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本發(fā)明公開(kāi)了一種用于仿壁虎腳微納分級(jí)結(jié)構(gòu)的制造工藝，包括：S1、使用 LPCVD 設(shè)備在潔凈的硅片上熱生長(zhǎng)一層 SiO2 薄膜；S2、 在有 SiO2 層的硅片表面旋涂光刻膠并進(jìn)行光刻，制備出圓孔陣列圖 形；S3、使用緩沖氫氟酸溶液對(duì)暴露出的 SiO2 進(jìn)行刻蝕，將光刻膠上 的圖形轉(zhuǎn)移到 SiO2 層；S4、在樣品表面鍍一層 Cu 膜；S5、在丙酮或 乙醇中進(jìn)行超聲，通過(guò)溶脫剝離工藝去除表面的光刻膠及光刻膠表面 的 Cu；S6、利用 CVD-VLS 生長(zhǎng)工藝，以上述工藝制備的 Cu 為催化 劑，以 SiCl4 為硅源，以 H2 為載氣，生長(zhǎng) Si 微米線陣列；S7、在硅 線表面鍍一層 Cu 膜；S8、利用 CVD-VLS 生長(zhǎng)工藝，以 S7 制備的 Cu 膜為催化劑，以 SiCl4 為硅源，以 H2 為載氣，在 Si 微米線表面生長(zhǎng) Si 納米線。本發(fā)明提供的微納分級(jí)結(jié)構(gòu)中 Si 微米線的表面分布有 Si 納米線，即一種仿壁虎腳微納分級(jí)結(jié)構(gòu)，為干性黏附材料的設(shè)計(jì)與制 造提供了一種解決方案。 

一、項(xiàng)目簡(jiǎn)介可針對(duì)不同環(huán)境，完成震動(dòng)能、壓電能、摩擦電能、光電能、熱能、化學(xué)能、風(fēng)能、電磁能、射頻信號(hào)能等能量的收集、存儲(chǔ)，并根據(jù)需要為片上或片外低功耗傳感器提供穩(wěn)定且低噪的輸出能量供給。此外，針對(duì)不同的傳感器結(jié)構(gòu)和類(lèi)型進(jìn)一步提供豐富的接口電路，用來(lái)讀取傳感器所產(chǎn)生的感應(yīng)信號(hào)。配合低功耗收發(fā)機(jī)模塊，可實(shí)現(xiàn)完整的無(wú)線傳感節(jié)點(diǎn)功能。二、特點(diǎn)12345678.電源管理部分靜態(tài)電流可低至 65nA；.整個(gè) ASIC 功耗（包含溫度傳感）不足 1μW；.具有最大功率點(diǎn)追蹤；.匹配最小 16kΩ的厘米級(jí)以下壓電片.具有能量收集、存儲(chǔ)和調(diào)整輸出功能；.提供超低噪聲電源供給（10nA-100μA）片上/片外傳感器；.存儲(chǔ)的能量支持 ZigBee、Bluetooth 等低功耗協(xié)議間歇數(shù)據(jù)傳輸；.構(gòu)建平均功耗小于 5μW 的無(wú)線傳感節(jié)點(diǎn)。三、市場(chǎng)情況本項(xiàng)目能以超低功耗實(shí)現(xiàn)完整無(wú)線傳感節(jié)點(diǎn)，在 IoT、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域有良好的應(yīng)用前景和社會(huì)經(jīng)濟(jì)效益。四、技術(shù)成熟度此技術(shù)成熟，即將獲得專(zhuān)利授權(quán)，尋求與企業(yè)合作。-- 28 --西安交通大學(xué)國(guó)家技術(shù)轉(zhuǎn)移中心五、合作方式聯(lián)合研發(fā) 技術(shù)入股 □轉(zhuǎn)讓授權(quán)（許可） 面議

