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一種適用于納米材料操控的多自由度納米操作臺

2021-04-14 00:00:00
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項目成果/簡介:

本發明公開了一種適用于納米材料操控的多自由度納米操作臺,包括底座、Z 向位移臺、XY 向位移臺和納米操作臂,其中 Z 向位移臺沿著豎直方向設置在底座上,包括彼此連接的固定部件和安裝有 Z 向直線驅動電機的移動部件;XY 向位移臺沿著水平方向設置在 Z 向位移臺的移動部件上,并包括彼此并聯滑動連接的第一至第三并聯部件,其中第一并聯部件上安裝有 Y 向直線驅動電機,第二并聯部件上安裝有 X 向直線驅動電機,第三并聯部件上安裝有旋轉運動驅動電機和納米操作臂。本發明通過對驅動電機與位移臺的高精度控制以及主要

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未應用
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