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高質(zhì)量CVD金剛石及其制備關(guān)鍵技術(shù)

2025-05-21 14:14:35
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所屬領(lǐng)域:
新材料及其應(yīng)用
項(xiàng)目成果/簡介:

金剛石具有寬帶隙、高熱導(dǎo)率、高擊穿場強(qiáng)、高載流子遷移率,是制作高功/高頻電子器件的理想半導(dǎo)體材料。金剛石耐高溫、抗酸堿、抗腐蝕、抗輻照等優(yōu)越性能,也使其在極端環(huán)境光學(xué)器件等領(lǐng)域具有極其重要的應(yīng)用價(jià)值。

北京科技大學(xué)碳基材料與功能薄膜團(tuán)隊(duì)發(fā)展的新型雙磁場調(diào)控直流噴射等離子體CVD,以及大功率微波等離子體CVD,可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、大尺寸、高厚度金剛石材料快速高效制備,研發(fā)的金剛石產(chǎn)品主要應(yīng)用在精密刀具、熱沉組件、光學(xué)窗口、半導(dǎo)體晶片等領(lǐng)域,覆蓋超精密加工、高熱流密度散熱、高性能透波輸能、精準(zhǔn)探測與高頻高功率電子器件、珠寶首飾等領(lǐng)域,金剛石材料制備及加工整體技術(shù)處于國際先進(jìn)水平。

項(xiàng)目階段:

產(chǎn)品

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