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本發(fā)明公開了一種電場輔助的硅通孔刻蝕工藝，包括步驟：（1）在單晶硅片上旋涂光刻膠并通過光學(xué)光刻或電子束光刻得到光刻膠圖形 ；（ 2 ） 鍍 上 銀 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 電 場 之 中 ， 采 用 HF 、H₂O₂和去離子水的混合溶液作為刻蝕劑進行金屬催化刻蝕；（4）去除光刻膠；（5）去除單晶硅片上殘留的金屬膜并進行清洗處理。本發(fā)明通過在刻蝕過程中控制電場強度，由此形成從數(shù)十納米至數(shù)

項目研究背景及用途 ：有機硅改性雙馬來酰亞胺樹脂是一類高性能聚 合物材料，其熱穩(wěn)定性能和力學(xué)性能都比環(huán)氧樹脂優(yōu)越，因此含硅雙馬來 酰亞胺樹脂作為金屬替代物廣泛地用作制造壓縮機葉片、大型計算機部 件、印刷電路基板等，是目前最受青睞的高性能聚合物材料之一。 工藝流程 ：用催化方法先合成中間體 N-（4-羥基本基）馬來酰亞胺， 再合成含硅雙馬來酰亞胺齊聚物， 采用四種有機硅合成了四種含硅雙馬來

利用氯甲基二氯甲硅烷在低溫下與溴氟苯、金屬鎂反應(yīng)，制得雙（4-氟苯基）甲基氯代甲基硅烷，再在極性溶劑中與1,24-三唑鈉反應(yīng)，制得氟硅唑。 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、成果簡介 此產(chǎn)品可用于內(nèi)吸性殺菌，抑制甾醇脫甲基化，用于防治子囊菌綱，擔子菌綱和半知菌類真菌（如蘋果黑星菌、白粉病菌、禾谷類的麥類核腔菌、殼針孢屬菌、鉤絲殼菌等，球座菌及甜菜上的各種病原菌，花生葉斑病）。三唑類殺菌劑破壞和阻止麥角甾醇的生物合成，導(dǎo)致細胞膜不能形成，使病菌死亡，對子囊菌、擔子菌和半知菌所致病害有效，對卵菌無效，對梨黑星病有特效 項目特色： 利用氯甲基二氯甲硅烷在低溫下與溴氟苯、金屬鎂反應(yīng)，制得雙（4-氟苯基）甲基氯代甲基硅烷，再在極性溶劑中與1,24-三唑鈉反應(yīng)，制得氟硅唑。采用自主創(chuàng)新的催化劑使反應(yīng)可以采用較高沸點溶劑，不增加成本同時提高反應(yīng)效率，省略了原有工藝的萃取水洗過程，直接得到理想的第一步中間體，生產(chǎn)過程中原有工藝的每噸5噸廢水變?yōu)闆]有廢水，成為清潔生產(chǎn)工藝。第一步收效達到90%以上。 原有工藝中粗產(chǎn)物需要高真空、高溫、高塔板數(shù)的減壓精餾得到含量在95%以上最終產(chǎn)品，改進工藝后由于合成效率大幅度提高，粗產(chǎn)品略作簡單溶劑處理就達到95%以上的白色粉狀固體。

圖像傳感器，是一種常用的光電探測器件，它能將光子信號轉(zhuǎn)換成電子信號，被廣泛地應(yīng)用在高性能光譜儀、數(shù)碼相機以及其他的電子光學(xué)設(shè)備中。普通的CCD、CMOS硅基探測器能獲得高量子效率的光譜響應(yīng)范圍在400~900nm波段，在紫外波段，由于多晶硅柵的吸收系數(shù)很大，這就意味著紫外光子在極端淺（小于2nm）的表層被吸收，導(dǎo)致其在波長小于400nm的紫外波段量子效率（QE）極低。紫外量子效率低的缺陷限制了前照式硅基探測器在航空業(yè)、工業(yè)以及制造業(yè)等領(lǐng)域中的應(yīng)用。因此，研制寬波段硅基探測器件使其響應(yīng)范圍延伸到紫外和深紫外波段是國內(nèi)外紫外探測領(lǐng)域的迫切需要。

