一種多工位測試夾具

高端裝備制造

本發明公開了一種用于測試的多工位夾具，該夾具包括上探針

板、下探針板、樣品板；其中，上探針板設置上探針陣列，下探針板

設置下探針陣列，樣品板設置于上探針板與下探針板之間，其上設置

有若干用于裝載待測試的樣品的工位槽，上下探針陣列上設置的探針

用于接觸樣品實現測試，工位槽在垂直于所述樣品板的方向上分為樣

品定位沉孔和豎直通孔兩部分，樣品定位沉孔用于裝載樣品，探針穿

過豎直通孔接觸所述樣品。按照本發明，可對不同形狀尺寸的

未應用