器組、第二激光器組、第一組條紋鏡、第二組條紋鏡、偏振合束原件、半波片、準(zhǔn)直透鏡組、導(dǎo)光臂、聚焦透鏡、柱面透鏡組和反射鏡腔；當(dāng)所有的激光器同時(shí)激發(fā)發(fā)光，則能使發(fā)出的激光亮度急劇增強(qiáng)，當(dāng)激光器依次輪流發(fā)出激光，則能使發(fā)出的激光工作在一個(gè)很高的頻率。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，控制簡單

本發(fā)明公開了一種提高激光轉(zhuǎn)盤斬波調(diào) Q 性能的裝置及包含該 裝置的調(diào) Q 激光器，裝置包括位于諧振腔內(nèi)部或外部的伽利略望遠(yuǎn)鏡 裝置以及位于諧振腔內(nèi)部用于對(duì)壓縮后的激光光束進(jìn)行調(diào) Q 的轉(zhuǎn)盤斬 波調(diào) Q 器件。激光介質(zhì)為一個(gè)時(shí)，第一伽利略式望遠(yuǎn)鏡裝置位于諧振 腔之內(nèi)，用于壓縮激光光束直徑，以減少 Q 開關(guān)時(shí)間增強(qiáng)調(diào) Q 效果； 激光介質(zhì)大于一個(gè)時(shí)，第二伽利略式望遠(yuǎn)鏡裝置位于諧振腔之外，由 各路激光諧振腔共用，用于將多路

隨著現(xiàn)代激光技術(shù)的快速發(fā)展，激光跟蹤在空間光通信、激光雷達(dá)、衛(wèi)星遙感、定向能應(yīng)用及工業(yè)測(cè)量等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，光束偏轉(zhuǎn)原理、跟蹤機(jī)構(gòu)及其控制方法等是影響跟蹤范圍、精度、實(shí)時(shí)性和穩(wěn)定性等光電跟蹤性能的決定因素。在國家自然科學(xué)基金的支持下，由同濟(jì)大學(xué)牽頭，聯(lián)合中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所以及上海同新機(jī)電控制技術(shù)有限公司等單位開展了面向機(jī)器人誤差測(cè)量等工業(yè)應(yīng)用的多模式激光跟蹤儀的研究。該研究對(duì)復(fù)雜場(chǎng)合下時(shí)變軌跡跟蹤、測(cè)量或加工具有強(qiáng)適應(yīng)性；結(jié)合圖像采集系統(tǒng)，可以精確調(diào)整成像視軸以實(shí)現(xiàn)視覺導(dǎo)引或大范圍高精度圖像拼接。該項(xiàng)目從原理上拓展了激光多模式、變尺度跟蹤的實(shí)現(xiàn)方法，形成了復(fù)雜場(chǎng)合下大范圍高精度動(dòng)態(tài)目標(biāo)激光跟蹤的核心技術(shù)，在機(jī)器人動(dòng)態(tài)誤差測(cè)量、動(dòng)態(tài)成像檢測(cè)、空間激光通信以及軍事偵察等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

