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本發(fā)明公開了一種雙波長可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器，該激光器包括 有源區(qū)、相位區(qū)和光柵區(qū)；從下往上依次附著有第一緩沖層、有源層 和第一覆蓋層，第一緩沖層、有源層和第一覆蓋層構(gòu)成了有源區(qū)；從 下往上依次附著有第二緩沖層、波導(dǎo)層和第二覆蓋層，第二緩沖層、 波導(dǎo)層和第二覆蓋層構(gòu)成了相位區(qū)；從下往上依次附著有第三緩沖層、 光柵層和第三覆蓋層，第三緩沖層、光柵層和第三覆蓋層構(gòu)成了相位 區(qū)；在第一覆蓋層的上表面設(shè)有第一電極，在第二覆蓋層的

5G新基建是國家的重要發(fā)展戰(zhàn)略，寬溫高可靠的25Gb/s DFB(分布反饋)激光器芯片是5G光傳輸核心光芯片，也是當(dāng)前5G建設(shè)的卡脖子問題之一。自主可控的5G光模塊DFB激光器芯片對解決光通信“空芯化”問題，推進(jìn)“中國芯”國家重大戰(zhàn)略實(shí)施，保障我國通信基礎(chǔ)設(shè)施安全具有重要的經(jīng)濟(jì)和社會效益。因DFB激光器的微分增益隨溫度上升迅速下降，常規(guī)的DFB激光器面臨嚴(yán)重的高溫高帶寬瓶頸。面對5G應(yīng)用要求的-40~85℃的寬溫應(yīng)用場景，常規(guī)DFB激光器芯片往往是超頻運(yùn)行，嚴(yán)重影響可靠性。因此，研制全國產(chǎn)寬溫25Gb/s DFB激光器芯片，同時兼顧低成本高可靠需求對推進(jìn)“中國芯”國家重大戰(zhàn)略實(shí)施具有重要意義。 本成果創(chuàng)新性地提出一種溝中溝脊波導(dǎo)DFB激光器結(jié)構(gòu)，相比較常規(guī)DFB激光器，在脊兩側(cè)對稱的刻蝕兩個溝槽。此結(jié)構(gòu)可抑制注入載流子的橫向擴(kuò)散，提高對光場的束縛，提高芯片帶寬，滿足芯片高速工作需要。芯片的高溫輸出光功率大于10mW，單模抑制比大于40dB，實(shí)測寬溫25Gb/s眼圖及誤碼率均達(dá)到商用需求。同時，相比較常規(guī)芯片，其制作過程只需多加一步簡單的刻蝕，無需二次外延，成本低，做了2000小時的老化試驗，其功率變化小于0.5%，具有高可靠性。 圖1（a）常規(guī)DFB激光器芯片截面圖（b）新型溝中溝脊波導(dǎo)DFB激光器芯片截面圖（c）新型溝中溝脊波導(dǎo)DFB激光器芯片概圖（d）（e）（f）分別為常規(guī)芯片、溝脊距為2μm、溝脊距為6μm SEM圖 圖2（a）（b）（c）25℃、55℃和85℃下不同溝脊距與常規(guī)芯片響應(yīng)曲線對比（d）25℃、55℃和85℃下不同溝脊距與常規(guī)芯片響應(yīng)帶寬對比，帶寬可提高3GHz 25℃和3.7GHz 85℃下芯片25Gb/s眼圖（g）25℃、55℃和85℃下芯片背靠背傳輸及10km傳輸誤碼率曲線 圖3（a）（b）25℃和85℃下常規(guī)芯片與溝中溝脊芯片2000小時老化實(shí)驗結(jié)果，功率變化小于0.5%

本發(fā)明公開了一種高功率光纖激光器包層光濾除裝置，該裝置 包括一段或多段雙包層光纖，其中此雙包層光纖沿激光輸出方向按剝 除面積由小到大而間隔地對保護(hù)層和外包層進(jìn)行部分剝除，使內(nèi)包層 裸露出來，將濾光材料涂在裸露內(nèi)包層上，并且將上述濾光裝置固定 在散熱金屬材料及水冷板上。本發(fā)明對光纖結(jié)構(gòu)破壞較小，濾光均勻， 避免了非均勻濾除時，某些濾除點(diǎn)溫度過高的現(xiàn)象，提高了系統(tǒng)的穩(wěn) 定性。

