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極深紫外光源與納米器件制造
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.c05ze3x.xyz
關鍵詞：
納米器件制造
所屬領域:
項目成果/簡介:
徐永兵課題組于2014年啟動了國家重大儀器研究計劃（飛秒級時間分辨并自旋分辨電子能譜探測系統，項目編號61427812）。此項目就是旨在建立國內第一套極深紫外的光源系統。目前已經成功地在實驗室中，實現了波長為120~24 nm左右的脈沖光源，脈沖重復頻率為1kHz，單個脈沖為30fs。單個光子能量最大到50 eV左右，亮度為1 ′ 1011光子/s。從光
項目階段:
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