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本發(fā)明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進(jìn)行深感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應(yīng)耦合等離子體機(jī)內(nèi)，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環(huán)加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強(qiáng)度逐漸增強(qiáng)。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中側(cè)壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實(shí)現(xiàn)的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側(cè)壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。

晶硅太陽電池生產(chǎn)仿真實(shí)訓(xùn)讓學(xué)員以車間技術(shù)人員的身份參與整條晶硅太陽電池產(chǎn)線的生產(chǎn)工作。學(xué)員可以按標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)流程操作車間生產(chǎn)設(shè)備、檢測生產(chǎn)樣品以及對電池生產(chǎn)進(jìn)行工藝仿真，從而深刻了解整個太陽電池生產(chǎn)流程以及關(guān)鍵工藝參數(shù)。 一.1.1. 場景設(shè)計 場景由制絨車間、擴(kuò)散車間、后清洗車間、PECVD鍍膜車間、絲網(wǎng)印刷車間和分選包裝車間六大場景組成。場景素材從多個真實(shí)工廠采集而來，高保真還原車間設(shè)備與生產(chǎn)流程 場景模型主要包括：潔凈車間、制絨機(jī)、自動上下料機(jī)、硅片、電子天平、分光光度計、電源柜、水冷機(jī)、空壓機(jī)、化學(xué)液柜、電腦，鍵盤、鼠標(biāo)、擴(kuò)散爐、石英舟、插片房、傳遞窗、純水箱、石英舟清洗槽、防毒面具、試驗臺、緩沖墊、防化服、源瓶、氣柜、硅槳、方阻測試儀，萬用表，石墨舟、PECVD鍍膜機(jī)、舟車、烘箱、全自動絲網(wǎng)印刷機(jī)、網(wǎng)版、刮刀、攪拌機(jī)、槳料、夾具、接觸電阻測試儀、燒結(jié)爐、IV分選儀、硅片盒、五格花藍(lán)等... 一.1.2. 互動設(shè)計 第一人稱視角控制主角場景漫游，學(xué)員可以在三維空間中自由活動和觀察場景中的物體。 拾取物體操作采用3D空間實(shí)際抓取的方式，沒有采用一般游戲中的背包欄方式，而當(dāng)需要同時拾取多個物體時則提供3維工具用于裝放，采取這種方式會更加接近現(xiàn)實(shí)，使學(xué)員更真實(shí)的體驗實(shí)際工具的存放及使用的技巧。 各生產(chǎn)車間按照真實(shí)生產(chǎn)流程設(shè)計實(shí)訓(xùn)生產(chǎn)任務(wù)，完成當(dāng)前任務(wù)后才能進(jìn)入下一個任務(wù)，每個任務(wù)記錄完成時間以及工藝仿真結(jié)果 縮略地圖實(shí)時顯示角色位置與任務(wù)點(diǎn)位置 第一人稱視角與特寫觀察視角無縫平滑撤換 機(jī)器與設(shè)置仿真控制，通過機(jī)器控制面板設(shè)置工藝參數(shù)，控制啟動生產(chǎn)，檢測生產(chǎn)結(jié)果 表單填寫與作業(yè)報告生成 使用儀器與設(shè)備檢測生產(chǎn)樣品 操作規(guī)程與關(guān)鍵知識點(diǎn)主動提示學(xué)習(xí) 原理動畫演示

濟(jì)南金威刻科技發(fā)展有限公司創(chuàng)建于2004年，是目前中國綜合實(shí)力最強(qiáng)的激光設(shè)備制造企業(yè)之一。公司位于濟(jì)南高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，占地面積26000平方米。公司現(xiàn)有員工150余人，年產(chǎn)能達(dá)3000余臺。2013年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入9000萬元。 金威刻是一家專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售光、機(jī)、電一體化設(shè)備的高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有一批頂尖的激光科技人才，建立了覆蓋中國、輻射全球的銷售體系，主營產(chǎn)品包括：激光雕刻機(jī)系列、激光切割機(jī)系列、激光打標(biāo)機(jī)系列、木工機(jī)系列等四大系列。金威刻設(shè)備廣泛應(yīng)用于廣告行業(yè)、工藝禮品、服裝服飾、建筑建材、木工行業(yè)、包裝印刷、電子電路、儀器儀表、精密器械、汽車配件、首飾飾品等行業(yè)。 公司擁有現(xiàn)代化的企業(yè)技術(shù)中心及頂尖的科學(xué)技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊，確保企業(yè)技術(shù)水平緊跟世界前沿。依托領(lǐng)先的研發(fā)平臺，公司獲得了產(chǎn)品和技術(shù)授權(quán)專利18項、3個技術(shù)創(chuàng)新項目榮獲新產(chǎn)品及科技成果鑒定證書、金威刻激光設(shè)備榮獲濟(jì)南市自主創(chuàng)新產(chǎn)品；公司榮獲濟(jì)南市守合同重信用企業(yè)、市級“一企一技術(shù)”創(chuàng)新企業(yè)、CSA中國廣告設(shè)備器材價值榜•行業(yè)新銳獎、中國機(jī)電產(chǎn)品進(jìn)出口商會會員。 金威刻公司頒布并實(shí)施了激光雕刻機(jī)、激光切割機(jī)企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，在國內(nèi)同行業(yè)率先通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證，金威刻激光設(shè)備獲得了歐盟CE認(rèn)證和美國FDA認(rèn)證，遠(yuǎn)銷美國、加拿大、澳大利亞、歐洲、東南亞、非洲等80多個國家和地區(qū)，且公司為十多個品牌提供OEM代工生產(chǎn)服務(wù)。 金威刻秉承“以質(zhì)量求生存，以科技求發(fā)展，以創(chuàng)新求進(jìn)步，以服務(wù)求市場”的經(jīng)營理念，憑借先進(jìn)的技術(shù)，致力于向全球用戶提供全面的激光應(yīng)用解決方案。金威刻愿與您共同推進(jìn)民族激光事業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。

