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一種動磁式長行程超精密直線運動機構

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.c05ze3x.xyz
關鍵詞: 長行程線圈
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項目成果/簡介:

本發明公開了一種動磁式長行程超精密直線運動機構,包括定 子線圈組件、氣浮支承組件和永磁體動子組件,定子線圈組件包括定子氣浮導軌和電感組件;氣浮支承組件包括氣浮軸承;永磁體動子組 件包括動子基座、永磁體安裝座及永磁體組,動子基座固定安裝在氣 浮軸承上,動子基座向下設置永磁體安裝座,每個永磁體安裝座上安 裝一永磁體組,永磁體組包括多個永磁體,并且同一永磁體安裝座上 的永磁體的同一側磁場極性相同,以用于驅動永磁體組和氣浮軸承沿 定子氣浮導軌的縱向移動。本發明采用均勻布置的長行程線圈繞組作 為定子,與傳統的

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