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光柵尺寸在國際上居于領先地位，最大達到了 1400mm， 遠超對手的 940mm；研制了一系列國內(nèi)首臺(套)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的米量級光柵研制工藝關鍵設備；在國際上首創(chuàng)了曝光拼接方法，實現(xiàn)了利用小口徑曝光系統(tǒng)，制作出了遠 大于曝光系統(tǒng)口徑的光柵；掌握了脈沖壓縮光柵設計、工 藝容差分析和工藝過程控制技術，通過對曝光監(jiān)測、顯影監(jiān)測和刻蝕監(jiān)測來保證光柵制作工藝的穩(wěn)定性，保證了光柵制作質(zhì)量；首次對大口徑高閾值光柵采用了綜合清洗技術處理，提高了光柵的衍射效率和抗激光損傷閾值。 

浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎支撐。

本發(fā)明公開了一種基于廣義中國余數(shù)定理的兩圖像置亂隱藏及恢復的方法。本發(fā)明對圖像尺寸相同的兩幅圖像，首先基于預設的一組兩兩互質(zhì)的素數(shù)分別取模后得到兩組子圖像，再從中隨機選取部分子圖對進行對應位置的像素部分互換，得到置亂隱藏后的兩組子圖像，實現(xiàn)對原圖像對的同時加密。恢復處理時，首先基于置亂隱藏處理時所設置的一組兩兩互質(zhì)的素數(shù)，從給定的兩組子圖像中準確恢復出所有無序的像素對，然后根據(jù)圖像的特征，將得到的像素對中的無序像素對準確地分為兩類，基于分類結(jié)果，無損地恢復出原來的兩幅圖像，實現(xiàn)圖像對的加密傳輸交互。

產(chǎn)品詳細介紹德國萊卡DM1000、DM2000、DM3000正置生物顯微鏡◆ LEICA DM1000 DM2000 DM2500 DM3000系列顯微鏡可滿足不同的應用：◇ LEICA DM1000 滿足所有用于人性化要求的使用和光學清晰度的要求，并且用于臨床實驗室應用方面最為理想。◇ LEICA DM2000 帶有一個精密的聚焦機械裝置，有5中聚焦功能，可選擇2齒輪或3齒輪調(diào)焦、扭矩調(diào)節(jié)以及調(diào)節(jié)載物臺告訴限位。◇ LEICA DM2500 具有大功率的100W照明燈，特別適合于需要用到例如微分干涉相襯（DIC）等觀察方法。◇ LEICA DM3000 智能化操作大大提高醫(yī)療診斷的工作效率。是針對臨床以及所有其它生物醫(yī)學常規(guī)應用和研究而設計的。◇ 所有這四種型號都可裝備熒光。◆ DM1000、DM2000、DM2500、DM3000共同主要特點：◇ 高度可調(diào)的聚焦旋鈕：  ◇ 可調(diào)式鏡筒 leicaDM系列提供了各色各樣的觀察筒。觀察時選擇一個帶有符合人機工效的15°觀察角度的新鏡筒或用于放松的頭部位置的可調(diào)式Vario鏡筒。可以防止頸部和背部肌肉勞損，有助于肩部和下頸部肌肉的放松，即使是超長時間工作也不會累。   ◇ 聚焦旋鈕和載物臺旋鈕在同一高度上且與操作者的距離相同，實現(xiàn)對稱操作。◇ 超硬臺面。采用全新的陶瓷材料制成，比以往任何材料都堅固、耐磨。◇ 帶色彩標記的光闌設置 方便快速識別和調(diào)整。聚光鏡上的有效的光闌刻度標有色標記號，這些記號與物鏡的標準顏色代碼相對應，這使得用戶一眼就能找出最匹配當前物鏡的光闌位置。  ◇ 平場HI PLAN物鏡有利于改進平場和色差校正。HI PLAN 10X 物鏡非常適合諸如細胞學等方面的臨床應用，而且有著12.1mm的長工作距離，可以用在10X物鏡下進行標記。◇ 同步亮度物鏡 有著4X 、10X 、40X 放大倍數(shù)的新HI PLAN SL （同步光）物鏡系列非常賞心悅目。這些物鏡可以在通一光強下工作，以便不管選擇何種放大倍率，亮度保持不變。這樣就無需在改變物鏡時反復調(diào)整亮度，同時顏色效果保持最佳。◇ HI PLAN CY 專門物鏡 專門的HI LAN CY10X/0.25 物鏡有著優(yōu)秀的區(qū)域整平和色彩校正，同時為臨床提供了12mm的長工作距離。其同樣具有SL（同步光）型號。◇ 宏觀物鏡 1.25X 放大倍率物鏡。◇ 具有“零像素漂移”的全新熒光軸 確保在轉(zhuǎn)換濾光塊時圖像不發(fā)生移位，方便準確地重疊圖像。提供5個濾光塊位置，用戶可以在他們之間快速轉(zhuǎn)換。◆ LEICA DM3000 自動顯微鏡特有功能：◇ 智能化、創(chuàng)新性的新型自動顯微鏡LEICA DM3000。 憑借其獨一無二的toggle模式和自動聚光器，LEICA DM3000 操作速度更快且準確，同時在所有生物醫(yī)學常規(guī)應用和研究領域中具有更高的安全可靠性。◇ DM3000自動顯微鏡電動物鏡轉(zhuǎn)盤讓你僅在半秒內(nèi)即可改變物鏡放大倍率。眼睛無需離開物鏡，雙手保持原位即可通過觸摸按鈕實現(xiàn)物鏡的轉(zhuǎn)換。◇ 轉(zhuǎn)盤由位于聚焦旋鈕后不遠處的兩個按鈕控制。你可將6個物鏡中的任意兩個設置成通過這兩個按鈕實現(xiàn)反復更換放大倍數(shù)的目的（即toggle模式）。顯微鏡前端的6個按鈕分別控制6相應的物鏡。   ◇ 自動聚光鏡頂鏡： LEICA DM3000 的聚光鏡頂鏡（輔助聚光鏡）可根據(jù)物鏡的倍率自動旋出和旋入。◇ 自動調(diào)節(jié)最佳光強度： LEICA DM3000可根據(jù)不同的物鏡自動調(diào)節(jié)最佳光強度，以減少變換物鏡必須調(diào)節(jié)光的亮度的麻煩。及減少操作者的眼睛疲勞。  