太陽(yáng)能作為一種潔凈和相對(duì)易于獲取的能源在未來(lái)的動(dòng)力產(chǎn)品中將占有越來(lái)越大的比份。如何發(fā)展高光電能量轉(zhuǎn)換效率、高可靠性和低成本的太陽(yáng)能電池是目前太陽(yáng)能利用領(lǐng)域所面臨的關(guān)鍵問(wèn)題。相對(duì)于第一代和第二代太陽(yáng)能電池(轉(zhuǎn)換效率<<50％)，各國(guó)科學(xué)家紛紛研究不同的應(yīng)用于第三代太陽(yáng)能電池的新材料和新結(jié)構(gòu)，目標(biāo)是使光電轉(zhuǎn)換效率大于5 0％。近年來(lái)，一種具有微、納米量級(jí)特殊結(jié)構(gòu)的光伏材料成為太陽(yáng)能電池的研究熱點(diǎn)。利用飛秒脈沖激光在極短的持續(xù)時(shí)間內(nèi)激發(fā)出極大的峰值能量，其在硅片的相互作用過(guò)程中具有很強(qiáng)的非線性效應(yīng)，聚焦燒蝕硅表面很小的一塊面積，形成規(guī)則排列的微納米結(jié)構(gòu)。這種微納米結(jié)構(gòu)由于表面積增大，對(duì)入射光波有很大的吸收，且對(duì)光的敏感性提高了數(shù)百倍，這些性質(zhì)對(duì)我們提高光電轉(zhuǎn)換效率具有很大的指導(dǎo)意義。這種材料與本底未處理材料的性質(zhì)相比，材料帶隙減小，對(duì)光的敏感性提高了數(shù)百倍，這使得其對(duì)波長(zhǎng)為250—2500 nm的入射光波有大于90％的吸收；另外，黑硅比傳統(tǒng)材質(zhì)的硅的比重低。這些奇特的光電和物理性質(zhì)能進(jìn)一步提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。根據(jù)光吸收效率，激子光量子效率，化學(xué)電勢(shì)效率以及填充因子計(jì)算總的光電轉(zhuǎn)換效率，普通硅基太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換效率只有1 5％，而基于微納結(jié)構(gòu)光伏材料的太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率可望達(dá)到50%-60%。 針對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)可持續(xù)發(fā)展在太陽(yáng)能光伏技術(shù)方面的重大需求，發(fā)展利用超短脈沖激光制備具有優(yōu)異光電轉(zhuǎn)化效率的微納結(jié)構(gòu)光伏材料的新方法，以及通過(guò)探測(cè)光伏材料中非平衡載流子的能帶結(jié)構(gòu)及微分負(fù)電導(dǎo)等特性，探知光伏材料的光電轉(zhuǎn)換效率，從而篩選出轉(zhuǎn)換效率較高的微納結(jié)構(gòu)光伏材料，最終在發(fā)展新型、高效太陽(yáng)能電池的新原理和新技術(shù)方面取得創(chuàng)新性突破，為我國(guó)研發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高效第三代光伏電池打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

