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一種光子晶體納米流體傳感器、其制備方法及應用
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.c05ze3x.xyz
關鍵詞：
納米流體傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明屬于傳感器領域，并公開了一種基于微電子機械系統的 光子晶體納米流體傳感器，包括光刻膠層、硅晶片基底、第一折射率 材料薄膜層、第二折射率材料薄膜層和聚合物材料封接層，所述第二 折射率材料薄膜層的頂端設置有方波形的光柵結構，所述光柵結構包 括多個通槽和多個凸起并且它們交替排列，所述光刻膠層、硅晶片基 底、第一折射率材料薄膜層和第二折射率材料薄膜層共同構成傳感器 基體層，所述傳感器基體層上設置有進流口和出流口本。本傳感器為 基于光子晶體的納米流體傳感器，成功解決了傳統的光子晶體傳感器 消耗檢測物過多
項目階段:
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