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一種可控大長徑比納米探針的制備裝置與制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
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關鍵詞：
納米探針
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明提供一種可控大長徑比納米探針的制備裝置，通過設置腐蝕穩壓電路、腐蝕電壓切斷電路、探針浸沒判斷電路，與單片機配合實現對腐蝕過程中的腐蝕電壓、探針浸沒深度、探針提升速度等重要參數的精確控制，能夠制備大長徑比、可控長徑比、耐磨損、可回收、成本低的納米探針。本發明還提供一種可控大長徑比納米探針的制備方法，采用探針浸入指定深度后不再停留腐蝕，而是一直不斷提起探針，從而形成針尖長、針尖曲率半徑平滑變化、長徑比大的新型納米探針，具有不易磨損、可回收再利用、使用成本低等顯著優點，并通過對腐蝕電壓、探針浸沒深度
項目階段:
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