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由仿真化學(xué)實(shí)驗(yàn)室、化學(xué)三維分子模型和中學(xué)化學(xué)百科三個(gè)模塊組成。仿真化學(xué)實(shí)驗(yàn)室提供一個(gè)虛擬的化學(xué)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，包括試管、燒杯、酒精燈、鐵架臺(tái)、燒瓶、錐形瓶、集氣瓶、漏斗、導(dǎo)管等這些真實(shí)實(shí)驗(yàn)室中的器具，可以自由的搭建實(shí)驗(yàn)儀器、添加藥品，并讓它們進(jìn)行反應(yīng)。化學(xué)三維分子模型展示化學(xué)微觀世界，提供一個(gè)全三維的、用于分子演示的平臺(tái)。中學(xué)化學(xué)百科提供詳實(shí)的化學(xué)資料、數(shù)據(jù)、概念知識(shí)和多樣的數(shù)據(jù)分類以及簡(jiǎn)捷的數(shù)據(jù)搜索工具，可以通過元素周期表進(jìn)行查找，也可以通過化合物，科學(xué)家等分類信息查找所需資料，并把這些信息以網(wǎng)頁(yè)的格式輸出。

針對(duì)學(xué)習(xí)門檻高、教學(xué)開展難、實(shí)驗(yàn)原理闡述不明等問題，應(yīng)用仿真技術(shù)形象展示系統(tǒng)器件及運(yùn)行邏輯。

本研究根據(jù)科技部統(tǒng)一部署，依據(jù)國(guó)家山東半島藍(lán)色經(jīng)濟(jì)區(qū)戰(zhàn)略規(guī)劃、黃 河三角洲高效生態(tài)經(jīng)濟(jì)區(qū)發(fā)展規(guī)劃，針對(duì)山東省高端裝備制造產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型發(fā)展需 求，重點(diǎn)突破服務(wù)型制造關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)急需的共性關(guān)鍵技術(shù)；積極拓展“兩 化”融合的發(fā)展空間，圍繞制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)，推進(jìn)制造業(yè)信息化從單業(yè)務(wù)應(yīng)用 向多業(yè)務(wù)綜合集成轉(zhuǎn)變，從企業(yè)信息應(yīng)用向業(yè)務(wù)流程優(yōu)化再造轉(zhuǎn)變，從單一企 業(yè)應(yīng)用向產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同應(yīng)用轉(zhuǎn)變。 主要研究?jī)?nèi)容包括研發(fā)覆蓋重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的云制造服務(wù)平臺(tái)，服務(wù) 500 家企業(yè)； 面向區(qū)域內(nèi)大型骨干企業(yè)，攻克產(chǎn)品數(shù)字化設(shè)計(jì)、集團(tuán)精細(xì)化管控、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié) 同等關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)相應(yīng)的信息化系統(tǒng)平臺(tái)，完成 3 家企業(yè)應(yīng)用示范，拉動(dòng) 30 家企業(yè)深化應(yīng)用；開展智能嵌入式、工業(yè)泛在網(wǎng)、傳感網(wǎng)和智能控制等技術(shù)攻 關(guān)，并在 3 家高端裝備制造企業(yè)中集成應(yīng)用，拉動(dòng) 20 家企業(yè)深化應(yīng)用；開展自 主知識(shí)產(chǎn)權(quán)核心軟件與制造物聯(lián)關(guān)鍵技術(shù)成果的應(yīng)用，新增 10 家以上應(yīng)用企業(yè)； 開展標(biāo)準(zhǔn)、評(píng)估、培訓(xùn)等支撐環(huán)境建設(shè)，開展信息化指數(shù)調(diào)查（企業(yè) 100 家以 上），完成人才培訓(xùn) 5 萬人次以上。 本項(xiàng)目獲得國(guó)家科技支撐計(jì)劃資助，項(xiàng)目執(zhí)行期 2012.1-2015.12。