該項目應用領域：可替代現(xiàn)有各種管殼式換熱器方案，尤其對貴重材料應用的經(jīng)濟性更好，如銅管干式蒸發(fā)器、鈦管閉式冷卻器等。

開發(fā)了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡單將樣品注入濾頭即可實現(xiàn)微粒的“片上濃縮”

一、 項目簡介并流濕式脫硫除塵一體化技術及設備是針對鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領域的含塵、含硫氣體進行凈化處理開發(fā)的一種運行費用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術與設備。設備內(nèi)安裝有自主研發(fā)的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的旋風式氣液接觸元件，含塵、含硫氣體與清洗液體同時從設備頂部并流進入，在高速通過旋風式高效接觸元件時對產(chǎn)生強烈的破碎、攪拌、沖擊作用，增強除塵效果，氣體得到凈化。并流濕式脫硫除塵流程如下圖所示。二、 項目技術成熟程度已應用在實際工業(yè)生產(chǎn)中。應用實例包括：1. 在河北邢臺英都化工廠含單質(zhì)硫氣體的凈化工藝中，成功地解決了原有氣體凈化系統(tǒng)中氣體單質(zhì)硫含量不達標的問題，除塵效率達到99.8%；設備由原來的直徑3米、高32米下降為直徑1.6米，高14.64米，設備投資大大降低；運行可靠、操作簡單；經(jīng)河北省產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗院檢測，總濕板壓降120Pa。  2. 本技術和設備在山東得克公司脫硫工程中應用，氣量10000Nm3/h，設備直徑φ1000，高6100mm，脫硫率達99.5%。三、 技術指標采用氣液并流，空塔氣速可達到5~15m/s，液氣比達到5 L/m3；全塔總壓降＜150Pa，脫硫率≥99.5%，總除塵效率可達到99%；對0~5μm粒徑的微細粉塵分級效率達到85%；與氣液逆流相比，處理相同氣量和粉塵濃度時，能耗可降低25%，設備尺寸減小50%～60%，操作費用和設備投資可減少40%以上；操作時不會出現(xiàn)液泛、霧沫夾帶或帶水現(xiàn)象，塔板上無結(jié)垢；操作時不會產(chǎn)生粉塵的再飛揚問題。四、 市場前景并流濕式脫硫除塵一體化技術及設備是針對鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領域的含塵、含硫氣體進行凈化處理開發(fā)的一種運行費用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術與設備。氨法、雙堿法、鎂法、石灰石—石膏法等各種方法鍋爐煙氣脫硫除塵；鋼鐵行業(yè)燒結(jié)煙氣的脫硫除塵；化工、制藥、食品、建材等行業(yè)的工業(yè)除塵；煙氣脫硫脫硝除塵一體化操作；有害氣體的凈化、冷卻和增濕；處理高溫、高濕和有爆炸危險的氣體；H2S、HCl、NH3、HF等氣體的吸收；惡臭氣體的脫臭。五、 規(guī)模與投資需求根據(jù)不同需求可對應多種解決方案。六、 合作方式技術入股，技術轉(zhuǎn)讓等形式。七、 項目具體聯(lián)系人及聯(lián)系方式項目負責人及聯(lián)系人：張少峰電話： 022-60204596 13132081566 郵箱： shfzhang@hebut.edu.cn

