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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
一種在微流控芯片中同時利用抗原抗體特異性識別和 細胞尺寸差別分選腫瘤細胞的方法
本發明公開了一種在微流控芯片中同時利用抗原抗體特異性識別和細胞尺寸差別分選腫瘤細胞的 方法。本發明方法包括如下步驟:先在二氧化硅微球表面包裹一層明膠，再修飾上 anti-EpCAM，然后 與含有腫瘤細胞的樣品混合孵育，孵育后的混合樣品通過可進行尺寸分選的微流控芯片分選收集后，用 明膠酶降解二氧化硅球表面的明膠即可釋放收集的腫瘤細胞。本發明通過抗原抗體特異性識別選擇性的 擴大了吸附腫瘤細胞的微球與其他細胞的尺寸差別，分選效率及純度更高，并且分選出來的腫瘤細胞能 夠被釋放及培養，活性不受影響。
武漢大學
2021-04-14
用于微納操作的微運動平臺設計與控制
主要技術要點（創新點） ：? 設計一種基于柔順機構仿生物尺蠖運動規律設計的微動機器人。? 設計了一種能夾持不同大小和形狀不規則物體的新型空間微夾持器。? 針對微夾持器在夾持微小物體過程中的粘著問題，提出了一種基于壓電振動控制的釋放操作方法。項目背景：該成果來源于胡俊峰副教授主持的國家自然科學基金項目《基于柔順機構的智能微操作機器人動力學與控制研究》。微操作機器人廣泛應用于微機電系統、生物醫學、航空航天等前沿領域。成果主要研究微操作機器人的力學建模、設計和控制。
江西理工大學
2021-05-04
北創微信圖書館 微信小程序
產品詳細介紹
北創微信圖書館
查詢、借閱、豐富的互動功能
多元化的查詢功能
可根據關鍵字、時間段來查詢圖書、期刊的館藏信息，一鍵登錄查詢讀者的個人借閱圖書情況、圖書館公告信息。
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南昌北創科技發展有限公司
2021-08-23
一種基于微流體技術的非侵入式眼壓檢測傳感器
本發明公開了一種基于微流體技術的非侵入式眼壓檢測傳感器， 包括角膜接觸鏡、螺旋電感、邊緣電容和內圈電容，其中，角膜接觸 鏡內部設置有腔體和微流體通道;腔體與微流體通道相連通，用于存放流體，并向該微流體通道內輸送流體;該微流體通道內輸送的流體 的量受眼壓影響，內圈電容的電容值隨該微流體通道內輸送的流體的 量的變化而變化;通過邊緣電容、螺旋電感和內圈電容構成的 CLC 回 路，實現對眼壓的檢測。本發明中的眼壓檢測傳感器能夠有效解決眼 壓傳感器不便于夜間監測的問題，實現高精度的、24&
華中科技大學
2021-04-14
球形微丸造粒機
醫藥工業的片劑將更新換代為具有緩釋、控釋功能的制劑。為了能夠包衣，需要開發以工業方法制備的大小均一、圓球度好的球形芯丸。化工行業的催化劑、分子篩等產品也都需要制備成球形顆粒。球形顆粒的表面積最大，其充填密度最高。顆粒產品取代粉體產品，將改善后續操作中粉體流動性，減少環境污染，提高利用率。在所有的造粒方法中，球形顆粒的質量最好，球形顆粒的商品外觀質量也最好。由華東理工大學發明的球形微丸造粒機創造性地應用了五種科學原理：塑性造粒原理、最小勢能原理、三維隨機原理、多種力相互作用原理和流化床與機械法相結合的原理，采用該設備制造的產品成品率高，以醫藥輔料微晶纖維素作為原料造粒為例，成品率可達90%以上，球粒大小均勻，不需篩選。同時球形造粒能夠十分快速地進行，效率高，一批料只需?分鐘。設備操作簡單，無易損件，設備使用壽命長。該設備獲國家實用新型專利。專利號：ZL99239875.4。2003年3月獲“第十二屆全國星火杯創造發明競賽一等獎，2002年10月獲上海市優秀發明一等獎。2003年3月獲上海市科技進步二等獎。
