場效應晶體管的制備方法及利用其制備的場效應晶體管

其它領域

本發明公開了一種利用電流體直寫工藝制備場效應晶體管的方 法，包括:

(1)在基板上制備有機半導體薄膜;

(2)利用電流體直寫工藝， 在具有半導體薄膜的基板上制備平行的直線纖維;

(3)通過電流體直寫 制備與之垂直的平行介電纖維;

(4)在基板上真空沉積金屬;

(5)在介電 纖維兩端涂覆導電銀漿，引出柵電極。本發明還公開了相應的產品。 本發明的方法利用介電微納纖維得到晶體管溝道，溝道長度尺寸與纖 維直徑尺寸相當，能夠達到亞微米甚至納米級，同時該纖維也是晶體管的絕緣層。

產業化應用