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壓印法集成電路光刻技術
本項目提出一種創新的集成電路(IC)制造工藝路線，即壓印光刻(Imprint Lithography－IL)技術，并對該技術相關的壓印和脫模工藝機理、紫外光固化阻蝕膠材料的物化和工藝特性、與IC制造其它工藝的綜合集成和優化、壓印光刻設備的關鍵技術等進行研究和技術開發。其基本原理為：以電子束直寫刻蝕(或其它刻蝕技術)生成IC圖型母板(模具)，以母板(模具)步
西安交通大學
2021-01-12
新型有載分接開關
電力設備輸入電壓不穩定，將造成電力設備使用壽命縮短。電力系統電壓 可能偏離額定值，過高的電壓將造成電能損耗加大、效率降低。改變電力變壓 器分接頭的方式進行電壓調節是電力部門廣泛采用的調壓措施。在變壓器有負 荷電流（有載）的條件下，把變壓器某一個電壓的分接頭切換為另一個電壓的 分接頭，且保證切換過程電力用戶不停電，需要使用高技術含量的有載分接開 關來實現。 目前，現有的有載分接開關切換器中的兩個開關都采用先合后開的切換次 序，采用電阻過渡的方式實現兩個開關的無縫切換過程。該方式的缺點是：為 了保證兩個開關先跳后合之間的時間足夠短，以免燒毀電阻，需要復雜的機械 凸輪滑動機構和壓縮儲能機構，操作振動大、噪音大、可靠性差；開關切換過 程有電??；整體切換時間長（4 秒）；復雜機械機構決定有載分接開關不允許 頻繁切換。
山東大學
2021-04-13
一種光刻掩模優化設計方法
本發明公開了一種光刻掩模優化設計方法，該方法首先依據表 征掩模的網格格點尺寸大小對掩模進行分級，在粗網格上快速求解掩 模，然后對在粗網格上求解得到的掩模進行插值傳播到下一級較細網 格上進行細化校正，最終實現了掩模的快速優化。
華中科技大學
2021-04-11
微納米壓印光刻工藝及裝備
微納米結構成形是光電子制造中的核心工藝之一。壓印光刻克服了傳統光學光刻中光學衍射效應的限制，是一種經濟、高效、高分辨的結構成形方法。 正在探索的壓印工藝方法包括：UV-NIL、模板電誘導自組裝納米成形、電潤濕驅動納米壓印等。 正在探討壓印光刻的應用領域包括：集成電路(IC)、微機電系統(MEMS)、生物微流控、光波導、光或磁存儲、有機光電子、平板顯示等器件的制造。
西安交通大學
2021-04-11
超衍射極限納米光刻機技術
研發階段/n1、在該方向發表論文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申報和獲得該方向相關發明專利8項。其中1項授權轉讓給Facebook，Sony和中國一家企業。在華中科技大學申報5項發明專利，依托武漢舒博光電技術有限公司申報2項發明專利。。3、研發出2代超分辨納米光刻樣機。。4、配備光學裝備開發專門團隊，初步建成光學精密制造和檢測平臺。
華中科技大學
2021-01-12
一種光刻掩模優化設計方法
本發明公開了一種光刻掩模優化設計方法，該方法首先依據表征掩模的網格格點尺寸大小對掩模進行分級，在粗網格上快速求解掩模，然后對在粗網格上求解得到的掩模進行插值傳播到下一級較細網格上進行細化校正，最終實現了掩模的快速優化。
華中科技大學
2021-04-14
光刻膠及液體硅橡膠的開發
懸賞金額：50萬元
發榜企業：惠州市強達電子工業有限公司
需求領域：特種功能材料 LED前沿與核心技術 精細化工 電子材料、半導體材料高分子、復合材料
產業集群：先進材料產業集群
技術關鍵詞：光刻樹脂; 光刻膠; 特種硅樹脂; 高性能硅橡膠; 紫外光固化技術
惠州市強達電子工業有限公司
2021-11-02
自動接鉆桿或拆鉆桿的裝置
本發明涉及礦井鉆孔領域，所要解決的技術問題是克服目前由人工手動接、拆鉆桿導致效率低下且安全性低，提供自動接鉆桿或拆鉆桿的裝置。本發明解決其技術問題采用的技術方案是：自動接鉆桿或拆鉆桿的裝置，包括鉆桿支架、卡盤、傳動系統及支座平臺，鉆桿支架及傳動系統依次設置于支座平臺上，傳動系統包括電機、蝸桿及與蝸桿適配的蝸輪，所述電機為能夠實現正轉及反轉的低速電機，電機的轉軸與蝸輪的軸心相連，并與蝸輪的半徑相垂直，卡盤焊接在蝸桿靠近鉆桿支架的一端，卡盤及蝸桿與待接或待拆的鉆桿同軸，所述鉆桿支架用于支撐待接或待拆的鉆桿，卡盤用于固定鉆桿支架上的待接或待拆的鉆桿。能夠實現高效地接、拆鉆桿工作，用于礦井鉆孔操作。
四川大學
2016-10-27
VKV型真空有載分接開關
VKV 型真空有載分接開關(以下簡稱分接開關）是一種典型的復合式分接開關，它把切換開關和分接選擇器的功能合二為一，分接開關借助于開關頭部法蘭安裝于變壓器箱蓋上。分接開關上還可加裝轉換選擇器，有載分接開關不帶轉換選擇器時，分接工作位置最多為12 個，帶轉換選擇器時，分接工作位置最多為23 個。
VKV 型真空有載分接開關適用于設備最高電壓40.5～126kV，最大額定通過電流600A，頻率為50Hz～60Hz，三相接法為D接或Y接中性點調壓的電力或工業變壓器，在帶負載的情況下變換變壓器接頭，來改變變壓器的輸出電壓，以達到輸出端電壓穩定在規定范圍之內;或根據載荷要求來達到增加或減少輸出電壓，以實現調整線路上的電壓的目的。
山東泰開變壓器有限公司
2021-08-26
半導體光刻膠成膜樹脂制備技術
1.痛點問題
光刻膠作為集成電路制備中不可或缺的一部分，已成為國家的戰略資源之一。半導體光刻膠的核心在于成膜樹脂，受限于研發難度大、專利壁壘高、資金投入多、準入門檻高，目前國內企業尚難以突破KrF膠（248nm）或ArF膠（193nm），而EUV膠完全不能自主供給。
2.解決方案
本項技術采用了國際最前沿的納米氧化物團簇材料的工藝路線，可以實現單2nm小分子的光刻膠成膜樹脂材料，攻克了材料合成和納米材料提純的難題，可滿足目前半導體3nm制程節點的技術要求，RLS分辨率、邊緣粗糙度、靈敏度三項關鍵性能指標優異，其曝光劑量遠低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本線。此外，本項技術具有多種半導體光刻膠兼容性，可以生產248nm和193nm光源的半導體光刻膠成膜樹脂，以及電子束半導體掩膜用光刻膠成膜樹脂，具有廣闊的技術替代優勢和市場應用前景。
3.合作需求
本項技術已設立衍生企業，位于江蘇常州的3000m2研發生產中心正在建設中。
1）融資需求：本輪天使輪融資6000萬元。
2）資源對接需求：集成電路芯片制造、掩膜板生產企業，地方政府等。
清華大學
2022-07-12