華東理工大學
2021-04-11
可控微球制劑
項目簡介本課題采用可生物降解的海藻酸鈉作為載藥材料，發明一種載藥緩釋系統，充分發揮海藻酸鈉自膨脹、緩慢降解特性，維持局部血藥濃度，從而達到最佳治療效 果。在血管栓塞治療中，與傳統的栓塞劑碘油相比，維持藥效時間更長，栓塞確切有效。海藻酸鈉微球具有生物可降解性和組織相容性，其安全、無毒、降解周期可控、無長期異物刺激以及介入部位疼痛輕微或無疼痛感等特點。該產品的顆粒表面帶有一定的負電荷，使顆粒之間相斥，在儲存和使用中不凝聚、不堵管，在體內膨脹并嵌頓在使用部位，定位性更好。為今后研究開發生物“多功能微球”創造了良好的平臺。以可生物降解的海藻酸鈉為主要材料包裹臨床一線使用的抗癌藥物多柔比星或柔紅霉素，通過不同的裝載藥物的方法的對比，尋找出了最佳方法和條件，制備了具有緩釋功能的多柔比星－海藻酸鈉微球、柔紅霉素－海藻酸鈉微球。粒徑和降解時間可控可調，藥物/載體比高于50%，包封率最高達到 99.5%。項目團隊 齊憲榮教授現任北京大學藥學院教授、博士生導師、北京市藥學會藥劑專業委員會委員、中國藥學會藥劑專業委員會委員、藥物技術創新服務專業委員會副主任委員等。齊憲榮教授擔任國家“外專千人”和“高端人才”計劃評審專家，國家重點新產品計劃評審專家，國家自然科學基金、博士后科學基金、北京市自然科學基金、北京市中小企業創新基金、 北京市企業研究開發項目等評審專家。 齊憲榮教授主要研究方向為靶向遞送系統、納米技術與生物技術的研究。作為第一完成人，齊憲榮教授獲 2001 年度北京市科技進步獎；作為主要完成人，獲得教育部自然科學獎、中國中西醫結合學會科學技術一等獎等多項獎勵。應用范圍 本研究以海藻酸鈉微球為平臺，可通過介入治療學方法，治療肝癌、腎癌等實體腫瘤，也可用于植入給藥或腫瘤瘤周注射等治療惡性腫瘤。項目階段 臨床前研究。知識產權已經獲得相關專利授權。合作方式 技術轉讓。
北京大學
2021-04-11
鼻腔微創支架
鼻腔微創支架是劉俊秀教授的科研成果，包括鼻腔支架、鼻前庭支架及后鼻孔支架，是放置于鼻腔，用于鼻術后鼻腔填塞，用于替代手術治療鼻堵的保守微創方法。在改善鼻阻塞、治療阻塞性睡眠呼吸暫停低通氣綜合癥方面具有良好的效果。
北京大學
2021-02-01
可控微球制劑
本課題采用可生物降解的海藻酸鈉作為載藥材料，發明一種載藥緩釋系統，充分發揮海藻酸鈉自膨脹、緩慢降解特性，維持局部血藥濃度，從而達到最佳治療效 果。在血管栓塞治療中，與傳統的栓塞劑碘油相比，維持藥效時間更長，栓塞確切有效。 海藻酸鈉微球具有生物可降解性和組織相容性，其安全、無毒、降解周期可控、無長期異物刺激以及介入部位疼痛輕微或無疼痛感等特點。該產品的顆粒表面帶有一定的負電荷，使顆粒之間相斥，在儲存和使用中不凝聚、不堵管，在體內膨脹并嵌頓在使用部位，定位性更好。為今后研究開發生物“多功能微球”創造了良好的平臺。 以可生物降解的海藻酸鈉為主要材料包裹臨床一線使用的抗癌藥物多柔比星或柔紅霉素，通過不同的裝載藥物的方法的對比，尋找出了最佳方法和條件，制備了具有緩釋功能的多柔比星－海藻酸鈉微球、柔紅霉素－海藻酸鈉微球。粒徑和降解時間可控可調，藥物/載體比高于50%，包封率最高達到99.5%。
北京大學
2021-02-01
GaN微顯示技術
北京工業大學
2021-04-14