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一種光譜橢偏儀中氙燈光源的光強平滑處理裝置及方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.c05ze3x.xyz
關鍵詞：
氙燈光源
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種應用到光譜橢偏儀中的氙燈光線光強平滑處理裝置及方法。該光強平滑處理裝置包括準直透鏡、匯聚透鏡和光闌，準直透鏡為消色差透鏡，用于將待處理的氙燈光線準直為平行光束；匯聚透鏡為單透鏡，用于將平行光束匯聚聚焦，匯聚后的光斑大小隨波長的增加而增大；光闌設置在匯聚透鏡后并間隔一定波長焦距位置處，通過設定該光闌的大小使紫外波段的光斑可透過該光闌而可見到近紅外波段的光斑被阻擋，從而減小可見到近紅外波段的光束光強，實現平滑。本發明還公開了一種氙燈光線光強平滑處理方法。本發明沒有損失任何波段的光線，探測
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