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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種孔形自適應(yīng)的內(nèi)孔圓柱度氣動(dòng)復(fù)合檢測(cè)裝置。包括氣動(dòng)測(cè)量組件及其配套的校準(zhǔn)規(guī)，氣動(dòng)測(cè)量頭上開(kāi)有四組錐度氣動(dòng)噴嘴和四個(gè)直線度氣動(dòng)噴嘴。本實(shí)用新型公開(kāi)的復(fù)合式氣動(dòng)檢測(cè)裝置，可用于有效判別各種內(nèi)孔孔形，適用工況范圍廣，可實(shí)現(xiàn)工件的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)，大幅度提高測(cè)量效率。

寬禁帶半導(dǎo)體硅基GaN器件以其高效率，高開(kāi)關(guān)速度高工作溫度抗輻時(shí)等特點(diǎn),成為當(dāng)前國(guó)際功率半導(dǎo)體器件與技術(shù)學(xué)科的研究前沿及熱點(diǎn)，也是業(yè)界普遍認(rèn)可的性能卓越的下代功率半導(dǎo)體器件。而S基GaN因其S基特性.能夠突破新材料在發(fā)展初期的成本牦頸且易與S集成電路產(chǎn)業(yè)鏈匹配，因此兼具高性能與低成本的優(yōu)點(diǎn)在消費(fèi)電子(如手機(jī)快沖與天線充電).數(shù)據(jù)中心與人工智能，無(wú)人駕駛與新能源汽車、5G通信等團(tuán)家戰(zhàn)略新興領(lǐng)城具有巨大的應(yīng)用前景。電子科技大學(xué)功率集成技術(shù)實(shí)驗(yàn)室自2008年起即開(kāi)展硅基GaN功率器件與集成技術(shù)研究,圍繞硅基GaN兩大核心器件:增強(qiáng)型功率晶體管、功率整流器進(jìn)行基礎(chǔ)研究與應(yīng)用技術(shù)開(kāi)發(fā)。解決了增強(qiáng)型功率晶體管閾值電壓大范圍調(diào)控功率二圾管導(dǎo)通電壓調(diào)控與耐壓可靠性加查等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸,研究成果為硅基GaN的產(chǎn)業(yè)化奠定了重要基礎(chǔ)。

負(fù)極材料是鋰離子電池的主要組成部分，起鋰離子存儲(chǔ)作用。負(fù)極材料的性能直接決定鋰離子電池倍率性能和循環(huán)性能。目前商用化的負(fù)極材料主要為石墨，受到理論比容量的限制，石墨材料已無(wú)法滿足鋰離子電池能量密度的持續(xù)發(fā)展。硅材料由于其高儲(chǔ)鋰容量、適中的對(duì)鋰電位等性能優(yōu)勢(shì)和資源豐富、成本低等商業(yè)優(yōu)勢(shì)，受到鋰電行業(yè)追捧。經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的開(kāi)發(fā)，硅負(fù)極已部分應(yīng)用到高能量電池負(fù)極中。目前鋰電行業(yè)中，硅材料主要以較小比例（~5%）硅負(fù)極與碳復(fù)合后，再與石墨混合使用，貢獻(xiàn)較低，且循環(huán)性能差，未能全

 1988年國(guó)際上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技術(shù)是將IC工藝和機(jī)電設(shè)計(jì)相結(jié)合制造微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)的新技術(shù)，也稱硅MEMS。作為對(duì)硅MEMS的補(bǔ)充和發(fā)展，非硅材料種類繁多、性能各異，能滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域的需求，我們?cè)趪?guó)家863 計(jì)劃等項(xiàng)目支持下于九十年代初首先提出并創(chuàng)立了非硅MEMS技術(shù)。 提出非硅MEMS新概念和總體思路；開(kāi)發(fā)了以金屬基為主的多種材料兼容的非硅表面微加工、高深寬比三維微加工等成套非硅微加工技術(shù)，為非硅MEMS發(fā)展奠定了良好基礎(chǔ)；把經(jīng)典原理和非硅微加工結(jié)合，開(kāi)發(fā)了一系列壓電、靜電、磁電、微流體、慣性等種類的微器件和微系統(tǒng)，形成若干具有完全知識(shí)產(chǎn)權(quán)的專利群；并將非硅MEMS應(yīng)用于生物芯片、微引信、信息、光器件、復(fù)合膜模具、國(guó)防武器、非硅MEMS生產(chǎn)線等眾多領(lǐng)域，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)效益，推動(dòng)和引領(lǐng)了我國(guó)非硅MEMS技術(shù)的應(yīng)用和發(fā)展。  非硅MEMS技術(shù)及其應(yīng)用獲得國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)2項(xiàng)（2008，2000），省部一等獎(jiǎng)4項(xiàng)，獲2009年中國(guó)工業(yè)博覽會(huì)創(chuàng)新獎(jiǎng)；授權(quán)發(fā)明專利200多項(xiàng)；出版MEMS專著6部。

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