1 成果簡(jiǎn)介基于網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體平臺(tái)的高端信息服務(wù)關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化——通過網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體服務(wù)平臺(tái)（如數(shù)字電視，有線寬帶，電信 e 家平臺(tái)等），設(shè)計(jì)后端高端信息服務(wù)體系架構(gòu)，從而最大化的利用多媒體數(shù)字服務(wù)平臺(tái)構(gòu)建高端信息服務(wù)網(wǎng)絡(luò)生態(tài)系統(tǒng)平臺(tái)并產(chǎn)業(yè)化。 項(xiàng)目有利于改變目前網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體和計(jì)算機(jī)軟件的“ 生態(tài)鏈”，渠道提供者與服務(wù)提供者會(huì)占據(jù)更為重要的位置， 這也符合我們的實(shí)際國(guó)情。同時(shí)，提升深港和大珠三角地區(qū)網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體平臺(tái)，高端信息服務(wù)，系統(tǒng)集成商及數(shù)字媒體工業(yè)的能力，在數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)接入平臺(tái)的融合潮流中發(fā)展創(chuàng)新性的技術(shù)和把握市場(chǎng)機(jī)會(huì)，快捷有效地開發(fā)新的先進(jìn)技術(shù)，拓展新商機(jī)，將廣東省及產(chǎn)業(yè)示范基地的信息內(nèi)容服務(wù)和增值服務(wù)產(chǎn)業(yè)做大、做強(qiáng)。2 應(yīng)用范圍廣東省和大珠三角地區(qū)的信息產(chǎn)業(yè)，系統(tǒng)集成商，高端信息服務(wù)商，與數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)行業(yè)相關(guān)的企業(yè)如消費(fèi)電子產(chǎn)品，通訊產(chǎn)品，數(shù)字電視和計(jì)算機(jī)產(chǎn)品等的數(shù)字媒體設(shè)計(jì)公司，均可受惠。3 效益分析產(chǎn)業(yè)化后預(yù)期產(chǎn)值超過 1 億元人民幣。

1 成果簡(jiǎn)介基于網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體平臺(tái)的高端信息服務(wù)關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化——通過網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體服務(wù)平臺(tái)（如數(shù)字電視，有線寬帶，電信 e 家平臺(tái)等），設(shè)計(jì)后端高端信息服務(wù)體系架構(gòu)，從而最大化的利用多媒體數(shù)字服務(wù)平臺(tái)構(gòu)建高端信息服務(wù)網(wǎng)絡(luò)生態(tài)系統(tǒng)平臺(tái)并產(chǎn)業(yè)化。 項(xiàng)目有利于改變目前網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體和計(jì)算機(jī)軟件的“ 生態(tài)鏈”，渠道提供者與服務(wù)提供者會(huì)占據(jù)更為重要的位置， 這也符合我們的實(shí)際國(guó)情。同時(shí)，提升深港和大珠三角地區(qū)網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體平臺(tái)，高端信息服務(wù)，系統(tǒng)集成商及數(shù)字媒體工業(yè)的能力，在數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)接入平臺(tái)的融合潮流中發(fā)展創(chuàng)新性的技術(shù)和把握市場(chǎng)機(jī)會(huì)，快捷有效地開發(fā)新的先進(jìn)技術(shù)，拓展新商機(jī)，將廣東省及產(chǎn)業(yè)示范基地的信息內(nèi)容服務(wù)和增值服務(wù)產(chǎn)業(yè)做大、做強(qiáng)。2 應(yīng)用范圍廣東省和大珠三角地區(qū)的信息產(chǎn)業(yè)，系統(tǒng)集成商，高端信息服務(wù)商，與數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)行業(yè)相關(guān)的企業(yè)如消費(fèi)電子產(chǎn)品，通訊產(chǎn)品，數(shù)字電視和計(jì)算機(jī)產(chǎn)品等的數(shù)字媒體設(shè)計(jì)公司，均可受惠。3 效益分析產(chǎn)業(yè)化后預(yù)期產(chǎn)值超過 1 億元人民幣。

1 成果簡(jiǎn)介基于網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體平臺(tái)的高端信息服務(wù)關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化——通過網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體服務(wù)平臺(tái)（如數(shù)字電視，有線寬帶，電信 e 家平臺(tái)等），設(shè)計(jì)后端高端信息服務(wù)體系架構(gòu)，從而最大化的利用多媒體數(shù)字服務(wù)平臺(tái)構(gòu)建高端信息服務(wù)網(wǎng)絡(luò)生態(tài)系統(tǒng)平臺(tái)并產(chǎn)業(yè)化。 項(xiàng)目有利于改變目前網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體和計(jì)算機(jī)軟件的“ 生態(tài)鏈”，渠道提供者與服務(wù)提供者會(huì)占據(jù)更為重要的位置， 這也符合我們的實(shí)際國(guó)情。同時(shí)，提升深港和大珠三角地區(qū)網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體平臺(tái)，高端信息服務(wù)，系統(tǒng)集成商及數(shù)字媒體工業(yè)的能力，在數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)接入平臺(tái)的融合潮流中發(fā)展創(chuàng)新性的技術(shù)和把握市場(chǎng)機(jī)會(huì)，快捷有效地開發(fā)新的先進(jìn)技術(shù)，拓展新商機(jī)，將廣東省及產(chǎn)業(yè)示范基地的信息內(nèi)容服務(wù)和增值服務(wù)產(chǎn)業(yè)做大、做強(qiáng)。2 應(yīng)用范圍廣東省和大珠三角地區(qū)的信息產(chǎn)業(yè)，系統(tǒng)集成商，高端信息服務(wù)商，與數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)行業(yè)相關(guān)的企業(yè)如消費(fèi)電子產(chǎn)品，通訊產(chǎn)品，數(shù)字電視和計(jì)算機(jī)產(chǎn)品等的數(shù)字媒體設(shè)計(jì)公司，均可受惠。3 效益分析產(chǎn)業(yè)化后預(yù)期產(chǎn)值超過 1 億元人民幣。

