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一種基于SOI封裝的六軸微慣性器件及其加工方法
本發明公開了一種基于SOI封裝的六軸微慣性器件，包括單片集成的六軸微慣性器件、玻璃襯底、金屬電極、金屬引線、SOI蓋帽和SOI密封墻；六軸微慣性器件通過陽極鍵合工藝鍵合在玻璃襯底上；金屬電極為一個以上，均勻設置在玻璃襯底一側，金屬電極通過金屬引線與六軸微慣性器件相接，SOI蓋帽設在玻璃襯底正上方，SOI密封腔設在SOI蓋帽和SOI密封墻之間，形成空腔結構；每個金屬電極正上方的SOI蓋帽上設有梯形電極孔，梯形電極孔正下方的SOI密封墻上設有垂直貫通；梯形電極孔、垂直貫通與金屬電極一一對應。本發明具有全解耦、質量小、結構精巧、成本低和便于批量生產等優點，在單個器件內同時實現了對三軸的加速度和角速度的檢測，應用范圍廣，有著良好的市場前景。
東南大學
2021-04-11
超快高儲能柔性器件
本項目以制備超快高儲能柔性器件為導向，建立基于界面納米復合材料的新技術。通過水熱法和電化學方法在柔性導電基底上構建納米陣列/金摻雜二氧化錳的三維納米復合電極，作為正極；通過水熱法和熱處理法在柔性導電基底上生長多孔氧化鐵納米復合材料，作為負極，組裝全固態薄膜器件。利用納米復合材料的多方面優勢加速電子/離子在活性材料中的傳遞，進而達到超快高儲能的目的。基于納米復合材料的全固態薄膜器件可展現出超快充電能力（10 V/s），比常規電容器的充電時間快10-100倍。這是國際上基于金屬氧化物贗電容薄膜型超級電容器研究領域的一個重大突破。此外，本項目以開發超快超柔儲能器件為導向，開發了一種熱力學誘導自發組裝和原位摻雜結合碳熱還原的方法來實現石墨烯納米篩粉體和薄膜的宏觀可控制備，解決了傳統石墨烯材料縱向物質傳輸差的局限。通過控制碳熱溫度，可以調節石墨烯納米篩表面的孔密度，即孔徑大小可控（10~100 nm）。與傳統石墨烯薄膜電極相比，石墨烯納米篩表面豐富的孔結構使得其作為電極材料時擁有更大的比表面積，而且電解質離子可以在垂直于平面的軸向上傳遞，縮短了離子傳輸路徑。
華中科技大學
2021-04-10
光學微腔器件
成果創新點 1.在光學微腔器件的晶體腔加工、PPLN 微腔加工、微 腔耦合與封裝、微腔超高 Q 值檢測方面，分別提出了先進 而完善的實施方案，并申請了相關發明專利。現有晶體微 腔 Q 值國內最高水平 106，國外達到 109，本項目可優于 108， 從而達到國內領先，國際先進水平。 2.在光學微腔器件應用方面，研發例如超窄線寬激光 器（精密測量、物理量精密傳感）、超窄線寬濾波器（激 光技術
中國科學技術大學
2021-04-14
光學微腔器件
1.在光學微腔器件的晶體腔加工、PPLN 微腔加工、微腔耦合與封裝、微腔超高 Q 值檢測方面，分別提出了先進而完善的實施方案，并申請了相關發明專利。現有晶體微腔 Q 值國內最高水平 106，國外達到 109，本項目可優于 108，從而達到國內領先，國際先進水平。
2.在光學微腔器件應用方面，研發例如超窄線寬激光器（精密測量、物理量精密傳感）、超窄線寬濾波器（激光技術）等小型化器件的技術原理和實現方案。與常規產品相比，體積可縮小至 500 立方厘米以下，精度可提高 2個量級，成本可下降 80%。成果可實現的光學微腔器件主要指標：研制出光學晶體微腔，Q 值優于 108，根據用戶要求研制小型化應用模塊。
中國科學技術大學
2023-05-17
DMD數字微鏡器件
西安中科微星光電科技有限公司
2022-06-27
微納光學器件及系統
光刻二維碼技術： 納米光學二維碼產品是將光學防偽技術和手機、互聯網應用有機結合，開發出的新一代產品，并開發出相關的可追溯系統，形成“一站式”的防偽服務。
上海理工大學
2021-04-13
一種微環波導器件
本發明公開了一種微環波導器件，包括微環諧振腔、直波導、第一支架、第二支架和襯底；其中，第一支架用于支撐直波導，第二支架用于支撐微環諧振腔，以使微環諧振腔與直波導懸空；微環諧振腔與直波導相互耦合；外部注入的光場通過直波導耦合進入微環諧振腔中，滿足微環諧振條件的光場在微環諧振腔中激發出聲場，通過懸空的微環諧振腔將產生的聲場限制在微環諧振腔中進行傳輸，進而產生前向布里淵效應；本發明提供的這種懸空的微環波導器件具有布里
華中科技大學
2021-04-14
微納米光纖及其相關新型器件
微納米光纖，具有一系列獨特的優點：大的消逝場；高的非線性，極低的損耗；容易彎曲成環等不同的幾何形狀。我校在本應用領域主要研究選擇合適的光纖材料和介質棒材料，探討微納光纖在生物、通信、傳感和激光等領域的應用：優化微納光纖探針的設計，制備低成本的超短的極低損耗的微納光纖探針用于低功率粒子捕獲；制備基于單環諧振器的傳感器；制備基于多環諧振器的應用型器件如高靈敏度微傳感器或者可調諧器件等，探討其它新型的應用。理論上主要研究微納光纖諧振器的線性和非線性特性，對
南京大學
2021-04-14
微流體脈沖噴射儀及配套微流體器件制備儀
微流體數字化技術通過對裸結構的微噴嘴實施脈沖的慣性力，使微量流體在慣性力與黏性力交替作用下實現微流體的脈沖流動，從而實現數字化可控的微量流體的噴射，適用于液體微噴射、粉體微噴射等領域。 成熟度：基于非晶態玻璃材料毛細加工原理，進行了拉制、鍛制、殘余應力熱處理等工序研究，制作了出微納米級的微噴嘴、微管道。以玻璃微噴嘴制備儀為平臺研究了不同拉制參數、鍛制參數對微噴嘴幾何形狀的影響規律。基于微流體脈沖驅動-控制技術，分別采用拉制、鍛制的微噴嘴穩定地制備了均一的微液滴。 微流體
南京理工大學
2021-04-14
一種六自由度微振動抑制平臺及其控制方法
本發明的六自由度微振動抑制平臺，包括基礎平臺、負載平臺、 完全相同的六套單自由度主被動復合隔振裝置以及控制器，每套單自 由度主被動復合隔振裝置上下兩端分別與負載平臺和基礎平臺連接。 本發明的控制方法，包括計算邏輯軸信號、計算邏輯軸控制信號、計 算物理軸實時控制信號和傳遞步驟。本發明結構簡單，剛度可調，能 夠對 X 軸、Y 軸、Z 軸的平動方向及轉動方向的六自由度微振動進行 抑制和隔離，能夠適合不同的場合，可以有效的衰減不同頻段的微振 動，為微振動環境下的精密加
華中科技大學
2021-04-14