此產(chǎn)品可用于內(nèi)吸性殺菌，抑制甾醇脫甲基化，用于防治子囊菌綱，擔子菌綱和半知菌類真菌（如蘋果黑星菌、白粉病菌、禾谷類的麥類核腔菌、殼針孢屬菌、鉤絲殼菌等，球座菌及甜菜上的各種病原菌，花生葉斑病）。三唑類殺菌劑破壞和阻止麥角甾醇的生物合成，導(dǎo)致細胞膜不能形成，使病菌死亡，對子囊菌、擔子菌和半知菌所致病害有效，對卵菌無效，對梨黑星病有特效 項目特色： 利用氯甲基二氯甲硅烷在低溫下與溴氟苯、金屬鎂反應(yīng)，制得雙（4-氟苯基）甲基氯代甲基硅烷，再在極性溶劑中與 1,24-三唑鈉反應(yīng)，制得氟硅唑。采用自主創(chuàng)新的催化劑使反應(yīng)可以采用較高沸點溶劑，不增加成本同時提高反應(yīng)效率，省略了原有工藝的萃取水洗過程，直接得到理想的第一步中間體，生產(chǎn)過程中原有工藝的每噸 5 噸廢水變?yōu)闆]有廢水，成為清潔生產(chǎn)工藝。第一步收效達到 90%以上。 原有工藝中粗產(chǎn)物需要高真空、高溫、高塔板數(shù)的減壓精餾得到含量在 95%以上最終產(chǎn)品，改進工藝后由于合成效率大幅度提高，粗產(chǎn)品略作簡單溶劑處理就達到 95%以上的白色粉狀固體。 市場應(yīng)用前景： 目前國內(nèi)只有 3 家生產(chǎn)，市場處于不飽和狀態(tài)，2010 年一度出現(xiàn)供不應(yīng)求局面，原料成本在每噸 15 萬左右，生產(chǎn)成本在每噸 17 萬左右，市場售價在每噸 30 萬左右，具有良好的利潤空間。年產(chǎn)百噸可獲得 800-1000 萬稅前利潤。

本發(fā)明一種方鈷礦系熱電材料的合成方法采用鈷、銻、鐵、鎳、錫的氯化鹽或硝酸 鹽作原料，在內(nèi)襯聚四氟乙烯的高壓釜中于 140-190o C 進行反應(yīng)，經(jīng)過濾洗滌后進行熱 處理最終制得所需產(chǎn)物，因此本發(fā)明方法具有原料便宜易得、設(shè)備簡單、合成溫度低、 工藝簡單易于實現(xiàn)控制、產(chǎn)物粒度細、純度高等優(yōu)點。為制備高效熱電轉(zhuǎn)換器件提供優(yōu) 質(zhì)材料。

本發(fā)明公開了一種具有優(yōu)良磁性能的FeTbBSi系非晶合金及其制備方法。 該系非晶合金的化學(xué)分子式為Fe100-x-y-zTbxBySiz，其中x、y和z分別為Tb元素、 B元素和Si元素的原子百分數(shù)，100-x-y-z為Fe元素的原子百分數(shù)，1≤x≤25， 20≤y≤25，0≤z≤10。該合金的制備方法如下：將工業(yè)純金屬原料以及FeB合 金按合金配方配料，采用磁懸浮感應(yīng)熔煉成母合金，然后用單輥甩帶法制得非 晶薄帶。本發(fā)明鐵基非晶合金具有高的磁致伸縮系數(shù)，軟磁性能優(yōu)良，同時成 分簡單，并擁有良好非晶形成能力。本發(fā)明的FeTbBSi系非晶合金可以廣泛應(yīng) 用于結(jié)構(gòu)材料和軟磁材料等方面。