項目背景：DFB 半導(dǎo)體激光器是光通信領(lǐng)域中最為重要 的器件之一，目前已經(jīng)有工業(yè)級溫度（-40°C-85°C）25G 波特率 DFB 大規(guī)模量產(chǎn)。但是，從 2000 年至今，DFB 激光器 的 3dB 帶寬在全世界范圍內(nèi)幾乎沒有明顯提高，傳統(tǒng)的基于 載流子和光子響應(yīng)的 DFB 激光器在傳統(tǒng)的制造工藝下已經(jīng)趨 近其速率的物理極限，需要用新的物理本質(zhì)來實(shí)現(xiàn)更高速率 的器件，從而進(jìn)一步提升 DFB 芯片的調(diào)制速率和整個光通信 應(yīng)用的傳輸速率。本項目研發(fā)的 50G 波特率 DFB 半導(dǎo)體激光 器將達(dá)到國際領(lǐng)先水平，填補(bǔ)國內(nèi)空白，打破國外壟斷本項 目的實(shí)施，應(yīng)對美國對中國高端材料和芯片的禁售風(fēng)險。該 產(chǎn)品可在光通信系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛，可以承擔(dān)接入網(wǎng)、數(shù)據(jù)中 心網(wǎng)絡(luò)、無線網(wǎng)絡(luò)、傳輸網(wǎng)絡(luò)等多個方面的主力傳輸工作。 所需技術(shù)需求簡要描述：本項目期望突破當(dāng)前 DFB 調(diào)制 速率的瓶頸，在目前大規(guī)模量產(chǎn)的 25G 波特率 DFB 的基礎(chǔ)上， 將速度翻一番，到達(dá) 50G 波特率。（1） 兩個背靠背 DFB 激 光器產(chǎn)生的光子-光子諧振效應(yīng)（PPR）研究。（2） 背靠背 DFB 激光器的高速陶瓷載體設(shè)計。（3） 50G 波特率 DFB 芯片 和高速陶瓷載體的測試  對技術(shù)提供方的要求:1．光電子器件設(shè)計領(lǐng)域國際知名 專家，熟悉 50G 波特率 DFB 激光器基本設(shè)計。2．完善的 DFB 器件基礎(chǔ)知識和模擬能力。3．國內(nèi) 985 高校教授，技術(shù)方案成熟可靠穩(wěn)定有創(chuàng)新思維，不涉及知識產(chǎn)權(quán)侵犯。 

該系統(tǒng)通過回收燃?xì)獍l(fā)動機(jī)缸套及排煙余熱來獲得生活熱水，從而實(shí)現(xiàn)夏季空調(diào)、冬季供暖、全年提供生活熱水的功能。系統(tǒng)通過對冷、熱、電負(fù)荷的優(yōu)化調(diào)節(jié)，確保燃?xì)獍l(fā)動機(jī)始終運(yùn)行在最佳工況區(qū)域范圍內(nèi)。

本發(fā)明公開了一種聲壓測量傳感器及多縱模光纖激光器聲壓測 量系統(tǒng)。聲壓測量傳感器包括金屬圓桶、薄膜和光纖；金屬圓桶的側(cè) 壁中部有開孔，內(nèi)壁設(shè)有吸音棉；薄膜位于金屬圓桶的上端開口處， 形成密封結(jié)構(gòu)；光纖兩端固定，呈緊繃狀態(tài)，中部粘貼在薄膜的表面。 多縱模光纖激光器聲壓測量系統(tǒng)包括 980nm 泵浦光源、多縱模激光諧 振腔、光纖隔離器、光電轉(zhuǎn)換模塊和頻譜分析儀；多縱模激光諧振腔 包括聲壓測量傳感器、波分復(fù)用器、摻鉺光纖、可

本項目利用一種新型結(jié)構(gòu)獨(dú)特的兼具準(zhǔn)直和選頻功能的混合菲涅爾透鏡衍射光柵光學(xué)元件來實(shí)現(xiàn)一種小型集成化、窄線寬的半導(dǎo)體激光器。結(jié)合混合菲涅爾透鏡衍射光柵光學(xué)元件外腔技術(shù)，使激光線寬小于50 kHz水平，實(shí)現(xiàn)微型化的厘米長度的窄線寬相干激光光源的批量制備。

