掃描電子聲（熱波）顯微鏡

其它領域

掃描電子聲顯微鏡技術是在掃描電子顯微鏡的基礎上發展起來的一種基于熱聲效應的無損檢測技術。當掃描電子顯微鏡的探測電子束對樣品進行掃描成像時，入射的電子會把入射的能量部分轉化成熱能，從而使樣品表面及亞表面層的溫度升高。通過對掃描電子束實現強度調制，從而使樣品表面及亞表面周期性加熱激發聲波（電子聲信號）。檢測不同位置的聲信號的振幅和相位，可分析樣品在不同深度的結構、性質和參量，實現分層成像。由于電子束能聚焦得比較細，其成象分辨率優于光聲顯微鏡，特別適合于

產業化應用