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一種光功率分束器

2021-04-14 00:00:00
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關鍵詞: 分束器
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所屬領域:
高端裝備制造
項目成果/簡介:

本發明公開了一種光功率分束器,包括襯底以及在襯底上自下

而上依次排列的包層、下導波層和上導波層;上導波層為圖形層,沿

水平面上向右方向依次刻蝕有輸入波導、準直透鏡、光束整形透鏡組、

相移光柵、傅里葉變換透鏡、第一相位補償結構、直流分量相移器、

第二相位補償結構和輸出波導陣列;其中,準直透鏡、光束整形透鏡

組、相移光柵、傅里葉變換透鏡、第一相位補償結構、直流分量相移

器和第二相位補償結構的厚度相同;輸入波導和輸出波導陣

項目階段:
未應用
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