管殼式換熱器在現(xiàn)代工業(yè)中占有十分重要的地位，特別是在動力、能源、化工、空調(diào)制冷、石油、冶金、核能等工業(yè)領域中應用極為廣泛，它是工藝流程中的一種主要設備。傳統(tǒng)的弓形折流板換熱器存在流動死區(qū)，易結(jié)垢，無法充分利用傳熱面積從而導致傳熱系數(shù)低，壓降大，管束易產(chǎn)生流體誘導振動等缺點。高效的管殼式換熱設備能從多方面節(jié)省能源的消耗：一方面可以節(jié)省驅(qū)使換熱器中冷熱兩種流體的運動所需的功耗，同時換熱面積的縮小可以減少生產(chǎn)換熱設備所需的能耗以及原材料，有效的結(jié)構(gòu)形式還可以減少換熱面結(jié)垢的可能性，延長運行周期。因此換熱設備的高效強化是實現(xiàn)我國過程工業(yè)節(jié)能的關鍵因素之一。據(jù)統(tǒng)計，管殼式換熱器大約占世界換熱器市場總份額的35–40%，且在石油、化工領域管殼式換熱器能占到高達70％的份額。因此對螺旋折流板管殼式換熱器進行推廣應用對于節(jié)能具有重要的意義，可以創(chuàng)造巨大的社會效益和經(jīng)濟效益。 上世紀末提出使用螺螺旋折流板支撐結(jié)構(gòu)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的弓形折流板支撐結(jié)構(gòu)可以顯著降低殼側(cè)壓降，也有利于強化換熱，具有良好的綜合性能，雖然近十余年中國內(nèi)外對于螺旋折流板管殼式換熱器開展了較多的研究，但現(xiàn)有的公開發(fā)表的資料中未見到有關螺旋折流板換熱器的完整的設計方法介紹。本技術基于本課題組大量的試驗與數(shù)值模擬研究并參考相關公開發(fā)表的文獻，開發(fā)一套完整的熱力設計方法和軟件。 該項目是在教育部重點課題和“973”項目的大力支持下，經(jīng)過多年的努力完成的。針對單殼程多管程單相介質(zhì)流動換熱的螺旋折流板管殼式換熱器所開發(fā)的熱力設計軟件，該軟件擁有完全的自主知識產(chǎn)權(quán)。本軟件采用VB6.0、EXCEL2003和FORTRAN混合編程。VB形成可視化操作界面，可視化數(shù)據(jù)輸入輸出，實現(xiàn)數(shù)據(jù)傳遞功能；調(diào)用FROTRAN語言編制的可執(zhí)行程序讀取所需數(shù)據(jù)完成核心計算；調(diào)用EXCEL軟件進行相關數(shù)據(jù)的保存和輸入輸出管理。