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一種基于納米位移計量傳感器的納米微位移檢測儀
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.c05ze3x.xyz
關鍵詞：
納米微位移檢測儀
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明提出一種光學倍頻的納米位移計量傳感器，包括激光器、偏振分光棱鏡、1/4 玻片、角錐棱鏡、平面反射鏡、偏振片、光電探測 器和底座。本發明的傳感器采用光學倍頻技術，直接在光學結構上將 光程差進行 8 細分，同時采用偏振分光棱鏡和 1/4 玻片組合減少了光 能損失，保證了干涉條紋的強度，具有結構簡單，精度高，測量范圍 大，抗干擾能力強等特點，并且相比于單路光束系統在某種程度上可 減小非直線運動所造成的誤差。
項目階段:
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