光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)圖形轉(zhuǎn)移的載體，是決定其微細(xì)結(jié)構(gòu)和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國(guó)半導(dǎo)體掩膜版的國(guó)產(chǎn)化率10%左右，90%需要進(jìn)口，高端掩膜版國(guó)產(chǎn)化率3%，miniLED和microLED產(chǎn)業(yè)升級(jí)也需要更多高端掩膜版。隨著中國(guó)市場(chǎng)需求的持續(xù)提升，掩膜版產(chǎn)能嚴(yán)重不足。并且中國(guó)半導(dǎo)體掩膜版的產(chǎn)業(yè)起步較晚，技術(shù)滯后，核心技術(shù)和裝備基本讓國(guó)外公司壟斷，特別是在設(shè)備、材料領(lǐng)域眾多技術(shù)處于“卡脖子”狀態(tài)，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機(jī)、檢測(cè)機(jī)、測(cè)量機(jī)、修復(fù)機(jī)和貼膜機(jī)等都依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。華中科技大學(xué)徐智謀教授團(tuán)隊(duì)致力于全套高端半導(dǎo)體光掩膜版的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)與量產(chǎn)，為“卡脖子”技術(shù)研究而努力。 具有建立180 nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)線相關(guān)核心技術(shù)；具備130 nm至28 nm半導(dǎo)體掩膜版研發(fā)、設(shè)計(jì)及驗(yàn)證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團(tuán)隊(duì)掌握了掩膜版MEMS微納加工量產(chǎn)核心技術(shù)，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術(shù)參數(shù)的搭配和優(yōu)化，以及大數(shù)據(jù)量軟件快速處理、補(bǔ)償?shù)取? 2） 裝備國(guó)產(chǎn)化 A. 超高精度二維測(cè)量裝備 尺寸測(cè)量是驗(yàn)證掩膜版技術(shù)指標(biāo)的核心，主要包括關(guān)鍵尺寸測(cè)量(CD)和長(zhǎng)尺寸測(cè)量(TP)。團(tuán)隊(duì)已掌握掩膜版的關(guān)鍵測(cè)量技術(shù)，達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平，具有整套設(shè)備的整機(jī)制造能力。 TP測(cè)量是掩膜版制作的核心指標(biāo)，直接影響到客戶的套合精度，該測(cè)量設(shè)備一直由國(guó)外極少數(shù)廠商壟斷，且價(jià)格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對(duì)中國(guó)出口。團(tuán)隊(duì)目前正在攻克該項(xiàng)技術(shù)，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復(fù)裝備 掩膜版修補(bǔ)技術(shù)是提升良品率的關(guān)鍵手段，該技術(shù)一直為國(guó)外壟斷。團(tuán)隊(duì)已熟練掌握UV、DUV激光化學(xué)沉積技術(shù)及皮秒飛秒激光金屬處理技術(shù)，具備整機(jī)制造能力，可降低設(shè)備采購(gòu)成本70%以上。 C. Pellicle自動(dòng)貼膜裝備 隨著產(chǎn)品精度的提升和應(yīng)用領(lǐng)域的高端化，掩膜版貼膜是個(gè)不可缺少的重要環(huán)節(jié)。在IC制造領(lǐng)域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領(lǐng)域90%以上需貼膜，在LED領(lǐng)域80%以上需貼膜。該貼膜設(shè)備一直國(guó)外公司壟斷，國(guó)內(nèi)廠家沒有提供，國(guó)外采購(gòu)全自動(dòng)貼膜設(shè)備需100萬美元左右。團(tuán)隊(duì)具備研發(fā)制造該設(shè)備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設(shè)備正式在產(chǎn)線運(yùn)營(yíng)，制造成本可節(jié)約90%以上。 3） 廠房建設(shè)關(guān)鍵技術(shù) 團(tuán)隊(duì)對(duì)MEMS及其掩膜工廠工藝設(shè)備廠務(wù)設(shè)計(jì)有豐富經(jīng)驗(yàn)，掌握高等級(jí)防微震廠房結(jié)構(gòu)和設(shè)備平臺(tái)的設(shè)計(jì)施工，可達(dá)到VC-D級(jí)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，滿足納米級(jí)生產(chǎn)技術(shù)要求。 【技術(shù)優(yōu)勢(shì)】 （1）掌握了高性價(jià)比掩膜版量產(chǎn)的關(guān)鍵核心技術(shù)，包括部分裝備的國(guó)產(chǎn)化，解決“卡脖子”技術(shù)難題，量產(chǎn)線建設(shè)成本節(jié)約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)掩膜版設(shè)計(jì)開發(fā)能力和驗(yàn)證平臺(tái)，驗(yàn)證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產(chǎn)、研發(fā)和銷售經(jīng)驗(yàn)的隊(duì)伍，成熟的企業(yè)管理經(jīng)驗(yàn)，保證企業(yè)穩(wěn)步成長(zhǎng)，確保投資風(fēng)險(xiǎn)可控。 【合作方式】 股權(quán)投資合作共建或政府孵化+中試線。

