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一種三維量子阱結構光電裸芯片

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.c05ze3x.xyz
關鍵詞: 光電裸芯片
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所屬領域:
高端裝備制造
項目成果/簡介:

一種三維量子阱結構光電裸芯片,屬于一種量子阱結構光電裸芯片,解決現有三維量子阱結構光電裸芯片工作面積有限、工藝復雜、成本高的問題。本實用新型自下而上包括:襯底層、緩沖層、n 型層、量子阱層、p 型層,所述襯底層、緩沖層、n 型層、量子阱層和 p 型層表面形狀走向一致,均為均勻分布的凸臺陣列或者均勻分布的凹槽陣列,或者均勻分布的相間的凸臺和凹槽所構成的陣列。本實用新型增大了襯底層工作面積,在其上直接生長一層緩沖層來進行應力與晶格匹配,克服了工作面積與襯底面積之比較低所帶來的量子轉換效率低的問題;本實用

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