北京大學(xué)“極端光學(xué)創(chuàng)新研究團(tuán)隊(duì)”發(fā)展了一種高精度的暗場(chǎng)光學(xué)成像定位技術(shù)(位置不確定度僅21 nm)，并結(jié)合電子束套刻工藝，實(shí)現(xiàn)了片上量子點(diǎn)微盤(pán)激光器與銀納米線表面等離激元波導(dǎo)的精確、并行、無(wú)損集成。這種微盤(pán)-銀納米線復(fù)合結(jié)構(gòu)同時(shí)具有介質(zhì)激光器與表面等離激元波導(dǎo)的優(yōu)勢(shì)，因此不僅具有介質(zhì)激光器的低閾值與窄線寬特性，而且具有表面等離激元波導(dǎo)的深亞波長(zhǎng)場(chǎng)束縛特性。基于這種靈活、可控的制備方法，他們實(shí)現(xiàn)了片上微盤(pán)激光器與表面等離激元波導(dǎo)間多種形式的精確可控集成，包括切向集成、徑向集成以及復(fù)雜集成，并且對(duì)量子點(diǎn)無(wú)任何加工損傷；進(jìn)一步，通過(guò)同時(shí)集成多個(gè)片上微盤(pán)激光器與多個(gè)銀納米線表面等離激元波導(dǎo)，他們獲得了多模、單色單模以及雙色單模的深亞波長(zhǎng)(0.008λ2)相干輸出光源。這些高性能的深亞波長(zhǎng)相干輸出光源可以容易地耦合并分配至其它深亞波長(zhǎng)表面等離激元光子器件和回路中。因此，這種靈活、可控的精確集成方法在高集成密度的光子-表面等離激元復(fù)合光子回路中具有重要應(yīng)用，并且這種方法可以拓展到其它材料和其它功能的微納光子器件集成中，為未來(lái)光子芯片的實(shí)現(xiàn)提供了一種可行的解決方案。  該工作于2018年5月發(fā)表在Advanced Materials上(Advanced Materials 2018, 30, 1706546)，并以卷首插畫(huà)(Frontispiece)的形式予以重點(diǎn)報(bào)道。文章的第一作者為北京大學(xué)物理學(xué)院博士研究生容科秀，陳建軍研究員為通訊作者。該研究工作得到了國(guó)家自然科學(xué)基金委、科技部、人工微結(jié)構(gòu)和介觀物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、量子物質(zhì)科學(xué)協(xié)同創(chuàng)新中心和極端光學(xué)協(xié)同創(chuàng)新中心等的支持。 圖1. 片上膠體量子點(diǎn)微盤(pán)激光器與銀納米線表面等離激元波導(dǎo)的精確、并行、無(wú)損集成。

本發(fā)明公開(kāi)了一種用于微納米顆粒表面修飾的裝置，包括：反 應(yīng)腔，其內(nèi)部形成的空腔用于作為前驅(qū)體與微納米顆粒的反應(yīng)空間； 多個(gè)前驅(qū)體供應(yīng)裝置，其分別通過(guò)管道與所述反應(yīng)腔相通以提供不同的前驅(qū)體；載氣輸送系統(tǒng)，前驅(qū)體通過(guò)該載氣輸送系統(tǒng)輸出的載氣輸 送到反應(yīng)腔中；以及粉體顆粒裝載裝置，用于承載待修飾的微納米顆 粒；通過(guò)多個(gè)前驅(qū)體供應(yīng)裝置分別向反應(yīng)腔交替地輸送前驅(qū)體，并進(jìn) 入旋轉(zhuǎn)的粉體顆粒裝載裝置中以與微納米顆粒表面接觸進(jìn)行原子層沉 積反應(yīng)，從而在微納米顆粒的表面形成包覆薄膜，實(shí)現(xiàn)表面修飾。本 發(fā)明還公開(kāi)了利用

本發(fā)明公開(kāi)了一種基于微景深的焊接拼縫測(cè)量方法，將光學(xué)倍數(shù)大于 2 的相機(jī)相對(duì)焊接拼縫局部表面斜放，在兩次相機(jī)與焊接拼縫局部表面不同間距下對(duì)局部表面拍攝，從拍攝的兩幅圖像中提取清晰帶，分別獲取兩清晰帶垂直于拼縫方向的中心線上每一像點(diǎn)對(duì)應(yīng)的物點(diǎn)在世界坐標(biāo)系下的坐標(biāo)，從而得到世界坐標(biāo)下的兩條直線段，利用兩直線段進(jìn)行平面擬合，即得拼縫局部表面法向矢量值，從其中任一清晰帶中提取拼縫局部表面的邊界，從而得到拼縫局部表面的寬度以及中心坐標(biāo)。本發(fā)明能穩(wěn)定、可靠的測(cè)量出復(fù)雜微細(xì)焊縫的拼縫中心坐標(biāo)、寬度以及局部表面的法

金屬納米結(jié)構(gòu)中的自由電子振蕩與外部光場(chǎng)發(fā)生耦合，形成局域表面等離激元共振，可以將光場(chǎng)壓縮到納米尺度。利用高品質(zhì)因子光學(xué)微腔來(lái)調(diào)控金屬顆粒的電磁場(chǎng)環(huán)境。相比于真空環(huán)境，光學(xué)微腔調(diào)制的電磁環(huán)境與等離激元共振模式有更強(qiáng)的耦合，增強(qiáng)了等離激元的輻射輸出。高效的輸出渠道使得能量不再集中于吸收區(qū)域，從而減小其熱損耗。相比于真空中的金屬顆粒，微腔調(diào)制的金屬顆粒可以將單原子的輻射效率提升40倍，輸出功率提升50倍。