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體脈沖激光器熱電階梯冷卻方法，包括以下步驟：1)根據(jù)半導(dǎo)體脈沖激光器的額定工作溫度 Ts 選擇熱電模塊，將熱電模塊安裝在半導(dǎo)體脈沖激光器內(nèi)并使用可編程直流電源控制其電壓；2)半導(dǎo)體脈沖激光器在 jt0 時刻釋放熱量 Qc 使半導(dǎo)體脈沖激光器內(nèi)的溫度上升，可編程直流電源在 jt0 時刻相應(yīng)地由恒定電壓 Us 調(diào)整為階梯電壓并施加在熱電模塊上，以使半導(dǎo)體脈沖激光器的實(shí)際工作溫度降低到 Ts±2℃；其中，j 為大于零的正整數(shù)。本發(fā)明通過給熱電模塊施以合適的階梯電壓，使熱電模塊冷端溫度呈現(xiàn)出衰減振蕩過程，能減小過冷溫度和增益溫度，保證半導(dǎo)體脈沖激光器的溫度要求。

1. 痛點(diǎn)問題 雙頻激光干涉儀以雙頻激光器作光源。國內(nèi)外，都是在氦氖激光管上加磁場，磁場和原子相互作用（塞曼效應(yīng)），使氦氖激光器輸出雙頻，這就是激光教科書中的塞曼效應(yīng)雙頻激光器,常簡稱為雙頻激光器。國內(nèi)外嘗試用半導(dǎo)體激光器和固體微片激光器的努力都沒有成功。塞曼效應(yīng)雙頻激光器的缺點(diǎn)是雙頻的間隔（頻差）小，且光子電場振動為圓偏振，前者影響干涉儀測量速度，后者帶來幾納米十幾納米的非線性誤差，這就是塞曼效應(yīng)雙頻激光器的天花板。本項目課題組曾經(jīng)嘗試用晶體石英，外加力的應(yīng)力雙折射使氦氖激光器產(chǎn)生雙頻，但其組裝方式等不夠理想，穩(wěn)定性需提高，產(chǎn)品化困難。 2. 解決方案 鑒于塞曼效應(yīng)雙頻激光器性能提高遇到的瓶頸，本項目提供一種用激光內(nèi)雕技術(shù)使激光器輸出頻率差，其賦值精確，裝配不帶來不穩(wěn)定。本項目雖然是氦氖雙頻激光器制造過程中的一個工藝或物理過程，但在精密測量領(lǐng)域意義重大，影響深遠(yuǎn)。 合作需求 尋求本領(lǐng)域合適的合作伙伴，把這種采用新工藝的雙頻激光器裝于干涉儀，并把這種雙頻激光干涉儀推向市場。

1. 痛點(diǎn)問題 激光雷達(dá)在自動駕駛等領(lǐng)域有重要應(yīng)用。基于調(diào)頻連續(xù)波技術(shù)的激光雷達(dá)（FMCW Lidar）有著探測距離遠(yuǎn)、抗干擾和同時測速等優(yōu)勢，被認(rèn)為是最具應(yīng)用潛力的激光雷達(dá)。激光光源是FMCW激光雷達(dá)的核心器件之一，F(xiàn)MCW光源的調(diào)頻非線性會嚴(yán)重影響激光雷達(dá)的分辨率，導(dǎo)致有效工作距離縮短，阻礙激光雷達(dá)性能的提升。 2. 解決方案 本成果預(yù)期解決目前調(diào)頻連續(xù)波激光雷達(dá)（FMCW Lidar）中光源調(diào)頻非線性的問題。本成果提出一種基于硅基外腔芯片的窄線寬激光器，通過無源硅基外腔芯片反射波長中心頻率和反射相位的聯(lián)合調(diào)諧，可以實(shí)現(xiàn)高線性的激光輸出頻率調(diào)諧，其原理架構(gòu)與和實(shí)驗驗證結(jié)果如圖1所示。從而突破了傳統(tǒng)FMCW光源直接通過電流調(diào)制進(jìn)行調(diào)頻導(dǎo)致的非線性限制，直接產(chǎn)生高線性連續(xù)調(diào)頻光信號。 合作需求 1、需要融資1800~2000萬元，完成研發(fā)實(shí)驗室及一期生產(chǎn)線的建設(shè)，以及前期工程樣品的開發(fā)； 2、需要800平米左右萬級超凈廠房及配套辦公面積，希望有興趣的地區(qū)或者園區(qū)能夠提供優(yōu)惠的政策與支持； 3、歡迎FMCW激光雷達(dá)廠家及其它對FMCW光源有需求的客戶合作，聯(lián)合測試、共同開發(fā)； 4、歡迎在硅光設(shè)計、光有源、無源耦合及自動化生產(chǎn)等方面的技術(shù)、管理專家加盟，共同打造激光雷達(dá)的中國光芯，共創(chuàng)美好未來。