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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
回旋行波管耦合輸入結構
該發明提供一種回旋行波管耦合輸入結構，用于解決傳統結構插入損耗大的問題，該結構包括圓波導及垂直加載于圓波導的矩形波導，所述圓波導的電子注輸入段設置有一個以上矩形凹槽，所述矩形凹槽位于耦合輸入結構的對稱面上。與矩形波導的截面中心距離為（1/2+n)λ、n為正整數，其中λ為圓波導中心頻點TE11模的波長；所述矩形凹槽的長、寬由對應的工作頻段與耦合量決定，深度為1/8λ´-3/8λ´、其中λ´為矩形凹槽對應尺寸的矩形波導的TE10模的波長。該發明有效減小輸入電池波的插入損耗，且通過增加矩形槽的數量和調節矩形槽的結構參數，能夠工作于不同需要的寬頻帶范圍；結構簡單、加工方便。
電子科技大學
2021-02-01
智慧城市管廊檢測項目
產品服務:項目主要是針對現有的二級三級城市地級市等城市的城市交通管廊檢測，目前我們已經在談的是整個東莞市區的城市污水管廊和電力管廊，和東莞市水務集團下屬的管廊管理公司簽訂了戰略合作，幫助他們對整個東莞市的污水管道進行基礎檢測，信息編碼登記，污水處理，污泥和固廢燒制成石膏或者水泥。整體來說每年的營業收入在1.5億人民幣到2億人民幣。盈利模式包括：檢測，疏通，維護，修復，等。目前預計2020年11月份完成一公里左右的檢測和修復，同時完成10個智能井蓋的更換和檢測。針對此項目的發展規劃是依托同濟大學電子信息與工程學院的技術支持，社會上尋求施工團隊和資質擁有方合作，每年持續的接東莞的項目和整個東莞市智慧管廊的信息化建設。 商業模式:盈利模式包括：檢測，疏通，維護，修復，等。
同濟大學
2021-04-10
多功能射流清管器
本發明涉及一種輸油管道清管器，尤其是一種多功能射流清管器，其包括同軸線安裝的推進裝置、檢測裝置與射流除垢裝置，所述推進裝置的主體為推進腔，包括大口徑的輸入腔、口徑逐漸變小的錐狀腔以及小口徑的輸出腔，所述檢測裝置包括流體腔和由無損檢測探頭、位移傳感器和數據存儲器組成的檢測模塊構成，所述射流除垢裝置包括呈喇叭狀的射流腔體與射流噴嘴。本發明利用高壓射流除垢原理，除垢效率高，同時可進行除垢效果檢測和管壁缺陷檢測，使得管道清洗作業與檢測作業合二為一，作業效率高。
浙江大學
2021-04-11
器官獲取用膽道灌注管
本實用新型專利屬于醫療器械技術領域，具體公開了一種膽道灌注管，全長 2 0 0 . 0～ 2 2 0 . 0 cm，包 括灌注管本體，沿著灌注管本體的一端到另一端分別設有灌注液接頭、流速顯示管、流速調控裝置、 防逆流裝置和側孔導管；所述灌注管本體的外徑為5 .8～6 .0mm，內徑為5 .3～5 .5mm；比現有的灌注管 （2.8～3.2mm）內徑大很多，可以提高灌注液流動的速度；所述防逆流裝置為套接在灌注管本體上的柱狀 體，所述柱狀體的側面向內凹陷，同時柱狀體的直徑大于側孔導管的直徑，從而有效地防止進入膽囊的灌 注液逆流及膽汁外漏
中山大學
2021-04-10
立式斜板（管）沉淀裝置
此專利產品是對目前廣泛用于水處理工程的斜板（管）的改進產品，不改變斜板（管） 的基本工作原理，通過安裝組合與工藝應用條件的變化，實現以下特性： 1.將傳統斜板（管）的架空安裝改為落地安裝，難度降低； 2.清水從底部渠道引出，不再需要安裝造價較高的集水槽； 3.出水面由水平面改為垂直面，不再積泥，不需要經常沖洗； 4.清水被封閉在底部，不見陽光，沉淀池不再滋生藻類； 5.充分利用池深，增加斜板（管）的安裝數量，產能提高； 6.成組安裝，不再封閉池面，改管道排泥為機械排泥，不積泥。
同濟大學
2021-04-13
多功能射流清管器
本發明涉及一種輸油管道清管器，尤其是一種多功能射流清管器，其包括同軸線安裝的推進裝置、檢測裝置與射流除垢裝置，所述推進裝置的主體為推進腔，包括大口徑的輸入腔、口徑逐漸變小的錐狀腔以及小口徑的輸出腔，所述檢測裝置包括流體腔和由無損檢測探頭、位移傳感器和數據存儲器組成的檢測模塊構成，所述射流除垢裝置包括呈喇叭狀的射流腔體與射流噴嘴。本發明利用高壓射流除垢原理，除垢效率高，同時可進行除垢效果檢測和管壁缺陷檢測，使得管道清洗作業與檢測作業合二為一，作業效率高。
浙江大學
2021-04-13
柔性管疲勞試驗機
本實用新型公開了一種柔性管疲勞試驗機，包括支撐框架、拉伸油缸和擺動組件，所述拉伸油缸和所述擺動組件相對布置并設置在所述支撐框架的對應端部上，所述擺動組件包括擺動支架和驅動油缸，所述擺動支架鉸接在所述支撐框架的端部上，所述驅動油缸鉸接在所述支撐框架和所述擺動支架之間；所述拉伸油缸和所述擺動支架上分別設置有用于固定柔性管端部的連接器。通過增加擺動組件，擺動組件能夠由驅動油缸驅動擺動支架相對應支撐框架擺動，這樣，柔性管可以進行加載彎曲負荷的疲勞測試，配合拉伸油缸進行拉伸載荷的疲勞實驗，可以更加全面的對柔性管進行疲勞檢測，提高柔性管疲勞試驗機的檢測精度和檢測可靠性。
青島農業大學
2021-04-13
數控彎管仿真系統（產品）
成果簡介：針對目前數控彎管機一般不配有仿真系統的狀況，本仿真系統通過建立數控彎管機的總體仿真模型和運動模型，實現彎管加工過程的三維仿真動畫顯示；提供機床庫或機床各獨立部件庫，根據需要可從機床庫或部件庫中調入相關部件裝配成所需要的彎管機床，實現模胎夾具的自動裝配。可自定義仿真加工環境，包括彎管機床、地面、相鄰的機床、車間中的其它加工設備、廠房以及特殊情況下的為導管彎曲設置的地面溝槽，進行導管與加工環境的碰撞干涉檢測，建立了系列數控彎管機的機床庫和模胎庫以及導管樣件庫和相關的NC代碼庫。
北京理工大學
2021-04-14
輸液管漏氣檢測裝置
本發明公開了一種漏氣檢測裝置，設置在工作臺上，用于實現對輸液管的漏氣檢測，其特征在于，其包括：密封部分（1），其設置在工作臺一端，用于對輸液管針頭通氣端的密封；夾緊部分（2），其設置在工作臺中部，用于加緊固定待檢測的輸液管，使其在檢測過程中位置固定；輸氣部分（3），其設置在工作臺另一端，用于對輸液管的相對枕頭的另一端輸氣加壓；通氣保壓一段時間后，通過測量管內壓力變化，即可完成對輸液管是否漏氣的檢測。本發明的漏氣檢測裝置操作緊湊，效率較人工操作更高，而且相比手工操作，對輸液管的污染減少；采用氣動控制回
華中科技大學
2021-04-14