本發(fā)明屬于機(jī)械泵領(lǐng)域，并公開了一種刻槽軸承動壓懸浮機(jī)械泵，包括蝸殼、上端蓋、葉輪、無刷電機(jī)、防水套筒和水潤滑螺旋槽推力軸承，所述蝸殼上設(shè)置有進(jìn)水通道和出水通道；所述無刷電機(jī)包括電機(jī)外殼、硅鋼片、線圈、磁鋼轉(zhuǎn)子、防水套筒、轉(zhuǎn)子套筒和轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)軸；所述磁鋼轉(zhuǎn)子的上方和下方分別設(shè)置一組所述水潤滑螺旋槽推力軸承，每組所述水潤滑螺旋槽推力軸承均包括靜環(huán)和帶有螺旋槽的動環(huán)。本機(jī)械泵工作時，液體通過上端蓋的中間進(jìn)水孔，進(jìn)入到電機(jī)

深地空間艙，屬于深地科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。應(yīng)用于地球表面下方，包括空間艙本體，空間艙本體上設(shè)置有應(yīng)變監(jiān)測器、應(yīng)力監(jiān)測器及通風(fēng)系統(tǒng)，空間艙本體內(nèi)設(shè)置有緊急避難所、公共活動空間、應(yīng)急能源供應(yīng)室及數(shù)據(jù)處理分析中心，數(shù)據(jù)處理分析中心中設(shè)置有相連接的數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，空間艙本體還設(shè)有與地球表面外部相連通的通道，所述通道設(shè)置有屏蔽門，還包括通過巷道與空間艙本體相連通的研究室，巷道上分別相對設(shè)置有應(yīng)變監(jiān)測器及應(yīng)力監(jiān)測器，所述應(yīng)變監(jiān)測器、應(yīng)力監(jiān)測器分別與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相連。本實(shí)用新型適用于深地研究。

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造中的套刻誤差測量領(lǐng)域，具體涉及一種基于穆勒矩陣的納米結(jié)構(gòu)套刻誤差提取方法。本發(fā)明采用穆勒矩陣矩陣對角線上的 M13 和 M31 元素，或者 M23 和 M32 元素的線性組合分別直接擬合得到一條直線，利用該擬合直線可直接根據(jù)測量穆勒矩陣元素得到套刻誤差。該方法可以實(shí)現(xiàn)不同周期下一維套刻結(jié)構(gòu)套刻誤差的快速、準(zhǔn)確提取。本發(fā)明方法可以實(shí)現(xiàn)一維套刻結(jié)構(gòu)的套刻誤差的快速、準(zhǔn)確提取。

硅PU球場材料。是一種具有多功能運(yùn)動性和施工優(yōu)勢的國家專利球場材料。 作為一種體育設(shè)施場地地面材料，有良好的緩沖性和延展性，粘結(jié)力量，對基礎(chǔ)有一定的治愈功能，能夠自動找平，施工簡單，抗老化性能優(yōu)秀，施工后化學(xué)性能穩(wěn)定，不易產(chǎn)生氣泡，且不會出現(xiàn)開裂和鼓泡現(xiàn)象。同時擁有常規(guī)PU與丙烯酸的優(yōu)良特性。是場地工程的最佳選擇。

深冷高壓儲氫技術(shù)，可以達(dá)到深冷高壓能耗降低一半，儲氫密度最高，無氫氣蒸發(fā)損耗，氫氣加注速度數(shù)倍于高壓氫氣、系統(tǒng)體積最小的目的。深冷高壓儲氫在小容量儲運(yùn)容器上具有顯著的優(yōu)勢。 重卡車載儲氫領(lǐng)域、路基分布式儲氫基站、特種車輛儲氫領(lǐng)域。 最佳有效體積儲氫密度: 67g/L; 高續(xù)航里程、動力總成的重量和成本能與柴油車匹敵; 小容積(<500L)高儲氫量的發(fā)展趨勢； 深冷高壓加氫站加注速度快、能耗和碳排放低以及安全性高。