一種激光誘導液滴靶放電產生等離子體的裝置

高端裝備制造

本發明提出一種激光誘導液滴錫靶放電產生等離子體極紫外光

源的裝置，包括儲錫池、旋轉圓盤、錫液、溫度控制器、阻攔屏、旋

轉圓面屏、電極對和激光器等。該裝置通過將旋轉圓盤部分浸入液態

錫中，利用了高速圓周離心力作用產生逃逸的液態錫，阻攔屏和旋轉

圓面屏的阻擋和選通作用，產生周期性的錫液滴，通過電極對，在激

光的作用下產生極紫外光。本裝置通過讓激光作用在的錫液滴而非作

用在電極上的液態錫膜上，解決了傳統旋轉放電圓盤電極液體

未應用