 主要從事蒸發(fā)過程及設(shè)備、工業(yè)廢水的綜合治理、化工設(shè)備設(shè)計等方面研究開發(fā)與推廣。完成開發(fā)、設(shè)計的降膜蒸發(fā)器、L型蒸發(fā)器、強制循環(huán)蒸發(fā)器、自然循環(huán)蒸發(fā)器、真空閃蒸結(jié)晶器、多效蒸發(fā)裝置、含氯化銨廢液的蒸發(fā)回收技術(shù)、制堿母液的綜合回收處理技術(shù)等已成功應(yīng)用于全國幾十家企業(yè)的蒸發(fā)系統(tǒng)中，取得了明顯的經(jīng)濟效益和社會效益。是《化學(xué)工程手冊》、《石油化工設(shè)計手冊》等蒸發(fā)篇的編寫單位。一、含氯化銨廢液的綜合處理技術(shù)（發(fā)明專利：ZL 99 1 00015.3）1、技術(shù)特點該技術(shù)是一種對含氯化銨工業(yè)廢水綜合治理并從廢水中回收氯化銨的工藝，具有以下技術(shù)特點：  (1)利用多效蒸發(fā)工藝使二次蒸汽得到多次利用，因而降低了生蒸汽的消耗，降低廢水治理及回收產(chǎn)品的成本。  (2)使用熱泵蒸發(fā)技術(shù)，將低品位能源，通過熱泵后變?yōu)楦咂肺荒茉矗妮^小的動力，得到較大的二次能源，從而降低了工藝成本。  (3) 采用低溫蒸發(fā)路線，使蒸發(fā)系統(tǒng)全部或部分為真空蒸發(fā)，采用真空蒸發(fā)的目的是保證設(shè)備不被腐蝕，一般設(shè)備使用壽命在10年以上。設(shè)備折舊費的減小，使得廢水治理和回收產(chǎn)品的成本降低。(4) 采用常溫結(jié)晶工藝路線，使蒸發(fā)后廢液直接進入結(jié)晶器。采用直接結(jié)晶省去能耗較大的低溫冷卻系統(tǒng)系統(tǒng)，便于節(jié)約一次能源。(5) 本項技術(shù)不產(chǎn)生二次污染。工藝過程的產(chǎn)物，一是固體氯化銨產(chǎn)品，一是蒸發(fā)冷凝水，可達標排放。工藝中冷卻水閉路循環(huán)使用。(6) 本技術(shù)使用降膜蒸發(fā)器，在蒸發(fā)器外設(shè)置兩個小流量的循環(huán)泵，開一備一，保證降膜蒸發(fā)器生產(chǎn)中不停機，另外本技術(shù)使蒸發(fā)系統(tǒng)中的溶液不達到飽和，因而蒸發(fā)器中沒有結(jié)晶析出，產(chǎn)生垢層機會少，使得清洗蒸發(fā)器周期延長，開工率較高。小流量的循環(huán)泵，耗電量較少。目前本項技術(shù)不僅解決了含氯化銨工業(yè)廢水對環(huán)境的污染，而且有較高的經(jīng)濟效益。本工藝技術(shù)目前已在河北、浙江、山東、河南、天津、內(nèi)蒙、廣東等省推廣應(yīng)用，直接經(jīng)濟效益好，環(huán)保效益巨大。且本項目所研究開發(fā)的廢水治理工藝，也可在其它工業(yè)廢水的綜合治理中推廣應(yīng)用。2、應(yīng)用實例：浙江大洋化工有限公司，該企業(yè)生產(chǎn)主產(chǎn)品為碳酸鉀，副產(chǎn)品為含氯化銨溶液，處理能力為12噸/小時，其中含有氯化銨10%，蒸汽消耗量為0.4噸蒸汽/噸水。項目廠家列表如下：企業(yè)名稱 項目名稱 時間河北眺山實業(yè)有限責任公司(原河北省眺山化工廠) 氯化銨廢水蒸發(fā)一期、二期工程 2001年河北眺山實業(yè)有限責任公司(原河北省眺山化工廠) 氯化銨廢水蒸發(fā)二期擴建工程 2004年浙江大洋化工股份有限公司 碳酸氫鉀與氯化銨蒸發(fā)工程 2001年山東兗礦魯南化肥廠 氯化銨蒸發(fā) 2002年內(nèi)蒙古和發(fā)稀土科技開發(fā)股份有限公司 稀土冶金中氯化銨廢水處理工程 2003年浙江省常山化工有限責任公司 氯化銨蒸發(fā) 2004年深圳環(huán)保垃圾處理站 氯化銨蒸發(fā) 2006年濟源市大洋化工有限公司 氯化銨蒸發(fā) 2005年鄭州方泰化工有限責任公司 氯化銨蒸發(fā) 2004年青海鹽湖元通鉀肥有限公司 硝酸鉀與氯化銨蒸發(fā)工程 2007年山西文通鹽橋復(fù)合肥有限公司 碳酸鉀與氯化銨蒸發(fā)工程 2008年天津北方食品有限公司 硫酸銨廢水蒸發(fā)處理工程 2008年廣州正川環(huán)保工程技術(shù)有限公司 氯化銨三效蒸發(fā)工程 2009年3、現(xiàn)場圖片 天津北方食品有限公司 三效蒸發(fā)現(xiàn)場 浙江大洋化工股份有限公司 蒸發(fā)現(xiàn)場二、制堿母液綜合處理技術(shù)（發(fā)明專利：ZL 2009 1 0068695.6）1、技術(shù)特點：制堿母液為含氯化銨、氯化鈉、碳酸氫根的廢水，綜合治理采用蒸氨、蒸發(fā)、結(jié)晶及分離工藝處理。蒸發(fā)采用多效、熱泵、真空蒸發(fā)工藝，選用降膜蒸發(fā)器及強制循環(huán)蒸發(fā)器，三效混流流程，蒸發(fā)過程中結(jié)晶析出氯化鈉，蒸發(fā)后再冷卻結(jié)晶析出氯化銨。本技術(shù)有效降低了設(shè)備操作溫度，二次蒸汽和冷凝水可重復(fù)使用，減小了氯化銨溶液對設(shè)備的腐蝕，節(jié)約能源，降低成本，提高了生產(chǎn)效率，減少環(huán)境污染，該技術(shù)已成功應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)。該技術(shù)解決了純堿工業(yè)中多年來一直未能很好解決的熱法氯化銨生產(chǎn)難題。2、應(yīng)用實例：衡陽裕華化工實業(yè)有限公司，是專門生產(chǎn)小蘇打、工業(yè)鹽和農(nóng)業(yè)氯化銨的高新民營企業(yè)。處理量：600噸/天，回收氯化銨100噸，32噸氯化銨，12%的氨水40噸，蒸汽消耗量為0.45噸蒸汽/噸水。唐山三友化工股份有限公司-氨堿法純堿生產(chǎn)中濾后母液濃縮排鹽處理工程，該項目處于建設(shè)階段，近期開車運行。該項目處理能力為每小時160噸，其中蒸水量為80噸/小時，回收氯化納3噸/小時，蒸汽消耗為生蒸汽消耗20噸，廢熱蒸汽40噸。該項目為技改項目，解決了原主工藝中氯化鈣處理中蒸發(fā)能耗高的問題。3、現(xiàn)場圖片衡陽裕華化工實業(yè)有限公司 蒸發(fā)現(xiàn)場聯(lián)系人：史曉平 13323307376 E-mail：xpshi@hebut.edu.cn    胡柏松 13752262297 E-mail：hubaisong@163.com