1 成果簡(jiǎn)介基于網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體平臺(tái)的高端信息服務(wù)關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化——通過網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體服務(wù)平臺(tái)（如數(shù)字電視，有線寬帶，電信 e 家平臺(tái)等），設(shè)計(jì)后端高端信息服務(wù)體系架構(gòu)，從而最大化的利用多媒體數(shù)字服務(wù)平臺(tái)構(gòu)建高端信息服務(wù)網(wǎng)絡(luò)生態(tài)系統(tǒng)平臺(tái)并產(chǎn)業(yè)化。 項(xiàng)目有利于改變目前網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體和計(jì)算機(jī)軟件的“ 生態(tài)鏈”，渠道提供者與服務(wù)提供者會(huì)占據(jù)更為重要的位置， 這也符合我們的實(shí)際國(guó)情。同時(shí)，提升深港和大珠三角地區(qū)網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體平臺(tái)，高端信息服務(wù)，系統(tǒng)集成商及數(shù)字媒體工業(yè)的能力，在數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)接入平臺(tái)的融合潮流中發(fā)展創(chuàng)新性的技術(shù)和把握市場(chǎng)機(jī)會(huì)，快捷有效地開發(fā)新的先進(jìn)技術(shù)，拓展新商機(jī)，將廣東省及產(chǎn)業(yè)示范基地的信息內(nèi)容服務(wù)和增值服務(wù)產(chǎn)業(yè)做大、做強(qiáng)。2 應(yīng)用范圍廣東省和大珠三角地區(qū)的信息產(chǎn)業(yè)，系統(tǒng)集成商，高端信息服務(wù)商，與數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)行業(yè)相關(guān)的企業(yè)如消費(fèi)電子產(chǎn)品，通訊產(chǎn)品，數(shù)字電視和計(jì)算機(jī)產(chǎn)品等的數(shù)字媒體設(shè)計(jì)公司，均可受惠。

本發(fā)明公開了一種電流源型數(shù)模綜合仿真系統(tǒng)接口和物理仿真 子系統(tǒng)接口。電流源型數(shù)模綜合仿真系統(tǒng)接口包括物理仿真子系統(tǒng)接 口、測(cè)量單元、數(shù)字仿真子系統(tǒng)接口和控制系統(tǒng)；物理仿真子系統(tǒng)接 口包括：三個(gè)輸入變壓器，三個(gè)電流源型整流器，三個(gè)電流源型跟隨 器，多個(gè)儲(chǔ)能電感，以及三相輸出濾波器；每個(gè)電流源型整流器包括M 個(gè)電流源型三相全橋整流器，每個(gè)電流源型跟隨器包括 N 個(gè)電流源 型單相全橋逆變器，M、N 為正整數(shù)。該電流源型數(shù)模綜合仿真系統(tǒng) 接口可以將物理仿真子系統(tǒng)和數(shù)字仿真子系統(tǒng)綜合起來，構(gòu)成整個(gè)電 力系統(tǒng)的