三維微動并聯(lián)工作臺(博實)
                                        
                                            
              產(chǎn)品詳細介紹:三維微動并聯(lián)工作臺(三自由度并聯(lián)機器人) 采用閉環(huán)壓電陶瓷驅(qū)動,壓電陶瓷既作為驅(qū)動元件又作為支撐桿件,同時實現(xiàn)機構(gòu)、驅(qū)動、檢測一體化的新型3-RPS 微動并聯(lián)機器人。通過壓電陶瓷直接驅(qū)動柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)繞X、Y方向的轉(zhuǎn)動和Z方向的平動。X、Y方向的轉(zhuǎn)角可達±0.8毫弧度,轉(zhuǎn)角分辨率可達0.8微弧度;Z方向位移可達40微米,位移分辨率可達4納米。主要應(yīng)用于空間、隔震、醫(yī)療、光學(xué)和工業(yè)等領(lǐng)域。 
                                        
                                        
                                            哈爾濱工業(yè)大學(xué)博實精密測控有限責任公司
                                            2021-08-23