一、項目簡介本磷化液使用范圍寬，性能穩(wěn)定，處理面積大，沉渣少，成本低廉。磷化速度快，液體的使用壽命長。磷化膜分布均勻，色澤一致，膜層致密，光亮，磷化膜與基體的結(jié)合力強，可顯著增強鋼鐵表面的耐蝕性。廣泛用于螺絲、螺栓、螺帽、等鋼鐵材料的防腐。鹽霧試驗合格。可以不用硝酸配置，安全性好。二、市場前景成本低廉，操作方便，市場廣闊。三、規(guī)模與投資根據(jù)市場需求，包括磷化設(shè)備最大不超過1萬元。四、生產(chǎn)設(shè)備塑料、陶瓷或不銹鋼容器。五、效益分析噸成本約1700元，售價約2600元。六、合作方式配方出售，教授配制和磷化方法，或提供磷化液。

一、項目簡介鋅系磷化所生成的磷化膜的主要成分為磷酸鋅Zn3(PO4)2?4H2O、磷酸鐵鋅Zn2Fe(PO4)2?4H2O。本磷化液適合與各種鋼鐵材料，性能穩(wěn)定，處理面積大，沉渣少，成本低廉。磷化速度快，液體的使用壽命長。磷化分布均勻，顯著增強鋼鐵表面的粗糙度和耐蝕性。減小拉拔摩擦力，廣泛用于鋼鐵材料冷加工（拉拔）。可以不用硝酸配置，安全性好。二、市場前景成本低廉，操作方便，市場廣闊。三、規(guī)模與投資根據(jù)市場需求，包括磷化設(shè)備最大不超過1萬元。四、生產(chǎn)設(shè)備塑料、陶瓷或不銹鋼容器。五、效益分析噸成本約1700元，售價約2600元。六、合作方式配方出售，教授配制和磷化方法，或提供磷化液。