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一種激光干涉位移測量系統
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項目成果/簡介:
本發明公開了一種激光干涉位移測量系統。包括激光器、起偏 器、消偏振分光棱鏡、偏振分光棱鏡、1/4 波片、角錐鏡、平面反射鏡 和光電探測器。測量光入射移動角錐鏡，由角錐鏡位移引起原路反射 回來的光的光程變化是角錐鏡位移的四倍。該設計中通過偏振光學原 理使測量光沿相同方向總共兩次進出移動角錐鏡，實現測量光與參考 光光程差變化與角錐鏡位移的八倍程關系，從而實現對位移的光學八 倍細分測量。該系統具有測量分辨率高、測量結果準確的優點，且結 構上安裝方便、簡單，價格低廉，適用范圍廣。
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