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一種用于廣義橢偏儀的光強(qiáng)自動調(diào)整裝置及其控制方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
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關(guān)鍵詞：
光強(qiáng)調(diào)整
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項(xiàng)目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種廣義橢偏儀光強(qiáng)自動調(diào)整裝置及其控制方法。裝置主要包括計(jì)算機(jī)、光譜儀、伺服電機(jī)控制器、直流伺服電機(jī)、增量式編碼器和中性密度濾光片轉(zhuǎn)盤。在廣義橢偏儀硬件連接完成的情況下，根據(jù)光譜儀采集的光譜曲線是否飽和以及是否絕大部分在光譜儀線性響應(yīng)區(qū)間來決定是否要轉(zhuǎn)動直流伺服電機(jī)，從而帶動中性密度濾波片轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動以切換中性密度濾波片來改變光源照射出來的光強(qiáng)大小。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)對雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器廣義橢偏儀光強(qiáng)自動調(diào)整，且響應(yīng)快速，操作簡單。
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