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藍寶石襯底拋光液及應用

一、項目簡介本項目是為了解決光電器件最好襯底材料之一藍寶石襯底材料拋光液在拋光過程中存在的襯底片表面去除速率低、粗糙度高、易劃傷等問題，而研發一種化學作用強、去除速率快、表面粗糙度低、無劃傷、成本低，且不污染環境及腐蝕設備的藍寶石襯底材料拋光液及制備方法。本項目采用具有自主知識產權的多功能螯合劑作為pH調節劑,同時又可起到緩沖劑、磨料穩定劑、絡合及螯合的作用，實現反應劑一劑多用，降低成本。二、項目技術成熟程度經20多家中外企業使用表明，該拋光液性能穩定、速率快，可一次或循環使用，目前可批量生產和應用。三、技術指標（包括鑒定、知識產權專利、獲獎等情況）加工去除速率>5μm/h，表面粗糙度可降至Ra:0.1～0.3nm。天津市科學技術委員會鑒定結論：國際領先，已獲國家發明專利授權6項，美國發明專利1項。四、市場前景（應用領域、市場分析等）隨著光電技術的飛速發展，光電產品對藍寶石襯底需求量日益增加，開發新型的拋光液及拋光技術，提高光電器件用襯底加工質量，以推進冷光源的應用進程及節能減排的有效實施，并可用于國防、儀器儀表、紅外窗口等領域，因此，市場前景廣泛，也可為國家光電子工業發展起到很好的促進作用。五、規模與投資需求（資金需求、場地規模、人員等需求）年產量5000噸的生產規模投資為約3000萬元，需千級以上超凈化廠房。六、生產設備低壓真空系統、百級超凈車間、去離子水系統等七、效益分析隨著國家對節能減排任務的提出及對LED產業的大力支持，藍寶石襯底片需求量越來越大，CMP超精密表面加工拋光液的需求量也越來越大，因此此項目具有很大的經濟和社會效益潛力，價格僅為進口產品的1/3，效益顯著。八、合作方式以產學研用的合作模式，把研發出的產品與技術轉化為生產力，如可提供技術服務與支持、經銷公司代銷售等。九、項目具體聯系人及聯系方式（包括電子郵箱）劉玉嶺，13602103962，liuyl@jingling.com.cn十、高清成果圖片2-3張

河北工業大學 2021-04-11

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