光學(xué)頻率梳是具有確定梳齒頻率間隔的光頻標(biāo)尺，在精密測(cè)量中發(fā)揮了極為重要的作用。近年來(lái)，一種基于光學(xué)微腔的新型芯片級(jí)光梳取得了突破性進(jìn)展，其具備體積小、功耗低、精度高等優(yōu)勢(shì)，大大拓寬了傳統(tǒng)桌面級(jí)精密光源的應(yīng)用場(chǎng)景。目前，這種芯片級(jí)光梳已在超快激光雷達(dá)、光學(xué)頻率合成、大容量相干光通信和精密光譜學(xué)等方向上展現(xiàn)了巨大潛力，因而對(duì)基礎(chǔ)研究和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用都具有重要意義。然而，單個(gè)微腔光梳能夠覆蓋的光譜范圍往往被色散以及收集效率限制，從而阻礙了其在光學(xué)原子鐘、類(lèi)地行星探尋、生物成像等重要領(lǐng)域的進(jìn)一步應(yīng)用。

對(duì)于各種顆粒、纖維增強(qiáng)復(fù)合材料，目前主要采用大規(guī)模的宏觀力學(xué)實(shí)驗(yàn)尋找力學(xué)性能變化規(guī)律，進(jìn)而為提高材料力學(xué)性能提供支持，實(shí)驗(yàn)繁雜，周期長(zhǎng)，投入大。采用顯微鏡原位力學(xué)性能測(cè)試方法，對(duì)復(fù)合材料在各種外力作用下的破壞過(guò)程進(jìn)行細(xì)觀觀測(cè)，有助于對(duì)填料、纖維的增強(qiáng)效果及其對(duì)復(fù)合材料力學(xué)性能的影響進(jìn)行研究，進(jìn)而探尋影響材料力學(xué)性能的主要因素，可大大節(jié)約開(kāi)發(fā)成本，提高開(kāi)發(fā)效率。但目前國(guó)內(nèi)所具有的細(xì)觀力學(xué)性能觀測(cè)條件主要利用帶有原位加載臺(tái)的掃描電鏡技術(shù)，該實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)成本昂貴，國(guó)內(nèi)僅有少數(shù)幾家科研院所擁有此設(shè)備，主要適于科

間充質(zhì)干細(xì)胞（MSC）具有向多種類(lèi)型（比如骨、軟骨、肌腱、脂肪、神經(jīng)、心臟等）細(xì)胞分化的能力，可作為組織再生“種子細(xì)胞”，在組織器官損傷修復(fù)中起關(guān)鍵作用，是當(dāng)今國(guó)際細(xì)胞生物學(xué)基礎(chǔ)理論以及再生醫(yī)學(xué)研究的熱點(diǎn)之一。干細(xì)胞向多種類(lèi)型細(xì)胞分化是生物體的一種重要而又非常復(fù)雜的生命活動(dòng)，這個(gè)復(fù)雜的過(guò)程受到多種微環(huán)境變化的調(diào)控。該項(xiàng)研究通過(guò)利用轉(zhuǎn)基因敲除小鼠、組織學(xué)、細(xì)胞生物學(xué)和分子生物學(xué)等多種技術(shù)手段揭示了整合素信號(hào)通路關(guān)鍵蛋白Kindlin-2在調(diào)控間充質(zhì)干細(xì)胞分化中的重要功能，以及Kindlin-2對(duì)生物力學(xué)信號(hào)傳導(dǎo)分子YAP1調(diào)控的分子機(jī)制， 對(duì)于干細(xì)胞基礎(chǔ)研究以及臨床醫(yī)學(xué)應(yīng)用具有重要指導(dǎo)意義。