項(xiàng)目成果/簡介:隨著現(xiàn)代激光技術(shù)的快速發(fā)展，激光跟蹤在空間光通信、激光雷達(dá)、衛(wèi)星遙感、定向能應(yīng)用及工業(yè)測(cè)量等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，光束偏轉(zhuǎn)原理、跟蹤機(jī)構(gòu)及其控制方法等是影響跟蹤范圍、精度、實(shí)時(shí)性和穩(wěn)定性等光電跟蹤性能的決定因素。在國家自然科學(xué)基金的支持下，由同濟(jì)大學(xué)牽頭，聯(lián)合中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所以及上海同新機(jī)電控制技術(shù)有限公司等單位開展了面向機(jī)器人誤差測(cè)量等工業(yè)應(yīng)用的多模式激光跟蹤儀的研究。該研究對(duì)復(fù)雜場(chǎng)合下時(shí)變軌跡跟蹤、測(cè)量或加工具有強(qiáng)適應(yīng)性；結(jié)合圖像采集系統(tǒng)，可以精確調(diào)整成像視軸以實(shí)現(xiàn)視覺導(dǎo)引或大范圍高精度圖像拼接。該項(xiàng)目從原理上拓展了激光多模式、變尺度跟蹤的實(shí)現(xiàn)方法，形成了復(fù)雜場(chǎng)合下大范圍高精度動(dòng)態(tài)目標(biāo)激光跟蹤的核心技術(shù)，在機(jī)器人動(dòng)態(tài)誤差測(cè)量、動(dòng)態(tài)成像檢測(cè)、空間激光通信以及軍事偵察等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。應(yīng)用范圍:該項(xiàng)目經(jīng)過幾年培育，截至2018年6月已生產(chǎn)多模式激光跟蹤系統(tǒng)樣機(jī)5臺(tái)套，主要應(yīng)用于中國科學(xué)院空間激光信息傳輸與探測(cè)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、同濟(jì)大學(xué)機(jī)械工程綜合實(shí)驗(yàn)中心等單位。 在自由空間激光通信、激光雷達(dá)、光纖光開關(guān)、激光指示器等領(lǐng)域中，可用于激光光束的轉(zhuǎn)向及指向穩(wěn)定調(diào)整。在空間觀測(cè)、偵察監(jiān)視、紅外對(duì)抗、搜索營救、顯微觀察、干涉測(cè)量、機(jī)器視覺等領(lǐng)域中，可用于改變成像視軸，擴(kuò)大搜索范圍或成像視場(chǎng)。國內(nèi)外對(duì)基于旋轉(zhuǎn)雙棱鏡的激光跟蹤理論研究集中在光束轉(zhuǎn)向機(jī)制、光束掃描模式、棱鏡回轉(zhuǎn)控制等方面。 產(chǎn)學(xué)研合作開發(fā)，意向合作單位：從事光電精密儀器開發(fā)的經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于激光跟蹤技術(shù)具有一定的技術(shù)積累，如ABB公司、Leica、西門子、新松機(jī)器人、沈陽機(jī)床廠、高?？蒲性核约皣绬挝坏?。項(xiàng)目階段:小試效益分析:本項(xiàng)目在多模式激光跟蹤方面形成的研究成果處于國際先進(jìn)水平，不僅能夠解決工業(yè)生產(chǎn)中對(duì)大范圍、高精度特征的測(cè)量需求，而且在多自由度特征信息提取以及智能化控制等領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊，在推動(dòng)激光跟蹤測(cè)量技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程、提高工業(yè)自動(dòng)化水平和人才培養(yǎng)等方面，具有巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

電路是以晶圓為載體，采用一定的工藝，把電路中的元器件和布線制作在晶圓片上，封裝為 一個(gè)整體，使晶圓上每個(gè)晶粒成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)。晶圓切割的過程是將集成有 電路的整片晶圓通過劃切分割成單個(gè)的晶粒，切割過程又是一種無法恢復(fù)的過程，因此，材料 和制造成本的積累以及工藝的不可重復(fù)性決定了切割工藝成為整個(gè)集成電路制造過程中最關(guān)鍵 和難度最大的工藝環(huán)節(jié)。 精密機(jī)械：可加工的晶圓最小直徑可達(dá)50mm，在晶圓里面印刷有晶格，每個(gè)晶格的寬度 為200μm，晶格間距約為20μm，所以設(shè)備的切割精度要求控制在2μm以內(nèi)，每小時(shí)切割15片。 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用高精度的直線電機(jī)平臺(tái)，定位精度為2μm，重復(fù)定位精度為1μm；旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的定 位精度為30″，重復(fù)定位精度為4″。 計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制：劃片機(jī)系統(tǒng)將根據(jù)客戶要求以及配合視覺檢測(cè)系統(tǒng)傳輸?shù)木A數(shù)據(jù)，自 動(dòng)生成切割路徑，在規(guī)定的工作時(shí)間內(nèi)完成晶圓的切割。

成果描述：本實(shí)用新型涉及激光制導(dǎo)技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種激光制導(dǎo)自準(zhǔn)直儀,包括自準(zhǔn)直儀測(cè)量部和導(dǎo)軌,自準(zhǔn)直儀測(cè)量部固定在導(dǎo)軌一端,導(dǎo)軌另一端滑動(dòng)連接有反光鏡,自準(zhǔn)直儀測(cè)量部通過調(diào)節(jié)裝置連接有物鏡,調(diào)節(jié)裝置包括第二滑軌和安裝板,第二滑軌為兩組,且分別固定在自準(zhǔn)直儀測(cè)量部端部兩側(cè),第二滑軌上滑動(dòng)連接有第二滑塊,安裝板固定在兩個(gè)第二滑塊之間,安裝板上設(shè)置有第三滑軌,第三滑軌上滑動(dòng)連接有第三滑塊,第三滑塊固定在物鏡一端；物鏡上端通過連接桿活動(dòng)連接有激光器,反光鏡頂端活動(dòng)連接有激光靶。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,能夠利用激光的直線性能很快的將反光鏡中心與物鏡中心對(duì)齊。市場(chǎng)前景分析：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,能夠利用激光的直線性能很快的將反光鏡中心與物鏡中心對(duì)齊。與同類成果相比的優(yōu)勢(shì)分析：國內(nèi)領(lǐng)先