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武漢大學
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一種加工航空領域金屬構件基于 CMP 的機器人磨拋系統
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種基于 CMP 的機器人磨拋系統，包括六軸機器人、放置工件的工件夾、對需要拋 光工件進行檢測并三維重構的輪廓檢測單元、帶拋光墊的磨輪、安裝磨輪的基座、以及主控制器，所述 六軸機器人自由端部設有帶伺服電機的電主軸，工件夾上方設有能向工件噴 CMP 拋光液的拋光液噴射 裝置，工件夾安裝在所述電主軸上，所述主控制器控制輪廓檢測單元、六軸機器人、電主軸
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