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用于浸沒(méi)式光刻的浸液溫控裝置
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于浸沒(méi)式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，包括：用 于浸液流動(dòng)的浸液管路，待溫控的浸液通過(guò)一管路進(jìn)口進(jìn)入該浸液管 路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過(guò)該浸液管路的出口輸出； 用于對(duì)所述浸液進(jìn)行冷卻的工藝?yán)鋮s液回路，工藝?yán)鋮s液在該回路中 循環(huán)流動(dòng)；以及多個(gè)熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工藝?yán)鋮s水回路同時(shí)流經(jīng)每個(gè)熱交換器，并利用各熱交換器分別依次 完成工藝?yán)鋮s液和浸液之間的熱交換，從而通過(guò)多次換熱獲得具有穩(wěn) 定溫度的浸液，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置系統(tǒng)采用內(nèi)部 回流結(jié)構(gòu)與多級(jí)熱交換器相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液溫度的多級(jí)控制，可以 實(shí)現(xiàn)浸沒(méi)光刻中對(duì)浸液穩(wěn)定的精確穩(wěn)定的控制，提供溫控效率。
華中科技大學(xué)
2021-04-11
用于浸沒(méi)式光刻的浸液溫控裝置
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于浸沒(méi)式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，包括：用于浸液流動(dòng)的浸液管路，待溫控的浸液通過(guò)一管路進(jìn)口進(jìn)入該浸液管路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過(guò)該浸液管路的出口輸出；用于對(duì)所述浸液進(jìn)行冷卻的工藝?yán)鋮s液回路，工藝?yán)鋮s液在該回路中循環(huán)流動(dòng)；以及多個(gè)熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝?yán)鋮s水回路同時(shí)流經(jīng)每個(gè)熱交換器，并利用各熱交換器分別依次完成工藝?yán)鋮s液和浸液之間的熱交換，從而通過(guò)多次換熱獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置系統(tǒng)采用內(nèi)部回流結(jié)構(gòu)與多級(jí)熱交換器相結(jié)合，
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種用于浸沒(méi)式光刻的浸液溫控系統(tǒng)
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于浸沒(méi)式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，通過(guò)其獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，以用于浸沒(méi)式光刻工藝中，其特征在于，該溫控系統(tǒng)包括：用于浸液流動(dòng)的浸液管路，待溫控的浸液通過(guò)管路進(jìn)口進(jìn)入該浸液管路，溫控后的浸液通過(guò)該浸液管路出口輸出；用于對(duì)所述浸液進(jìn)行冷卻的工藝?yán)鋮s液回路，工藝?yán)鋮s液在該回路中循環(huán)流動(dòng)；以及熱交換器（6），所述浸液管路和工藝?yán)鋮s液回路同時(shí)流經(jīng)該熱交換（6），利用該熱交換器（6）完成工藝?yán)鋮s液和浸液的熱交換，獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置采用內(nèi)部回流結(jié)構(gòu)與熱交換器
華中科技大學(xué)
2021-04-14
太陽(yáng)系模型
450mm×250mm×300mm，八大行星模型，大致區(qū)分大小（直徑），有公轉(zhuǎn)軌道，可手動(dòng)操作。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
空調(diào)網(wǎng)關(guān)（一控一）
本產(chǎn)品可將多聯(lián)式或單元式空調(diào)連接至智能家居集中控制系統(tǒng)或BMS系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)智能化監(jiān)控與控制。
本產(chǎn)品需連接至空調(diào)室內(nèi)機(jī)，一個(gè)室內(nèi)機(jī)連接一臺(tái)本設(shè)備。
浙江瑞瀛物聯(lián)科技有限公司
2024-12-30
空調(diào)網(wǎng)關(guān)（一控多）
本產(chǎn)品可將多聯(lián)式空調(diào)連接至智能家居系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)智能化監(jiān)控與控制。
浙江瑞瀛物聯(lián)科技有限公司
2024-12-30
精確控制浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液溫度的裝置及其溫控方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種精確控制浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級(jí)熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進(jìn)行熱交換，實(shí)現(xiàn)浸液溫度的初級(jí)調(diào)控；次級(jí)熱交換器，其浸液入口與初級(jí)熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進(jìn)行再次熱交換，實(shí)現(xiàn)浸液溫度的次級(jí)調(diào)控；流量伺服閥，其入口與初級(jí)熱交換器浸液出口連通，與次級(jí)熱交換器形成并聯(lián)，用于調(diào)節(jié)進(jìn)入次級(jí)熱交換器的浸液流量。通過(guò)協(xié)調(diào)控制進(jìn)入初級(jí)熱交換器和次級(jí)熱交換器的冷媒流量，并結(jié)合流量伺服閥對(duì)進(jìn)入次級(jí)熱交換器的浸液流量的調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液溫度的兩級(jí)調(diào)控，從而獲得溫
華中科技大學(xué)
2021-04-14
溴系阻燃劑
山東兄弟科技股份有限公司
2021-08-31
54403太陽(yáng)系圖書(shū)
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
太陽(yáng)系演示儀
主要用于天文普及教學(xué)，能演示太陽(yáng)系中太陽(yáng)和九大行星等主要天體的相對(duì)位置、大小以及太陽(yáng)系的結(jié)構(gòu)關(guān)系。
蘇州育龍科教設(shè)備有限公司
2021-08-23